固化物的制造方法、层叠体的制造方法及电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116113884A

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202180054236.1

    申请日:2021-08-17

    Abstract: 本发明提供一种即使在低温下固化的情况下,也可以得到断裂伸长率优异的固化物的固化物的制造方法、包含上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包含上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的电子器件的制造方法。固化物的制造方法包括:膜形成工序,将特定的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜;曝光工序;显影工序,基于包含选自碱及产碱剂中的至少一种的化合物的显影液进行;以及加热工序,水的含量相对于上述显影液的总质量为50质量%以下。

    固化物的制造方法、树脂组合物、显影液、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN115867866A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202180046839.7

    申请日:2021-06-25

    Abstract: 本发明提供一种分辨率优异的固化物的制造方法、用于上述固化物的制造方法的树脂组合物及显影液、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法以及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的电子器件的制造方法。固化物的制造方法包括使用树脂组合物的膜形成工序、曝光工序、显影工序以及改性工序,该树脂组合物包含树脂、通过曝光而产生酸的化合物及溶剂,树脂为聚酰亚胺前体,树脂具有发生通过酸的作用而极性增加的反应的基团,显影液中的有机溶剂的含量为80质量%以上,通过改性,上述图案相对于树脂组合物所包含的溶剂的溶解性降低。

    固化物的制造方法、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116234845A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202180064487.8

    申请日:2021-08-31

    Abstract: 本发明提供一种即使在低温下进行固化的情况下也可以获得断裂伸长率及耐化学性优异的固化物的固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法。固化物的制造方法包括:膜形成工序,将特定的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜;曝光工序,选择性地曝光膜;显影工序,通过显影液对曝光后的膜进行显影而形成图案;处理工序,使处理液与上述图案接触;以及加热工序,对上述处理工序后的图案进行加热,上述显影液及上述处理液中的至少一者包含选自碱及碱产生剂中的至少1种化合物。

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