公开(公告)号：CN102679880B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201210025124.6

申请日：2012-02-01

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 早川雅之 ,  平田真理子

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01B11/026 ,  G01B11/24 ,  G01B2210/50

Abstract: 本发明提供利用共焦光学系统计测计测对象物位移的共焦计测装置，能够抑制在对计测对象物的位移进行计测时因光波长而导致的精度变动。本发明是利用共焦光学系统来对计测对象物的位移进行计测的共焦计测装置。共焦计测装置100具有：白色LED21；衍射透镜1，使从白色LED21出射的光沿光轴方向产生色差；物镜2，配置在比衍射透镜1更靠近计测对象物200的一侧，使通过衍射透镜1而产生色差的光会聚在计测对象物200上；针孔，使通过物镜2而会聚的光中能够聚焦于计测对象物200上的光通过；波长测定部，测定通过了针孔的光的波长。衍射透镜1的焦距大于从衍射透镜1到物镜2的距离和物镜2的焦距之差。

公开(公告)号：CN104067090A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201380006127.8

申请日：2013-01-17

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 早川雅之 ,  山下吉弘

IPC: G01C3/06 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01B9/02036 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02044 ,  G01B11/026 ,  G01B11/0608 ,  G01B11/2441 ,  G01B2210/50 ,  G02B21/0016

Abstract: 本发明涉及利用共聚焦光学系统对检测对象物(200)的位移进行检测的共聚焦检测装置。共聚焦检测装置具有：光源，出射多个波长的光；衍射透镜(1)，使从光源出射的光沿着光轴方向产生色像差；检测部，按照波长检测通过衍射透镜(1)产生色像差的光中的在检测对象物(200)会聚的光的强度。另外，在共聚焦检测装置中，从光源入射至衍射透镜(1)的主光线(11b)相对于衍射透镜(1)的光轴(1a)偏离。

公开(公告)号：CN102679880A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210025124.6

申请日：2012-02-01

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 早川雅之 ,  平田真理子

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01B11/026 ,  G01B11/24 ,  G01B2210/50

Abstract: 本发明提供利用共焦光学系统计测计测对象物位移的共焦计测装置，能够抑制在对计测对象物的位移进行计测时因光波长而导致的精度变动。本发明是利用共焦光学系统来对计测对象物的位移进行计测的共焦计测装置。共焦计测装置100具有：白色LED21；衍射透镜1，使从白色LED21出射的光沿光轴方向产生色差；物镜2，配置在比衍射透镜1更靠近计测对象物200的一侧，使通过衍射透镜1而产生色差的光会聚在计测对象物200上；针孔，使通过物镜2而会聚的光中能够聚焦于计测对象物200上的光通过；波长测定部，测定通过了针孔的光的波长。衍射透镜1的焦距大于从衍射透镜1到物镜2的距离和物镜2的焦距之差。