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公开(公告)号:CN111044242A
公开(公告)日:2020-04-21
申请号:CN201911396097.1
申请日:2019-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M5/00
Abstract: 一种超精密飞切机床主轴与导轨刚度检测装置及检测方法,属于机床性能检测技术领域。本发明解决了现有技术无法实现超精密静压主轴与导轨刚度准确检测的问题。所述第一基准板上由下到上依次固设有力传感器、气缸及定心支杆,支撑板的底端开设有定心孔,所述定心孔与主轴同轴布置,且定心支杆的顶端与所述定心孔配合,第一基准板上方布置有若干导轨位移传感器,第二基准板上方布置有若干主轴位移传感器,且若干所述导轨位移传感器及若干主轴位移传感器分别绕主轴轴线均布,若干主轴位移传感器分别通过导线连接主轴位移信号采集器,若干导轨位移传感器分别通过导线连接导轨位移信号采集器,力传感器通过导线连接力信号采集器。
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公开(公告)号:CN106205774A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201610571807.X
申请日:2016-07-19
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供了一种导电浆料及透明导电涂层,所述导电浆料的组分包括金属导电填料、树脂基体、纳米填料粒子和/或胶体粒子、溶剂。采用本发明的技术方案,该导电浆料体系均一稳定,同时具有导电、减反射、促分散、增强机械综合性能的特性。利用该浆料实现了透明导电涂层的一步法制备,也可以采用三步法制备,制得的导电涂层透光性高、导电性好,同时机械综合性能优异;且制备方法工艺简单、成本低廉、重复性好、处理温度低,具有良好的工业应用前景。
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公开(公告)号:CN103341788A
公开(公告)日:2013-10-09
申请号:CN201310268014.7
申请日:2013-06-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 消除测量基准安装误差的超精密静压主轴动态特性在线检测方法,涉及静压主轴动态特性检测领域。解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态特性在线检测或现有方法测量基准面的安装精度对测量结果影响较为严重的问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面,将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准,采用两个高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与两个高精度位移传感器之间的位移变化,通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理,实现超精密直驱式静压主轴动态特性的在线测量,由于采用两通道同时测量,同时实现主轴的轴向窜动和径向偏摆特性的检测。
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公开(公告)号:CN103335833A
公开(公告)日:2013-10-02
申请号:CN201310272441.2
申请日:2013-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M13/00
Abstract: 在线测量超精密静压主轴动态性能的装置及采用该装置测量静压主轴动态性能的方法,本发明涉及一种超精密静压主轴动态性能在线测量方法。本发明解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测量或现有方法难以解决测量基准的安装误差和制造误差对测量结果产生影响的问题。本发明采用高精度位移传感器采集传感器与标准球之间的位移信息,获得的位移信息经信号放大器进行放大,经A/D转换电路和数据采集电路后输入至计算机;采用旋转编码器对主轴的相位信息进行采集并输入计算机,通过计算机进行分析与处理,获得超精密静压主轴旋转的动态性能误差数据,完成超精密静压主轴动态性能在线测量。本发明适用于超精密静压主轴动态性能在线测量。
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公开(公告)号:CN103335783A
公开(公告)日:2013-10-02
申请号:CN201310268076.8
申请日:2013-06-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M1/14
Abstract: 一种超精密直驱式静压主轴动平衡方法,它涉及一种静压主轴动平衡方法。为解决现有方法不能实现超精密静压主轴转子的精密动平衡问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面,将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准,采用高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与高精度位移传感器之间的位移变化,通过传感器信号放大器放大成0-10V的信号后输入动平衡仪,同时将光电测速仪测得的主轴转速信息输入动平衡仪,通过动平衡仪对所测得的信息进行处理得到转子不平衡质量和相位,在动平衡盘上根据动平衡仪指示的相位加入所需的平衡质量块。保证了主轴旋转中心同测量基准球的旋转中心能够很好重合,消除了安装误差对测量结果造成的影响。
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公开(公告)号:CN101702329B
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN200910309561.9
申请日:2009-11-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 一维微位移装置,它涉及一种微位移装置。它解决了现有的微位移装置的柔性铰链径向刚度小、径向承载力小,以及难以精确控制输出的问题。一维微位移装置,它的所述连接轴位于基座的工作孔中,前应变片和后应变片平行设置,一号内环与二号内环分别固定在连接轴的两端的台肩内,前端盖和后端盖分别通过一号内环和二号内环与连接轴的台肩连接,一号外环与二号外环分别固定在基座的两端,二号内环与后端盖固定连接。本发明的装置可以广泛适用于在超精密加工中提供误差补偿、精密微量进给等场合。
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公开(公告)号:CN101876393B
公开(公告)日:2011-09-07
申请号:CN201010195838.2
申请日:2010-06-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种超精密平台调平装置,它涉及一种调平装置。本发明的目的是解决目前单轴螺旋式调整的调平装置存在调整精度低、稳定性差及自动调平装置需要复杂的结构和较大的体积、成本较高、操作复杂和应用范围局限的问题。槽形底座上装有第二底座、第一底座和第三平面垫块,第一底座、第二底座和第三平面垫块呈等腰三角形布置;第一斜垫设置在第一底座上,第一斜垫和第一底座通过第一调整机构连接,平面垫块设置在第一斜垫上,第一球头调整垫块与平台固接;第二斜垫设置在第二底座上,第二斜垫和第二底座通过第二调整机构连接,第二球头调整垫块装在凹槽内,第二球头调整垫块与平台固接。本发明可以广泛应用于超精密机床、光学检测与成像等领域。
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公开(公告)号:CN102151853A
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN201110109006.9
申请日:2011-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B19/02
Abstract: 一种立式超精密液体静压电主轴系统,它涉及一种静压电主轴系统。本发明为了解决现有的超精密加工机床中,其主轴系统刚度低,电机和主轴间的动力驱动效果差的问题。本发明的轴套上开设环形凹槽,轴套上开设多个轴向回路和多个径向回路,多个轴向回路和多个径向回路相连通,且多个轴向回路和多个径向回路相交于环形凹槽的槽底拐角处,两个第一半环相对套装在轴套上且位于环形凹槽内,油室套与轴套之间形成储油腔,轴套固定安装在轴系支架上,且轴套位于轴系支架内,主轴设置在轴套内,且轴套与主轴之间留有间隙,主轴的上端通过止推板与直流电机系统的输出轴固定连接,主轴的下端与刀盘固定连接。本发明用于立式超精密机床中。
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公开(公告)号:CN101642880A
公开(公告)日:2010-02-10
申请号:CN200910072732.0
申请日:2009-08-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q3/06
Abstract: 用于夹持薄壁平面工件的真空吸附夹紧装置,它涉及一种夹紧装置。本发明解决了常规的夹紧装置在夹持薄壁平面类工件时工件出现夹紧变形以及无法满足不同口径零件的装夹问题。本发明的上吸盘的下端面固装在下吸盘的上端面上,所述吸盘阀体设置在下吸盘的一侧端面上,上吸盘上开有呈矩阵分布的若干个阶梯通孔,下吸盘的上端面的中部开有矩形凹槽,在所述下吸盘的上端面上沿矩形凹槽的四周由内向外开有多个回字形凹槽,多个回字形凹槽与相对应位置处的阶梯通孔相连通。本发明结构简单、工作可靠、可根据需要灵活设计真空吸盘的大小;可以吸附夹紧不同尺寸的薄壁类平面零件,只需调节吸盘阀体上的开关阀即可。
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公开(公告)号:CN100462199C
公开(公告)日:2009-02-18
申请号:CN200710072022.9
申请日:2007-04-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B1/00
Abstract: 常压等离子体抛光方法,它涉及一种抛光方法。本发明的目的是为解决常规的机械式研抛方法存在的不足及在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、易产生表层及亚表层损伤、表面清洗困难等问题。本发明的方法主要是,等离子体气体与反应气体的体积比为4∶1~1000∶1;启动射频电源,逐步施加功率,控制反射功率为零,初始有效功率为180~240瓦,常用功率为400~1200瓦,最高功率可加至1500瓦。本发明可在常压下通过等离子体化学反应实现超光滑表面加工,不需要真空室,可降低设备成本并扩大其使用范围。加工效率是传统抛光方法的十倍,并且无表面损伤、无亚表层损伤、无表面污染,抛光工件的表面粗糙度小于1nmRa。
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