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公开(公告)号：CN115372649A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202210996339.6
申请日：2020-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，其具有优异的检测特性。该振动器件包含振动元件、基座和相对于基座支承振动元件的支承件。另外，从所述支承件的厚度方向俯视时，支承件具有框状的框架、配置在框架的外侧并固定于基座的底座、配置在框架的内侧并搭载有振动元件的元件保持架、从元件保持架起沿第1方向延伸并连接元件保持架和框架的一对第1梁、以及从框架起沿与第1方向不同的第2方向延伸并连接框架和底座的一堆第2梁。并且，在俯视时，将第1梁在第1方向上的长度设为L1(μm)、第1梁在与第1方向垂直的方向上的宽度W设为W1(μm)时，满足W12/L1＜30。
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公开(公告)号：CN110333370B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201910242626.6
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/14 , G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体。该传感器元件具有：基部；驱动臂，其经由从所述基部起在第1轴上延伸的连结臂而连接；第1检测臂和第2检测臂，在所述平面观察时，该第1检测臂从所述基部起朝与所述第1轴垂直的第2轴的正方向延伸，该第2检测臂朝所述第2轴的负方向延伸；驱动信号布线，在所述平面观察时，所述驱动信号布线在所述基部沿着所述第1轴配置；以及第1检测信号布线和第2检测信号布线，在所述平面观察时，它们配置于所述基部，所述第1检测信号布线和所述第2检测信号布线的形状与在所述平面观察时关于所述第1轴线对称的形状不同。
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公开(公告)号：CN114978096A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210161347.9
申请日：2022-02-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法。提供能够抑制槽深度的偏差的振动元件的制造方法。振动元件的制造方法包括：准备工序，准备具有第1面和第2面的石英基板；保护膜形成工序，在石英基板的第1面上，在除了形成槽的槽形成区域以及位于形成第1振动臂的第1振动臂形成区域与形成第2振动臂的第2振动臂形成区域之间的臂间区域之外形成保护膜；以及干蚀刻工序，隔着保护膜从第1面侧对石英基板进行干蚀刻，形成槽和第1振动臂以及第2振动臂的外形。而且，在设干蚀刻工序中形成的槽的深度为Wa、外形的深度为Aa时，满足Wa/Aa
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公开(公告)号：CN113691227A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202110538570.6
申请日：2021-05-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件和振荡器。能够进行高精度的温度补偿。振动元件具有：石英基板，其具有第1振动部、第2振动部和第3振动部；一对第1激励电极，它们形成于石英基板的两个主面；一对第2激励电极，它们形成为在石英基板的厚度方向上夹着第2振动部；以及一对第3激励电极，它们形成为在石英基板的厚度方向上夹着第3振动部，一对第2激励电极中的至少一个第2激励电极形成于相对于两个主面倾斜的第1倾斜面，一对第3激励电极中的至少一个所述第3激励电极形成于相对于两个主面倾斜的第2倾斜面，第2倾斜面相对于第1倾斜面倾斜。
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公开(公告)号：CN112688654A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011107392.3
申请日：2020-10-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件以及振荡器，该振动元件以及振荡器的温度检测精度高。振动元件具有：石英基板，其具有第1振动部和第2振动部；一对第1激励电极，它们在第1振动部处形成在石英基板的两个主面上；以及一对第2激励电极，它们在第2振动部处形成为在石英基板的厚度方向上夹着第2振动部，一对第2激励电极中的至少一个第2激励电极形成在相对于两个主面中的至少一个主面倾斜的倾斜面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108627149A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810178563.8
申请日：2018-03-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5733
CPC classification number: G01C19/5663 , B60G17/01933 , B60G17/01941 , B60G2401/10 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G01C19/5656 , G01C19/5733
Abstract: 振动器件、角速度传感器、电子设备和移动体。提供振动特性的变动减少的振动器件、具备所述振动器件并且检测精度的减低减少的角速度传感器、具备所述振动器件的电子设备和移动体。振动器件的特征在于，具有：振动元件，其具有多个端子；基体，其具有多个电连接端子；和中继基板，其具有将多个电连接端子与多个端子电连接起来的配线部，将振动元件支承于基体，所述中继基板具有：基体固定部，其被固定于所述基体；振动元件载置部，所述振动元件被载置于该振动元件载置部；和至少一个梁部，其将所述基体固定部与所述振动元件载置部连结起来，所述至少一个梁部具有向第一方向延伸的第一部分和朝向与所述第一方向交叉的第二方向延伸的第二部分。
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公开(公告)号：CN102200439B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201110070704.2
申请日：2005-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5628 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法，该振动型陀螺仪可改变使用质量除去装置可除去的最低除去量，从而能够进行固有共振频率的粗调和微调。本发明的振动型陀螺仪的压电振动片(10)由以下部分构成：从基部(12)向相反方向延伸的连接臂(13、14)；从连接臂(13、14)各自的前端沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的驱动臂(15A、15B、15C、15D)；和从基部(12)沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的检测臂(16A、16B)，在驱动臂(15A、15B、15C、15D)及检测臂(16A、16B)各自的前端部上，形成有由锤层(18、20)和电极膜(17)构成的作为质量调节用的调节部的第一锤部(19)和第二锤部(23)。
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公开(公告)号：CN117792319A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311270753.X
申请日：2023-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法。能够容易地形成深度不同的第1槽和第2槽。振动元件的制造方法包含：准备工序，准备具有处于正反关系的第1面和第2面的石英基板；第1保护膜形成工序，在设石英基板的形成振动元件的区域为元件形成区域、形成第1槽的区域为第1槽形成区域、形成第2槽的区域为第2槽形成区域时，在第1面的元件形成区域上形成第1保护膜，所述第1保护膜具有与第1槽形成区域重叠的第1开口和与第2槽形成区域重叠的第2开口；以及第1干蚀刻工序，隔着第1保护膜从第1面侧对石英基板进行干蚀刻，在设第1开口的宽度为Wa、第2开口的宽度为Wb时，Wa＜Wb。
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公开(公告)号：CN117792316A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311262033.9
申请日：2023-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动元件的制造方法，能够容易地形成深度不同的第1槽和第2槽。振动元件的制造方法包含：准备工序，准备具有处于正反关系的第1面和第2面的石英基板；第1保护膜形成工序，在将石英基板的形成有振动元件的区域设为元件形成区域、形成有第1槽的区域设为第1槽形成区域、形成有第2槽的区域设为第2槽形成区域时，在第2槽形成区域上形成第1保护膜；第2保护膜形成工序，在第1槽形成区域上形成蚀刻速率比第1保护膜低的第2保护膜；第3保护膜形成工序，在元件形成区域的除第1槽形成区域和第2槽形成区域以外的区域上形成第3保护膜；以及第1干蚀刻工序，经由第1保护膜、第2保护膜和第3保护膜而从第1面侧对石英基板进行干蚀刻。
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公开(公告)号：CN117792314A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311253121.2
申请日：2023-09-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法。能够容易地形成深度不同的第1槽和第2槽。振动元件的制造方法包含：准备工序，准备具有处于正反关系的第1面和第2面的石英基板；第1保护膜形成工序，在石英基板的第1面侧且形成振动元件的元件形成区域上形成第1保护膜；以及第1干蚀刻工序，隔着第1保护膜从第1面侧对石英基板进行干蚀刻，在设石英基板的形成第1槽的第1槽形成区域上的第1保护膜的厚度为R1、形成第2槽的第2槽形成区域上的第1保护膜的厚度为R2时，R1＞R2。
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