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公开(公告)号：CN210013796U
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201920211972.3
申请日：2019-02-15
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种可持续抽真空的低温泵装置，用于将真空腔室内的真空度提升至所希望的级别，其特征在于，包括三通装置、两套低温泵，两套低温泵由第一低温泵和第二低温泵组成，三通装置中的两通道分别与一套低温泵的吸气口联通，且这两通道上均设有开关阀门，三通装置中的剩余一通道联通真空腔室。该低温泵装置可持续抽真空工作、无需停机再生，应用前景广泛。
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