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公开(公告)号：CN110760802B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN201811196381.X
申请日：2018-07-27
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及储能陶瓷薄膜，所述储能陶瓷薄膜包括金属衬底以及依次形成于所述金属衬底上的第一金属层、第二金属层、第二金属氧化物层和第二金属氧化物薄膜；其中，所述第一金属层的材料与所述金属衬底的材料相同；所述第一金属层的表面还设有所述第二金属层中的第二金属与第一金属层中的第一金属结合而形成的合金层。本发明的储能陶瓷薄膜可在降低金属衬底的表面粗糙度的同时保证结合力，从而可以同时提高储能陶瓷薄膜的储能性能和可靠性。
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公开(公告)号：CN110896117B
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN201811050878.0
申请日：2018-09-10
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: H01L31/18 , H01L21/225 , H01L31/068
Abstract: 本发明涉及一种晶体硅太阳能电池扩散层及其制备方法，所述制备方法包括：⑴提供硅片以及扩散源；⑵将所述扩散源置于所述硅片表面上而形成预制层，所述预制层的厚度小于等于2μm；⑶对带有所述预制层的硅片进行退火处理，使所述预制层中的扩散元素扩散进入所述硅片中，形成扩散层。本发明的制备方法不受硅片厚度的限制，可实现扩散层的可控制备，不仅工艺简单、成本低，还可以保证硅片的完整性和工艺稳定性，可重复性好，得到的晶体硅太阳能电池扩散层的方阻为20Ω/□～110Ω/□，具有很好的实际应用价值。
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公开(公告)号：CN114751745A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210042597.0
申请日：2022-01-14
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: C04B35/505 , C04B35/622 , H01P7/10
Abstract: 本发明涉及一种微波介质陶瓷，所述微波介质陶瓷的组成成分包括CeO2、TiO2和金属氧化物，其中，所述金属氧化物中的金属离子的化合价低于+4价，且所述金属离子的离子半径为0.04nm‑0.09nm，所述金属氧化物不与所述CeO2以及所述TiO2发生反应，所述CeO2与所述TiO2的摩尔比为(1‑y):y，0.1≤y≤0.2，所述CeO2和所述TiO2的摩尔量之和与所述金属氧化物的摩尔比为(1‑x):x，0.005≤x≤0.05。本发明还涉及所述微波介质陶瓷的制备方法及其在微波器件中的应用。本发明的微波介质陶瓷的介电常数为24至30，品质因子与频率的乘积(Q×f)为20000GHz至60000GHz，谐振频率温度系数为‑10ppm/℃至10ppm/℃，用作微波器件的原材料时，制备的微波器件的损耗更低。
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公开(公告)号：CN114552189A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111641729.3
申请日：2021-12-29
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种天线结构，包括介质基板、辐射贴片和接地平面；辐射贴片和接地平面位于介质基板的一侧表面；接地平面包括电路板接地平面与接地贴片，接地贴片的一端与电路板接地平面连接，另一端朝向辐射贴片延伸；辐射贴片设有至少两条延伸臂，延伸臂与接地贴片之间交错设置。本申请还涉及一种终端，包括上述天线结构。本申请的天线结构将接地贴片与辐射贴片交叉排布，使接地贴片与辐射贴片之间电场耦合增强，本申请的天线在满足预设带宽的情况下，利用自身结构能大幅降低谐振频率，实现了器件的小型化。
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公开(公告)号：CN110767450B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN201811196367.X
申请日：2018-07-27
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及薄膜电容器，包括电介质薄膜和电极层，所述电介质薄膜包括金属衬底以及依次形成于所述金属衬底上的第一金属层、第二金属层、第二金属氧化物层和第二金属氧化物薄膜，所述电极层形成于所述第二金属氧化物薄膜上；其中，所述第一金属层的材料与所述金属衬底的材料相同；所述第一金属层的表面还设有所述第二金属层中的第二金属与第一金属层中的第一金属结合而形成的合金层。本发明的薄膜电容器中，电介质薄膜为储能陶瓷薄膜，介电常数高，储能性能好。而且，电介质薄膜中的各层之间结合牢固，电介质薄膜的可靠性强。使用该电介质薄膜代替高分子薄膜，可促进薄膜电容器面向小型化、轻薄化、高集成化和多功能化的趋势发展。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110767448B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN201811196366.5
申请日：2018-07-25
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种柔性储能薄膜的制备方法。所述制备方法包括：提供一柔性金属衬底；以钛金属为靶材，采用磁过滤多弧离子镀方法在所述柔性金属衬底上形成所述二氧化钛预制层，其中，所述磁过滤多弧离子镀方法的工作气氛为含氧保护气体；对带有二氧化钛预制层的柔性金属衬底进行热处理，得到柔性储能薄膜。通过该制备方法不仅实现了储能薄膜的柔性化，同时还使储能薄膜具有高可靠性和高储能密度，可以用作薄膜电容器的电介质材料。
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公开(公告)号：CN114389023A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111645580.6
申请日：2021-12-29
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请的天线结构，包括柔性介质层、辐射单元、激励单元和接地单元；柔性介质层与接地单元分别位于天线结构的剖面高度上的不同平面，柔性介质层的介电常数大于或等于4；辐射单元设置在柔性介质层的一侧表面，并通过激励单元与接地单元电连接。天线结构的制备方法，包括：提供一柔性介质层；在柔性介质层的一侧表面形成辐射单元；将辐射单元与连接接地单元的激励单元电连接，得到天线结构，其中，柔性介质层与接地单元分别位于天线结构的剖面高度上的不同平面。本申请通过在天线结构的剖面不同高度上分别设置辐射单元和接地单元，并将辐射单元设置于高介电的柔性介质层，使得天线结构形成低剖面的信号传输系统，并能与电子设备较好地共形。
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公开(公告)号：CN112254747A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011044691.7
申请日：2020-09-28
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种柔性传感器及其制备方法，柔性传感器包括第一柔性基板与第二柔性基板，第一柔性基板与第二柔性基板具有导电性，第一柔性基板的一侧表面具有第一微结构阵列，第二柔性基板的一侧表面具有第二微结构阵列，第一微结构阵列的微结构间隙及第二微结构阵列的微结构间隙均设有介电层，第一微结构阵列与第二微结构阵列相向设置且微结构之间相互错位，以在微结构阵列之间形成微结构与微结构间隙配合的结构。外部压力导致微结构形变时，介电层处的电容信号发生变化以进行触觉反馈；外部剪切力使两个柔性基板的微结构之间的接触面积发生变化时，电阻信号变化以进行滑觉反馈，从而可以同时检测滑触觉，结构简单且更加精准。
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公开(公告)号：CN111024273A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911382428.6
申请日：2019-12-27
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种具有温度稳定性的压力传感器及其制备方法，压力传感器包括第一电极、第二电极与聚合物介电层，第一电极与第二电极分别位于聚合物介电层的两个相对表面，聚合物介电层中分散有介电常数温度系数为负值的介电改性物。本申请在聚合物介电层加入介电常数温度系数为负值的介电改性物，从而通过调控介电层的介电常数对温度的变化，以补偿温度变化对介电层厚度和电极面积的影响，获得温度稳定的电容式压力传感器。
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公开(公告)号：CN110896117A
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201811050878.0
申请日：2018-09-10
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: H01L31/18 , H01L21/225 , H01L31/068
Abstract: 本发明涉及一种晶体硅太阳能电池扩散层及其制备方法，所述制备方法包括：⑴提供硅片以及扩散源；⑵将所述扩散源置于所述硅片表面上而形成预制层，所述预制层的厚度小于等于2μm；⑶对带有所述预制层的硅片进行退火处理，使所述预制层中的扩散元素扩散进入所述硅片中，形成扩散层。本发明的制备方法不受硅片厚度的限制，可实现扩散层的可控制备，不仅工艺简单、成本低，还可以保证硅片的完整性和工艺稳定性，可重复性好，得到的晶体硅太阳能电池扩散层的方阻为20Ω/□～110Ω/□，具有很好的实际应用价值。
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