-
公开(公告)号:CN101857141B
公开(公告)日:2012-10-10
申请号:CN201010155879.9
申请日:2010-04-02
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 本发明提供能够缩短向第一输送方向(D1)悬浮输送基板(W)之后再向第二输送方向(D2)悬浮输送基板W的输送时间的输送方向转换装置。在输送方向转换装置中,能够绕与第二输送方向(D2)平行的轴心旋转的第一方向转换用辊(63)设置在各第一方向转换用辊箱(59)内,并且,能够绕与第一输送方向(D1)平行的轴心旋转的第二方向转换用辊(75)设置在各第二方向转换用辊箱(71)内,各第一方向转换用辊(63)及各第二方向转换用辊(75)的高度位置比基准的悬浮高度位置(LP)低。
-
公开(公告)号:CN101857141A
公开(公告)日:2010-10-13
申请号:CN201010155879.9
申请日:2010-04-02
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 本发明提供能够缩短向第一输送方向(D1)悬浮输送基板(W)之后再向第二输送方向(D2)悬浮输送基板W的输送时间的输送方向转换装置。在输送方向转换装置中,能够绕与第二输送方向(D2)平行的轴心旋转的第一方向转换用辊(63)设置在各第一方向转换用辊箱(59)内,并且,能够绕与第一输送方向(D1)平行的轴心旋转的第二方向转换用辊(75)设置在各第二方向转换用辊箱(71)内,各第一方向转换用辊(63)及各第二方向转换用辊(75)的高度位置比基准的悬浮高度位置(LP)低。
-