一种快速降温型低温泵及其降温方法

    公开(公告)号:CN108252896A

    公开(公告)日:2018-07-06

    申请号:CN201711418218.9

    申请日:2017-12-24

    CPC classification number: F04B37/08 F04B39/06

    Abstract: 本发明公开了一种快速降温型低温泵,包括壳体、双级GM制冷机系统、辐射冷屏、低温板以及引入外部制冷液体的液冷源馈入部件,所述液冷源馈入部件包括中空直线导入器、馈入管路、液冷源容器、导冷块。调节所述中空直线导入器,可带动所述馈入管路的移动,实现安装于液冷源容器上的导冷块与所述一级冷却台的接触和分离。本发明还公开了该低温泵的制冷方法。相比于现有技术,本发明具有成本较低、控制过程简易、可实现快速制冷等特点。

    一种氦气压缩机系统
    32.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217584943U

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN202220504685.3

    申请日:2022-03-07

    Abstract: 本实用新型公开了一种氦气压缩机系统,包括压缩泵、换热器、滤油器、吸附器以及平衡罐,所述压缩泵的冷冻油出口和氦气出口分别与换热器的两个入口连通,换热器的气路出口与滤油器连通,换热器的油路出口通过常开电磁阀与压缩泵通过油路连通,滤油器与吸附器通过气路连通,吸附器与进气连接管通过气路连通,进气连接管、低温泵、回气连接管、平衡罐及压缩泵顺次通过气路连通,平衡罐与压缩泵之间的气路与滤油器通过油路连通,吸附器与滤油器之间的气路以及平衡罐与压缩泵之间的气路通过第一中间气路连通且第一中间气路上设置常闭电磁阀;本实用新型的优点在于:有效降低系统振幅,避免对整机寿命及可靠性造成不利影响。

    一种离子注入机用高性能低温泵

    公开(公告)号:CN211623639U

    公开(公告)日:2020-10-02

    申请号:CN201922061965.2

    申请日:2019-11-24

    Abstract: 本实用新型公开了一种离子注入机用高性能低温泵,包括壳体、制冷机、辐射冷屏、障板,还包括被所述辐射冷屏和所述障板包围的吸附阵和转接板,所述吸附阵包括冷头帽、传热板和低温板,所述低温板表面设有吸附材料,所述冷头帽固定安装于所述传热板的上端且正对低温泵的吸气口,所述二级冷却台通过所述传热板的侧壁开口伸入所述传热板内腔并与所述转接板安装连接,所述转接板同时与所述冷头帽安装连接。上述结构的离子注入机用高性能低温泵有效地提高了整个低温泵的吸附速度和吸附容量,具有结构简易、安装方便的特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种液氮辅助降温的大冷量制冷机

    公开(公告)号:CN215983417U

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202121778427.6

    申请日:2021-07-30

    Abstract: 本实用新型公开了一种液氮辅助降温的大冷量制冷机,包括压缩机、管道、配气腔、液氮储罐、预冷腔,所述压缩机通过管道与配气腔相连通,所述配气腔的内腔安装有阀组,所述阀组通过管道与液氮储罐相连通,所述阀组通过管道与预冷腔相连通,所述预冷腔的下端通过管道贯通连接有膨胀腔,在输入功率不变的前提下,通过引入液氮,对制冷工质先进行辅助降温,使得进入到膨胀腔的气体温度降低,可以提高制冷量效率,提升有效制冷量,并且通过一个配气阀门,同时控制氦气和液氮进入及排出,有效的提供了工作效率,同时能够有效降低液氮的消耗量,有效的提高了装置的实用性。

    一种低温放气率测量设备
    36.
    实用新型

    公开(公告)号:CN222067028U

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202420402268.7

    申请日:2024-03-01

    Abstract: 本实用新型公开了一种低温放气率测量设备,包括抽空设备、插板阀、测试腔体、冷源、真空测试仪,所述抽空设备与测试腔体相连,所述抽空设备与测试腔体之间设有插板阀,所述测试腔体还连接有真空测试仪,其测试端延伸至测试腔体内,所述测试腔体还连接有冷源,所述抽空设备包括低温泵和前级泵,所述低温泵包括GM制冷机,所述冷源为GM变频制冷机。本实用新型中,通过低温泵和前级泵的设置,能够为测试腔体提供洁净的超高真空环境,通过将冷源设置为GM变频制冷机,能够实现从320K到4K的超宽温区控温,通过真空测试仪可分别测量无样品和有样品时测试腔体中的真空变化,从而测量出样品在低温下的放气率。

    吸附阵及具有该吸附阵的低温泵

    公开(公告)号:CN213838825U

    公开(公告)日:2021-07-30

    申请号:CN202022862946.2

    申请日:2020-12-03

    Abstract: 本实用新型公开一种吸附阵及具有该吸附阵的低温泵,吸附阵包括传热板、连接板,传热板上设置若干个低温板,低温板的内侧朝向传热板的内部,低温板的外侧轮廓为圆弧形;低温板上设置有吸附材料。低温泵包括上述吸附阵,还包括制冷机、壳体,壳体中设置辐射冷屏,吸附阵通过连接板安装在二级冷却台端部,连接板垂直于二级冷却台轴线,二级冷却台及吸附阵均位于辐射冷屏内部;辐射冷屏开口处设置障板,壳体开口处设置泵口法兰,辐射冷屏的开口朝向与壳体的开口朝向相同,辐射冷屏的轴线与壳体的轴线重合,一级冷却台、二级冷却台的轴线垂直于辐射冷屏的轴线。本实用新型的优点在于:H2能够直接快速的到达吸附材料并被捕获,提高低温泵对H2的抽速。

    一种高吸留极限的低温泵
    39.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207847882U

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201721241662.3

    申请日:2017-09-26

    Abstract: 本实用新型公开了一种高吸留极限的低温泵,安装于真空腔室中,其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件,所述低温冷源包括制冷机冷头,所述制冷机冷头包括同轴配置的二级冷却台和一级冷却台,所述辐射冷屏与一级冷却台热连接,所述低温板组件与二级冷却台热连接,所述壳体上设有进气口,其进气方向与制冷机冷头的轴向正交,所述低温板组件活动安装于二级冷却台上并可绕所述二级冷却台旋转。本实用新型提供的低温泵的低温板组件通过其旋转运动均可较为接近吸气口,实现对吸气口气体的良好冷凝和吸附。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种低温泵
    40.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207377758U

    公开(公告)日:2018-05-18

    申请号:CN201721241393.0

    申请日:2017-09-26

    Abstract: 本实用新型公开了一种低温泵,安装于真空腔室中,其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件,所述低温冷源包括通过管道连接的冷头和压缩机,所述冷头包括依次连接的二级冷却台、一级冷却台和冷头基座,所述辐射冷屏固定安装于一级冷却台上并与其热连接,所述低温板组件固定安装于二级冷却台上并与其热连接,所述低温泵的壳体呈带主轴的筒形,其筒侧面设有低温泵吸气口,所述冷头基座活动安装于所述壳体上并可绕低温泵主轴相对于所述壳体旋转运动。本实用新型通过对低温板组件和辐射冷屏进行了旋转式设计,提高了低温泵吸附和冷凝的极限和效率。

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