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公开(公告)号:CN107063368A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201710142275.2
申请日:2012-06-15
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提高热式流量计的测量精度。本发明的热式流量计,通过第一树脂模塑工序对测量流量的电路封装(400)进行模塑,并且通过第二树脂模塑工序使具有入口槽(351)、正面侧副通路槽(332)、出口槽(353)等的壳体(302)树脂成形,并且同时在第二树脂模塑工序中用树脂包围通过第一树脂模塑工序制造的电路封装(400)的外周面,而将其固定在壳体(302)中。
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公开(公告)号:CN104412074B
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201380031684.5
申请日:2013-05-31
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/684 , F02D41/187 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/696 , G01F1/6965 , G01F1/698 , G01F1/699 , G01F5/00 , G01F15/006 , G01F15/02 , G01F15/04 , G01F15/043 , G01F15/14 , G01F15/185
Abstract: 获得能够缓和因测量部的基端部侧与前端部侧的温度差而作用于引线的轴向应力的热式流量计。本发明的流量检测部(300)包括流量检测部(602),该流量检测部(602)通过在用于使从主通路(124)导入的被测量气体(30)流动的副通路与在副通路流动的被测量气体(30)之间经由热传递面进行热传递来测量被测量气体(30)的流量,其具有:通过第一树脂模塑工序密封流量检测部(602)和引线(514)的电路封装(400);和通过第二树脂模塑工序形成副通路的一部分并固定电路封装(400)的壳体(302)。引线(514)具有从电路封装(400)突出并固定在壳体(302)上的外接引线(412),在外接引线(412)上设有弯曲部(416)。
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公开(公告)号:CN106959140A
公开(公告)日:2017-07-18
申请号:CN201710142630.6
申请日:2012-06-15
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/6965 , G01F15/14
Abstract: 本发明的目的在于提高热式流量计的测量精度。本发明的热式流量计,通过第一树脂模塑工序对测量流量的电路封装(400)进行模塑,并且通过第二树脂模塑工序使具有入口槽(351)、正面侧副通路槽(332)、出口槽(353)等的壳体(302)树脂成形,并且同时在第二树脂模塑工序中用树脂包围通过第一树脂模塑工序制造的电路封装(400)的外周面,而将其固定在壳体(302)中。
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公开(公告)号:CN102575955B
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201180003582.3
申请日:2011-09-13
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/383 , G01F1/34 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/698 , G01F5/00 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2924/10157 , H01L2924/15151 , H01L2924/15153
Abstract: 本发明提供能够抑制每个流量传感器的性能偏差的技术。在本发明的流量传感器(FS1)中,形成为在使形成在半导体芯片(CHP1)上的流量检测部(FDU)露出的状态下利用树脂(MR)覆盖半导体芯片(CHP1)的一部分的结构。在与空气的流动方向平行的方向,树脂(MR)密封半导体芯片(CHP1)的上表面(SUR(CHP))的一部分,从而树脂(MR)的上表面(SUR(MR))的高度比半导体芯片(CHP1)的上表面(SUR(CHP))高,因此能够在流量检测部(FDU)使空气的流动稳定。而且,通过半导体芯片(CHP1)和树脂(MR)的接触面积增加,能够防止半导体芯片(CHP1)和树脂(MR)的界面剥离。
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公开(公告)号:CN104854431A
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201380064443.0
申请日:2013-11-18
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F15/16 , B81C1/00333 , G01F1/6845 , G01F1/692
Abstract: 在使半导体芯片的露出部分变小的情况下,抑制在半导体芯片容易产生裂纹的情况。由于将树脂(MR)注入第二空间的压力,在弹性体薄膜(LAF)与半导体芯片(CHP1)接触的接触部分(SEL)产生间隙,与树脂(MR)成分不同的树脂(MR2)渗入该间隙。其结果是,在从树脂(MR)露出半导体芯片(CHP1)的区域中,除了流量检测部(FDU)以及其附近区域以外区域的形成树脂(MR2)。由此,能够使从树脂(MR)以及树脂(MR2)露出的半导体芯片(CHP1)的区域变小。
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公开(公告)号:CN104412072A
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:CN201380031529.3
申请日:2013-05-29
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/696 , F02D41/18 , F02M35/1038 , F02M35/10386 , G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/6965 , G01F1/698 , G01F1/699 , G01F5/00 , G01F15/006 , G01F15/02 , G01F15/04 , G01F15/043 , G01F15/14 , G01F15/185
Abstract: 本发明提供能够不导致温度检测元件的响应性变差地实现热绝缘的热式流量计。本发明的热式流量计(300)包括:在第1模塑工序中利用第1模塑树脂密封有以下部件的电路封装(400):与在主通路(124)流动的被计测气体之间经由热传递面进行热传递来检测流量的流量检测部(602)、检测被计测气体的温度的温度检测元件(518)、和处理流量检测部(602)和温度检测元件(518)的信号的处理部(604)连接,并利用引线将这些部件连接;和在第2模塑工序中利用第2模塑树脂固定电路封装(400)的壳体(302),电路封装(400)中,相比密封处理部(604)的封装主体部(426),密封温度检测元件(518)的温度检测部(452)的厚度形成得较薄。
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公开(公告)号:CN104395708A
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN201380034261.9
申请日:2013-06-10
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , G01F5/00 , G01P5/12
Abstract: 本发明的目的是提供一种检测精度高的热式流量传感器。为了达成上述目的,本发明的热式流量传感器包括:流量检测元件,其包括对半导体基板进行加工而设置的隔膜、在所述隔膜上设置的发热电阻体、在所述发热电阻体的上游侧和下游侧分别设置的测温电阻体;支承部件,其经由粘接剂片接合保持所述流量检测元件,所述支承部件具有一端在设置于所述隔膜的背面侧的空洞部开口的连通孔,所述粘接剂片在所述支承部件的连通孔的开口区域形成有通气孔。
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公开(公告)号:CN104380058A
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:CN201380031633.2
申请日:2013-05-29
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/696 , G01F1/6965 , G01F5/00 , G01F15/14
Abstract: 本发明提供能够以高精度测量在正向和反向流动的气体的流量的热式流量计。本发明的热式流量计(300)具有:将流过主通路(124)的被测量气体(30)取入,使该被测量气体在其中流动的副通路;在与流过副通路的被测量气体之间进行热传递,由此测量流量的流量测量电路(601)。此外,在设置于比在被测量气体的流动方向的下游方向开口的上述副通路的出口(352)更靠上游侧的位置的出口侧室(4216),设置有与出口相对地改变从相反侧流入的被测量气体的流动方向的引导件(4217),出口侧室的流入部和上述出口在沿着流过上述主通路的被测量气体的流动方向的方向看时是偏心的。
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公开(公告)号:CN104380057A
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:CN201380031631.3
申请日:2013-05-15
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/6842 , F02D31/005 , F02D37/02 , F02D41/182 , F02D2200/101 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/6965 , G01F5/00
Abstract: 本发明提供能得到高测量精度的具备排水功能的热式流量计。热式流量计(300)设有使将主通路(124)中流动的被测量气体(30)一部分导入并使其流动的副通路中的、入口(350)与流量检测部即测量用流路面(430)间的入口侧副通路(4232)与流量检测部即测量用流路面(430)与出口(352)间的出口侧副通路(4234)连通的排水通路(3528)。排水通路(3528)有贯通形成入口侧副通路(4232)的壁面(4212)且有在入口侧副通路(4232)开口的入口(3542)和在壁面背面(4213)开口的出口(3544)的贯通孔(3512),副通路内的水(3552)被导入贯通孔(3512)通过排水通路(3528)导向出口侧副通路(4234),向主通路(124)排出,能减少进入测量部的水的影响,能提高测量精度。
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公开(公告)号:CN104380056A
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:CN201380031606.5
申请日:2013-05-31
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/696 , G01F1/6965
Abstract: 本发明的目的是提供一种热式流量计,该热式流量计能够避免因离心力而被引导到副通路外周侧的污染物质和难以被离心分离的颗粒状或液体状的污染物质到达流量检测部的热传递面,能够获得高测量精度,该热式流量计中,副通路具有:至少在被测量气体30的流动方向上在流量检测部602的上游侧沿固有平面形成为曲线状的上游侧弯曲路径390;和从上游侧弯曲路径390的下游侧形成至流量检测部602的下游侧的分支壁378,上游侧弯曲路径390的下游侧的副通路通过分支壁378分支为:与上游侧弯曲路径390的外周壁侧流体连通的主流路377;和与上游侧弯曲路径390的内周壁侧流体连通的分支路径388,流量检测部602以其热传递面露出部436与上游侧弯曲路径390的上述固有平面平行的姿态配置在主流路377内。
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