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公开(公告)号：CN102708361A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210146028.7
申请日：2012-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 远距离人脸采集方法，属于图像处理领域，本发明为解决现有人脸采集技术存在的人脸采集的距离不够远，采集过程的友好性不够的问题。本发明所涉及的人脸采集设备包括PC机、双目摄像头、二自由度旋转云台和长焦摄像机，长焦摄像机设置在二自由度旋转云台上，所述远距离人脸采集方法包括：PC机根据双目摄像头采集的目标人脸的三维坐标，调整二自由度旋转云台带动长焦摄像机对准目标人脸的方向，并采集目标人脸的视频信息；如为目标人脸的正脸，调整其在视频当前帧图像的中心区域及清晰度，完成采集，如不是正脸，返回重新采集。
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公开(公告)号：CN119382570A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411408146.X
申请日：2024-10-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于相移有理基的直线磁阻电机单频磁滞非线性建模方法，涉及超精密运动控制技术领域。首先对直线磁阻电机的输入电流与输出磁通之间的磁滞环进行机理分析，基于相移有理基进行建模，然后对直线磁阻电机的输入电流与输出磁通之间的磁滞现象进行分解，将其分为上升部分和下降部分，最后用最小二乘算法进行参数估计。能够简化磁滞模型的复杂度，减少磁滞模型的待辨识参数，降低磁滞模型的辨识难度，能够更加准确的对转折点处的磁滞现象进行建模，提高直线磁阻电机磁滞模型的精度。
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公开(公告)号：CN119382569A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411408143.6
申请日：2024-10-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于相移有理基的直线磁阻电机率相关磁滞建模方法，涉及超精密运动控制技术领域。首先对直线磁阻电机的输入电流与输出磁通之间的磁滞环进行机理分析，基于相移有理基进行建模，然后对直线磁阻电机的输入电流与输出磁通之间的磁滞现象进行分解，将其分为上升部分和下降部分，最后用最小二乘算法进行参数估计，得到完整的直线磁阻电机率相关磁滞模型。能够更加准确的对转折点处的磁滞现象进行建模，提高直线磁阻电机磁滞模型的精度，同时增加了率相关因子，符合磁滞率相关特性。
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公开(公告)号：CN118068656B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202410208941.8
申请日：2024-02-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法，所述系统包括运动轨迹生成部分、学习控制部分、反馈控制部分和不确定性补偿部分，运动轨迹生成部分包括运动轨迹生成器Cr，运动轨迹生成器Cr产生参考运动轨迹yd(t)，yd(t)减去位置测量信号yε,k(t)得到位置误差信号ek(t)，ek(t)输入给学习控制部分，学习控制部分产生前馈信号eff,k(t)，eff,k(t)与ek(t)相加得到修正误差信号efb,k(t)，efb,k(t)输入给反馈控制部分，反馈控制部分包括反馈控制器Cfb，反馈控制器Cfb产生反馈控制量ufb,k(t)，ufb,k(t)输入给不确定性补偿部分，不确定性补偿部分产生位置测量信号yε,k(t)。本发明能够有效减少模型不确定性对学习性能的影响，同时可有效补偿外部随机扰动，设计简单，具有较强实际应用价值。
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公开(公告)号：CN118192439A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410400185.9
申请日：2024-04-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/416
Abstract: 本发明公开了一种基于延时脉冲整形的S曲线规划系统及其参数整定方法，所述系统由轨迹生成器、电控系统ECS、柔性系统和实际输出组成，其中：轨迹生成器的输出为连续参考S曲线，连续参考S曲线经电控系统ECS获得参考输入，参考输入经柔性系统获得实际系统输出，且电控系统ECS的离散采样时间、柔性系统的共振频率、阻尼系数以及实际系统输出的残余振动的信息共同提供给轨迹生成器，以修正连续参考S曲线。本发明解决了传统S曲线最高阶延时脉冲叠加规划时未考虑被控系统柔性模态信息，容易激励柔性结构振动模态造成残余振动甚至物理损伤的问题，同时解决了传统柔性结构残余振动抑制需添加额外的减震装置，重量增加和经济成本较高的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116560305B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310698169.8
申请日：2023-06-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 多轴运动台高速精密控制装置及方法，涉及多轴运动台高速精密控制领域，是为了解决现有光刻机多轴运动台的控制精度和速度不足，以及不同板卡之间通信相互干扰的问题。本发明提供的多轴运动台高速精密控制装置及方法，通过以太网进行数据交互和参数设置，通过VME总线进行命令处理，通过SRIO总线进行数据处理，将控制命令和数据处理进行分开操作，使得控制协议简单并实现逻辑设计简化，有效的避免采用统一的VME总线处理命令和数据所带来的复杂程序设计工作。SRIO总线相比于传统的VME总线，此外，多核的处理器保证了一核多轴的控制，避免了多板卡之间通信时相互干扰。本发明适用于多轴运动台的高速精密控制。
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公开(公告)号：CN116560305A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310698169.8
申请日：2023-06-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 多轴运动台高速精密控制装置及方法，涉及多轴运动台高速精密控制领域，是为了解决现有光刻机多轴运动台的控制精度和速度不足，以及不同板卡之间通信相互干扰的问题。本发明提供的多轴运动台高速精密控制装置及方法，通过以太网进行数据交互和参数设置，通过VME总线进行命令处理，通过SRIO总线进行数据处理，将控制命令和数据处理进行分开操作，使得控制协议简单并实现逻辑设计简化，有效的避免采用统一的VME总线处理命令和数据所带来的复杂程序设计工作。SRIO总线相比于传统的VME总线，此外，多核的处理器保证了一核多轴的控制，避免了多板卡之间通信时相互干扰。本发明适用于多轴运动台的高速精密控制。
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公开(公告)号：CN112612210B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202011474923.2
申请日：2020-12-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种精密运动台特定频率扰动抑制方法，所述方法包括如下步骤：一、由轨迹生成器Cr生成精密运动台P的期望位置信号r；二、测量P的实际位置信号y；三、将r与y作差，得到位置误差信号e，e经过反馈控制器C得到反馈控制信号ufb；四、前一周期的控制信号u经过滤波器Q之后得到信号uQ；五、计算Q与精密运动台名义模型P0的逆即的乘积，得到y经过之后得到uPQ；六、将uPQ与uQ作差得到扰动信号估计值七、将ufb与作差，得到当前周期控制信号u，u与外部扰动信号d的和up作用于P产生位置信号y。本发明不仅能够对一定频率范围内的扰动均起到一定的抑制作用，而且对特定频率扰动可以加强抑制能力，进一步提升精密运动台控制性能。
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公开(公告)号：CN105182906A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510615768.4
申请日：2015-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/19
CPC classification number: G05B19/19
Abstract: 基于高阶S型运动轨迹的位置与速度控制方法，属于精密运动控制领域。为了解决利用传统的轨迹规划算法的位置与速度控制方法的可移植性差的问题。所述控制方法包括：一：根据第N阶S曲线的限定值求取第N阶S曲线在各分段点的值S(N)[k]；二：求取第k个分段点对应的时间值T[k]和第n阶S曲线在第k个分段点的值S(n)[k]；三：对确定T[k]和S(n)[k]的S曲线进行采样，获得规划后的N阶S型运动轨迹；四：根据规划后的N阶S型运动轨迹，利用位置的采样值、位置的第1阶导数的采样值分别对位置与速度进行控制。本发明用于运动机构位置与速度的控制。
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公开(公告)号：CN105068383A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510474811.X
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种微动台机械参数误差辨识方法，属于超精密制造领域。为了解决传统间接测量方法受固定参数和固定输入输出维数的限制的问题。本发明通过对微动台的建模，描述方程的建立，通过方程和近似解得一部分机械参数误差，最后引入紧凑式教学优化算法得到剩余其他的参数误差。使参数的测量不受测量的参数和需求参数的维数所限制，不受传统方法解算方程时参数矩阵不能为奇异矩阵的限制，误差参数的个数和需要测量的参数的个数不受限制，同时能满足控制所需的高精度。本发明用于光刻机。
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