公开(公告)号：CN108974943B

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN201810924904.1

申请日：2013-02-26

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 王鹏 ,  松尾研吾 ,  和田芳幸

IPC: B65G49/06 ,  B65G51/03 ,  G02F1/13 ,  H01L21/677

Abstract: 通过防止基板前端的挠曲，从而防止基板与搬运装置碰撞。通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备：浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，向上述第一方向驱动上述对象物；吸引部，对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触；以及变形机构，包含于上述浮起部或上述搬运部，使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。

公开(公告)号：CN104245546A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201380020061.8

申请日：2013-02-26

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 王鹏 ,  松尾研吾 ,  和田芳幸

IPC: B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67784

Abstract: 一种搬运装置，其用于通过气体使对象物悬浮并将该对象物向第一方向搬运，上述搬运装置具备：悬浮部，其通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物悬浮；搬运部，其具备皮带及多个辊中至少一方，该皮带为沿上述第一方向延伸的环形，具备能够与上述对象物接触的多个突起，该辊能够向上述第一方向旋转，沿上述第一方向排列，该搬运部构成为与上述对象物接触并向上述第一方向驱动；罩，其覆盖上述搬运部，并仅使上述多个突起或上述多个辊各自的上端突出；以及吸引部，其使上述罩内处于负压而使上述对象物与上述搬运部接触。

公开(公告)号：CN106743657A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201710131976.6

申请日：2013-02-26

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 王鹏 ,  松尾研吾 ,  和田芳幸

IPC: B65G49/06

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67784

Abstract: 本发明提供一种搬运装置，其用于将对象物向第一方向搬运，具备：悬浮部，其喷出气体，并利用上述气体对上述对象物和上述悬浮部之间的空间加压而使上述对象物悬浮；搬运部，其具备环形的皮带和多个突起，该皮带沿上述悬浮部在上述第一方向上延伸，该多个突起为了与上述对象物接触而从上述皮带突出且在上述第一方向上排列，该搬运部构成为与上述对象物一体地使上述皮带向上述第一方向移动；以及吸引部，其具备以使上述多个突起各自的上端突出的方式覆盖上述皮带的罩，以及设于上述罩且使上述气体在上述罩的上面与上述对象物之间的间隙流出的开口，由此使沿上述对象物的上述气体的流动产生负压而将上述对象物向上述多个突起吸引。

公开(公告)号：CN104245547A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201380021075.1

申请日：2013-02-26

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 王鹏 ,  和田芳幸 ,  松尾研吾

IPC: B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67784

Abstract: 用于利用气体使对象物悬浮并向第一方向输送的输送装置，具备：悬浮部，其喷出上述气体对上述对象物加压从而使上述对象物悬浮；输送部，其具备带以及多个辊中的至少一方，该带是在上述第一方向上延伸的环形带，并具备为与上述对象物接触而突出的多个突起，该多个辊在上述第一方向上能够旋转，并在上述第一方向上排列，上述输送部为与上述对象物接触并向上述第一方向驱动而构成；罩，其覆盖上述输送部、或者与上述输送装置邻接地平行延伸并仅使上述多个突起或上述多个辊的各自的上端突出、且具备与上述对象物的下表面平行的面；以及吸引部，其对上述罩内给与负压而使上述对象物与上述输送部接触。

公开(公告)号：CN108974943A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810924904.1

申请日：2013-02-26

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 王鹏 ,  松尾研吾 ,  和田芳幸

IPC: B65G49/06 ,  B65G51/03 ,  G02F1/13 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G51/03 ,  B65G2249/045 ,  G02F1/1303 ,  H01L21/67784

Abstract: 通过防止基板前端的挠曲，从而防止基板与搬运装置碰撞。通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备：浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，向上述第一方向驱动上述对象物；吸引部，对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触；以及变形机构，包含于上述浮起部或上述搬运部，使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。

公开(公告)号：CN104822613A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201380063583.6

申请日：2013-02-26

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 王鹏 ,  松尾研吾 ,  和田芳幸

IPC: B65G49/06 ,  B65G15/42 ,  B65G51/03 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G51/03 ,  B65G2249/045 ,  G02F1/1303 ,  H01L21/67784

Abstract: 通过防止基板前端的挠曲，从而防止基板与搬运装置碰撞。通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备：浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，向上述第一方向驱动上述对象物；吸引部，对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触；以及变形机构，包含于上述浮起部或上述搬运部，使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。

公开(公告)号：CN104245547B

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201380021075.1

申请日：2013-02-26

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 王鹏 ,  和田芳幸 ,  松尾研吾

IPC: B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67784

Abstract: 用于利用气体使对象物悬浮并向第一方向输送的输送装置，具备：悬浮部，其喷出上述气体对上述对象物加压从而使上述对象物悬浮；输送部，其具备带以及多个辊中的至少一方，该带是在上述第一方向上延伸的环形带，并具备为与上述对象物接触而突出的多个突起，该多个辊在上述第一方向上能够旋转，并在上述第一方向上排列，上述输送部为与上述对象物接触并向上述第一方向驱动而构成；罩，其覆盖上述输送部、或者与上述输送装置邻接地平行延伸并仅使上述多个突起或上述多个辊的各自的上端突出、且具备与上述对象物的下表面平行的面；以及吸引部，其对上述罩内给与负压而使上述对象物与上述输送部接触。