十字运动面及动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪

    公开(公告)号:CN115388772A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202211003570.7

    申请日:2022-08-20

    Abstract: 十字运动面及动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪属于精密测量设备;本机由主机座、立向支撑柱及轴座构成机架,在主机座上可纵、横向移动配装带有三角激光反射镜、反射镜安装架、纵向激光反射镜的十字形运动面,由横向气浮轴套、纵向气浮轴套、横向连接件、纵向连接件组成的横、纵向移动驱动机构安装在运动座上,可驱动十字形运动面于横纵方向高精度移动,通过立向移动机构可立向移动第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、第三激光干涉仪及探针;通过采用上述方案,能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。

    立方体式反射镜组及探针一体的形位误差测量仪

    公开(公告)号:CN115371552A

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202211001791.0

    申请日:2022-08-20

    Abstract: 立方体式反射镜组及探针一体的形位误差测量仪属于精密测量仪器;本测量仪中反射镜组及探针一体化设计,置于角度位移测量组件相对空间内测,使得仪器测量结构简单、紧凑;且反射镜组及激光干涉仪安装块分别使用一整块零膨胀微晶玻璃制作,消除了超精密测量仪器中的主要的热膨胀误差对测量精度的影响,同时使用激光干涉仪测量角度和位移,在三轴方向获得亚纳米测量精度的同时,使得仪器可以实时补偿测量误差;本发明兼具了结构简单和高测量精度的特性,可以实现对微纳米级微器件的超精密测量。

    基于三维量子隧穿的非接触亚纳米传感方法与装置

    公开(公告)号:CN109186434B

    公开(公告)日:2022-11-15

    申请号:CN201810889933.9

    申请日:2018-08-07

    Abstract: 基于三维量子隧穿的非接触亚纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术;本发明针对导体被测物采用三维量子隧穿原理传感,首先将被测物和微测球的瞄准间隙调整至隧穿工作区间,再采用偏置电场发生系统产生偏置电压加载在微测球和被测件之间形成偏置电场,然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号,尔后通过隧穿信号检测系统以亚纳米分辨力提取瞄准间隙信息;本发明还提供了一种传感装置;本发明有效兼顾了亚纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性,可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。

    导向与驱动一体的永磁体两端侧边励磁矩形电磁驱动装置

    公开(公告)号:CN115296504A

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202211003943.0

    申请日:2022-08-21

    Abstract: 导向与驱动一体的永磁体两端侧边励磁矩形电磁驱动装置属于振动计量技术领域,该装置包括电磁驱动器和运动组件;所述电磁驱动器包括永磁体、长磁轭、端磁轭和中心磁轭,它们的截面均为矩形,整体成轴对称结构;所述运动组件由骨架和激励线圈构成,在骨架上设有气室、进气孔和排气孔,通过运动组件上的骨架将运动组件整体可轴向滑动地套装在电磁驱动器的中心磁轭上,在骨架与中心磁轭之间采用气浮导轨结构。本装置完成了精密导向与驱动一体化的电磁驱动设计,实现了高精度装配和电磁驱动装置的小型化,提升了电磁驱动装置的运动精度,负载能力显著增强。

    大长径比卧式罐容积多站三维激光扫描内测装置及方法

    公开(公告)号:CN112378474B

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202011282217.8

    申请日:2020-11-17

    Abstract: 本发明公开了一种大长径比卧式罐容积多站三维激光扫描内测装置及方法,属于激光扫描技术领域,其技术方案包括激光扫描器、沿卧式罐轴线方向设置的导轨、拼接靶标和处理器,所述导轨上设置有带动激光扫描器沿导轨长度方向滑动的传动组件,激光扫描器在传动组件带动下设置有多个测量站点,所述拼接靶标设置于相邻两测量站点之间,且位于相邻两测量站点的公共扫描范围内,所述处理器放置于卧式罐外,接收激光扫描器测量数据,并对数据进行拼接处理后计算容积值。将激光扫描器沿罐体轴线方向伸入罐体内部进行测量,通过对多站测量的点云数据拼接的方式获得高精度且精度相等的测量数据,解决了现有技术不能够针对大长径比卧式罐体容积测量的问题。

    大型精密设备气浮隔振与阻尼防护转运装置与方法

    公开(公告)号:CN115217894A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202210835016.9

    申请日:2022-07-15

    Abstract: 本发明涉及一种大型精密设备气浮隔振与阻尼防护转运装置与方法,属于转运设备技术领域,其技术方案包括车架、隔振平台、气浮隔振单元、被动阻尼器、限位单元、高度检测与控制装置和处理器,所述隔振平台支撑被转运设备;所述气浮隔振单元、被动阻尼器、限位单元和高度检测与控制装置分别在车架的上底面和四个内侧面与所述隔振平台间并联间隔设置若干个。通过隔振单元的三向布置实现了三向隔振,能够保证转运过程中姿态恒定的同时有效抑制摇摆晃动,添加阻尼单元和限位单元提高了隔振性能,实现了强冲击作用下的安全防护,解决了现有技术不能实现大型精密设备转运过程中三向精密隔振与冲击防护的转运问题。

    大型精密设备气浮隔振与主动阻尼转运装置

    公开(公告)号:CN115217892A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202210835008.4

    申请日:2022-07-15

    Abstract: 本发明涉及一种大型精密设备气浮隔振与主动阻尼装置,属于转运设备技术领域,其技术方案包括车架、隔振平台、气浮隔振单元、高度检测与控制装置和处理器,所述隔振平台支撑被转运设备,还包括主动阻尼单元和限位单元,所述气浮隔振单元、主动阻尼单元、限位单元和高度检测与控制装置分别在车架的上底面和四个内侧面与所述隔振平台间并联间隔设置若干个。隔振单元的三向布置实现了三向隔振,能够保证转运过程中姿态恒定同时有效抑制摇摆晃动,添加主动阻尼单元实现了精密阻尼调控隔振,同时添加限位单元实现了强冲击作用下的安全防护,解决了现有技术在大型精密设备转运过程中不能实现三向精密隔振与冲击防护的转运问题。

    基于轴向磁化磁环负刚度结构的超低频空气弹簧隔振器

    公开(公告)号:CN111734780B

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN202010606309.0

    申请日:2020-06-29

    Abstract: 基于轴向磁化磁环负刚度结构的超低频空气弹簧隔振器属于精密隔振技术领域,包括双腔室空气弹簧隔振器和负刚度磁弹簧,负刚度磁弹簧同轴嵌套在双腔室空气弹簧隔振器的主气室内,主气室的底部设置环形橡胶垫,主气室与附加气室之间均匀设置2~10个节流孔;负刚度磁弹簧由沿轴向同向磁化、轴向高度中心处于同一水平线上的内定磁环、动磁环和外定磁环同轴嵌套构成;本发明固有频率低,阻尼系数大,集成度及稳定性高、可以避免冲击扰动激励导致动磁环与主气室底部产生刚性碰撞,实现精密仪器设备的低频/超低频隔振效果。

    基于主动电磁负刚度结构的六自由度隔微振器

    公开(公告)号:CN112303175A

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN202011189248.9

    申请日:2020-10-30

    Abstract: 基于主动电磁负刚度结构的六自由度隔微振器属于精密隔振技术领域,包括上板、基板以及连接上板和基板的六套主动电磁负刚度结构。主动电磁负刚度结构利用同轴嵌套双磁环结构在垂向实现刚度不可调整的负刚度特性,并利用与双磁环负刚度结构同轴嵌套的通电线圈产生精密可控的励磁磁通,改变动磁环周围的偏置磁场,进而实现负刚度值的调整,适应隔振负载质量及激励频率的变化。磁环间隙与正刚度隔振器的起落运动方向垂直,不限制隔振负载的振动幅值;偏置磁场由定磁环提供,线圈中只需较小的电流产生励磁磁通对偏置磁场进行调节,而无需持续的高能量输入,系统能耗低。

    接触/非接触复合原理纳米传感方法与装置

    公开(公告)号:CN109186435B

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201810890253.9

    申请日:2018-08-07

    Abstract: 接触/非接触复合原理纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术;本发明针对导体被测物采用量子隧穿和球面散射场复合原理传感,首先采用球面散射场原理得到瞄准间隙的粗测结果,据此将被测物和微测球的瞄准间隙直接调整至隧穿工作区间,然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号;针对非导体被测物采用接触探测原理传感,微测球接触被测物后其位移由弹性传递机构传递至敏感单元并转化为传感信号;本发明还提供了一种复合原理纳米传感装置;本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性,同时也可针对非导体被测物进行测量,可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。

Patent Agency Ranking