输送方向转换装置及悬浮输送系统

    公开(公告)号:CN101857141B

    公开(公告)日:2012-10-10

    申请号:CN201010155879.9

    申请日:2010-04-02

    Abstract: 本发明提供能够缩短向第一输送方向(D1)悬浮输送基板(W)之后再向第二输送方向(D2)悬浮输送基板W的输送时间的输送方向转换装置。在输送方向转换装置中,能够绕与第二输送方向(D2)平行的轴心旋转的第一方向转换用辊(63)设置在各第一方向转换用辊箱(59)内,并且,能够绕与第一输送方向(D1)平行的轴心旋转的第二方向转换用辊(75)设置在各第二方向转换用辊箱(71)内,各第一方向转换用辊(63)及各第二方向转换用辊(75)的高度位置比基准的悬浮高度位置(LP)低。

    基板升降移送装置及基板处理移送系统

    公开(公告)号:CN101853799A

    公开(公告)日:2010-10-06

    申请号:CN201010145476.6

    申请日:2010-03-23

    Abstract: 在基板升降移送装置中,在第一基板处理装置的一侧以能够绕水平的轴心摇动的方式设置具有第一姿势切换用保持构件的第一姿势切换部件,在第二基板处理装置的一侧以能够绕水平的轴心摇动的方式设置具有第二姿势切换用保持构件的第二姿势切换部件,在竖立设置于第一姿势切换部件的一侧的支承框架上以能够循环行走的方式设置沿上下方向延伸的环状部件,在环状部件上在圆周方向上隔开间隔地设置多个升降用保持构件。根据该基板升降移送装置,能够充分地削减其占有平面面积,能够有效利用工厂内空间。

    预浸片材制造装置
    34.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105899342B

    公开(公告)日:2017-08-11

    申请号:CN201580003823.2

    申请日:2015-04-01

    Abstract: 本发明提供一种将预浸裁切片材于预浸胚材(P1)上接合的预浸片材制造装置(1)。此装置具备:主搬送路径(3);检测前后的预浸裁切片材(P2、P2)间的间隙的间隙检测部(10、19);以及通过预浸胚材而将前后的预浸裁切片材间予以熔接的熔接部。间隙检测部具有:将先行进的预浸裁切片材的后端部予以按压的下游侧按压部;将后续的预浸裁切片材的前端部予以按压的上游侧按压部;以及,检测所述预浸裁切片材间的间隙的间隙检测感测器。上游侧按压部构成为:将后续的预浸裁切片材的前端部引导至上游侧按压部的下侧的同时,限制前端部的浮起。

    搬运装置
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106743657A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201710131976.6

    申请日:2013-02-26

    CPC classification number: B65G49/065 B65G2249/045 H01L21/67706 H01L21/67784

    Abstract: 本发明提供一种搬运装置,其用于将对象物向第一方向搬运,具备:悬浮部,其喷出气体,并利用上述气体对上述对象物和上述悬浮部之间的空间加压而使上述对象物悬浮;搬运部,其具备环形的皮带和多个突起,该皮带沿上述悬浮部在上述第一方向上延伸,该多个突起为了与上述对象物接触而从上述皮带突出且在上述第一方向上排列,该搬运部构成为与上述对象物一体地使上述皮带向上述第一方向移动;以及吸引部,其具备以使上述多个突起各自的上端突出的方式覆盖上述皮带的罩,以及设于上述罩且使上述气体在上述罩的上面与上述对象物之间的间隙流出的开口,由此使沿上述对象物的上述气体的流动产生负压而将上述对象物向上述多个突起吸引。

    预浸体切断层叠装置
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106061696A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201580011663.6

    申请日:2015-06-22

    CPC classification number: B26F1/42 B26F1/44 B29B11/02

    Abstract: 本发明提供一种预浸体切断层叠装置(1),具备有:冲切机(3),从由预浸体薄片所形成的工件(W)冲切出预浸体片(P),该预浸体薄片具有基体树脂及强化纤维;以及层叠机(4),将预浸体片(P)予以层叠。冲切机(3)具备冲压机构(7),该冲压机构(7)将工件(W)及对应于预浸体片(P)的形状的冲切刀刃(9)中的一者推压抵接于另一者、或是将两者彼此推压抵接,以藉此利用冲切刀刃(9)冲切出预浸体片(P)。

    输送装置
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104245547A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201380021075.1

    申请日:2013-02-26

    CPC classification number: B65G49/065 B65G2249/045 H01L21/67784

    Abstract: 用于利用气体使对象物悬浮并向第一方向输送的输送装置,具备:悬浮部,其喷出上述气体对上述对象物加压从而使上述对象物悬浮;输送部,其具备带以及多个辊中的至少一方,该带是在上述第一方向上延伸的环形带,并具备为与上述对象物接触而突出的多个突起,该多个辊在上述第一方向上能够旋转,并在上述第一方向上排列,上述输送部为与上述对象物接触并向上述第一方向驱动而构成;罩,其覆盖上述输送部、或者与上述输送装置邻接地平行延伸并仅使上述多个突起或上述多个辊的各自的上端突出、且具备与上述对象物的下表面平行的面;以及吸引部,其对上述罩内给与负压而使上述对象物与上述输送部接触。

    无尘输送系统
    39.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103247561A

    公开(公告)日:2013-08-14

    申请号:CN201310142807.4

    申请日:2008-08-22

    CPC classification number: H01L21/67706 H01L21/6776

    Abstract: 本发明的输送系统设置于地板面上来输送对象物。上述输送系统具备:外壳,构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口,设置于上述地板面上,若封闭上述第一开口和上述第二开口,则在内部包围密闭空间;输送装置,构成为设置于上述外壳内,并从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物;以及送风装置,设置于上述外壳内,净化上述密闭空间内的空气,并供给被净化了的空气。

    基板输送装置
    40.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101616855A

    公开(公告)日:2009-12-30

    申请号:CN200880002757.7

    申请日:2008-02-04

    CPC classification number: B65G49/061 B65G49/064 B65G49/065 B65G49/068

    Abstract: 一种基板输送装置,第一支承体(14d)处于用于与传送带(4)之间进行基板(2)的交接的第一位置时,升降单元(10)使移载单元(14)下降,使第一支承体(14d)下降到比由传送带(4)输送的基板(2)的下面低的规定的下降位置。接着,通过使移载单元(14)上升,第一支承体(14d)将由传送带(4)输送的基板(2)自传送带(4)举起。第一支承体(14d)上升到比由传送带(4)输送的基板(2)的上面高的位置后,移载单元(14)使第一支承体(14d)沿横切传送带(4)的方向移动,直到用于与处理装置(6)之间进行基板(2)的交接的第二位置,将已载置在第一支承体(14d)上的基板(2)交接到处理装置(6)。

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