热式流量计
    31.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107063368A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710142275.2

    申请日:2012-06-15

    Abstract: 本发明的目的在于提高热式流量计的测量精度。本发明的热式流量计,通过第一树脂模塑工序对测量流量的电路封装(400)进行模塑,并且通过第二树脂模塑工序使具有入口槽(351)、正面侧副通路槽(332)、出口槽(353)等的壳体(302)树脂成形,并且同时在第二树脂模塑工序中用树脂包围通过第一树脂模塑工序制造的电路封装(400)的外周面,而将其固定在壳体(302)中。

    流量传感器及其制造方法
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104854431A

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201380064443.0

    申请日:2013-11-18

    CPC classification number: G01F15/16 B81C1/00333 G01F1/6845 G01F1/692

    Abstract: 在使半导体芯片的露出部分变小的情况下,抑制在半导体芯片容易产生裂纹的情况。由于将树脂(MR)注入第二空间的压力,在弹性体薄膜(LAF)与半导体芯片(CHP1)接触的接触部分(SEL)产生间隙,与树脂(MR)成分不同的树脂(MR2)渗入该间隙。其结果是,在从树脂(MR)露出半导体芯片(CHP1)的区域中,除了流量检测部(FDU)以及其附近区域以外区域的形成树脂(MR2)。由此,能够使从树脂(MR)以及树脂(MR2)露出的半导体芯片(CHP1)的区域变小。

    热式空气流量传感器
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104395708A

    公开(公告)日:2015-03-04

    申请号:CN201380034261.9

    申请日:2013-06-10

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/6845 G01F5/00 G01P5/12

    Abstract: 本发明的目的是提供一种检测精度高的热式流量传感器。为了达成上述目的,本发明的热式流量传感器包括:流量检测元件,其包括对半导体基板进行加工而设置的隔膜、在所述隔膜上设置的发热电阻体、在所述发热电阻体的上游侧和下游侧分别设置的测温电阻体;支承部件,其经由粘接剂片接合保持所述流量检测元件,所述支承部件具有一端在设置于所述隔膜的背面侧的空洞部开口的连通孔,所述粘接剂片在所述支承部件的连通孔的开口区域形成有通气孔。

    热式流量计
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104380058A

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201380031633.2

    申请日:2013-05-29

    Abstract: 本发明提供能够以高精度测量在正向和反向流动的气体的流量的热式流量计。本发明的热式流量计(300)具有:将流过主通路(124)的被测量气体(30)取入,使该被测量气体在其中流动的副通路;在与流过副通路的被测量气体之间进行热传递,由此测量流量的流量测量电路(601)。此外,在设置于比在被测量气体的流动方向的下游方向开口的上述副通路的出口(352)更靠上游侧的位置的出口侧室(4216),设置有与出口相对地改变从相反侧流入的被测量气体的流动方向的引导件(4217),出口侧室的流入部和上述出口在沿着流过上述主通路的被测量气体的流动方向的方向看时是偏心的。

    热式流量计
    39.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104380057A

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201380031631.3

    申请日:2013-05-15

    Abstract: 本发明提供能得到高测量精度的具备排水功能的热式流量计。热式流量计(300)设有使将主通路(124)中流动的被测量气体(30)一部分导入并使其流动的副通路中的、入口(350)与流量检测部即测量用流路面(430)间的入口侧副通路(4232)与流量检测部即测量用流路面(430)与出口(352)间的出口侧副通路(4234)连通的排水通路(3528)。排水通路(3528)有贯通形成入口侧副通路(4232)的壁面(4212)且有在入口侧副通路(4232)开口的入口(3542)和在壁面背面(4213)开口的出口(3544)的贯通孔(3512),副通路内的水(3552)被导入贯通孔(3512)通过排水通路(3528)导向出口侧副通路(4234),向主通路(124)排出,能减少进入测量部的水的影响,能提高测量精度。

    热式流量计
    40.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104380056A

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201380031606.5

    申请日:2013-05-31

    Abstract: 本发明的目的是提供一种热式流量计,该热式流量计能够避免因离心力而被引导到副通路外周侧的污染物质和难以被离心分离的颗粒状或液体状的污染物质到达流量检测部的热传递面,能够获得高测量精度,该热式流量计中,副通路具有:至少在被测量气体30的流动方向上在流量检测部602的上游侧沿固有平面形成为曲线状的上游侧弯曲路径390;和从上游侧弯曲路径390的下游侧形成至流量检测部602的下游侧的分支壁378,上游侧弯曲路径390的下游侧的副通路通过分支壁378分支为:与上游侧弯曲路径390的外周壁侧流体连通的主流路377;和与上游侧弯曲路径390的内周壁侧流体连通的分支路径388,流量检测部602以其热传递面露出部436与上游侧弯曲路径390的上述固有平面平行的姿态配置在主流路377内。

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