公开(公告)号：CN103335751A

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN201310220870.5

申请日：2013-06-05

Applicant: 厦门大学

Inventor： 孙道恒 ,  杜晓辉 ,  占瞻 ,  何杰 ,  王小萍 ,  周如海

IPC: G01L1/16 ,  G01L9/08 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00

Abstract: 一种双谐振子硅微压力传感器及其制作方法，涉及传感器。提供一种具有高品质因子、良好热匹配性和低残余应力的双谐振子硅微压力传感器及其制作方法。所述传感器由下至上依次设有应力隔离块、压力敏感座、谐振体、真空封装帽和电极。由于设有双谐振子，双谐振子在工作时两者反向振动，使谐振结构在振动时有固定的重心，沿每个支承连接轴线的力矩总和为零，每个振动周期消耗的能量会大大减小，谐振结构的品质因子得到较大提高。硅材料的使用使整个传感器主体结构的热膨胀相匹配，大大降低了谐振频率的温度系数，为传感器获得高测量精度奠定基础。由于在压力敏感座底部设有带导气孔的应力隔离块，显著降低了封装过程中产生的残余应力。

公开(公告)号：CN103193195A

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201310074216.8

申请日：2013-03-08

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  王申 ,  张豪尔 ,  杜晓辉 ,  蔡建法 ,  占瞻 ,  孙道恒

IPC: B81C1/00

Abstract: 一种重掺杂硼硅片的再分布方法，涉及一种重掺杂硼硅片。将重掺杂硼硅片放在托盘上，然后置于石英腔体中，关闭屏蔽箱门，旋转压紧密封机构；将石英腔体抽真空，通过气体进口和气体出口，对石英腔体内通入再分布所需气体；开启电源，通过电极片在空间中施加电场，然后开通射频电源，通过自动匹配器实现负载匹配，让感应线圈产生高频变化的磁场；打开温度传感器，利用温度传感器的温度指示，调节输入功率达到要求的温度，对重掺杂硼硅片进行加热，开始再分布过程；为确保操作人员安全，电磁感应线圈外装有电磁屏蔽外壳，在整个再分布过程中要保持干扰场强仪的开启，以实时监测场强大小，使其在相关规定的范围内。加热速率快，成本低，有效减小残余应力。

公开(公告)号：CN102393264A

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN201110343031.3

申请日：2011-11-03

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  苏源哲 ,  杜晓辉 ,  占瞻 ,  孙道恒

IPC: G01L1/18

Abstract: 一种基于纳米压电纤维的压力传感器，涉及一种压力传感器。提供一种灵敏度较高的基于纳米压电纤维的压力传感器。设有硅基底、硼掺杂层、二氧化硅薄膜、金属电极和PVDF纳米压电纤维；所述硼掺杂层设于硅基底的上表面，硼掺杂层与硅基底连为一体，硅基底内设有空腔，二氧化硅薄膜生长在硅基底无空腔的一侧，2个金属电极固定在二氧化硅薄膜上，PVDF纳米压电纤维直接写在2个金属电极之间，PVDF纳米压电纤维与金属电极之间形成欧姆接触。

公开(公告)号：CN203908560U

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201420202703.8

申请日：2014-04-24

Applicant: 厦门大学

Inventor： 刘益芳 ,  占瞻 ,  王凌云

IPC: G01C25/00

Abstract: 本实用新型涉及陀螺测试仪器技术领域，一种微陀螺仪测试转台，包括支座结构、电刷结构、回转结构和发电机，所述支座结构中部开设有圆柱形腔体，该电刷结构嵌设在该圆柱形腔体内壁，且该电刷结构包括多个均匀竖直分布的电刷块，所述回转结构包括一盘面、转轴和多个电刷环，所述盘面与支座结构顶部相抵配合，该转轴伸入该圆柱形腔体，多个电刷环沿轴向依次均匀套设在转轴，且该多个电刷环与电刷块相匹配，所述发电机转轴从圆柱形腔体底部伸入并与回转结构的转轴固定连接。本实用新型使测试端与输出端以相同速度旋转，防止导线缠绕。

公开(公告)号：CN202438760U

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201220031307.4

申请日：2012-01-31

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  杜晓辉 ,  占瞻 ,  左文佳 ,  苏源哲 ,  吕文龙 ,  孙道恒

IPC: B23K3/03

Abstract: 一种基于智能调温断电保护的电烙铁座，涉及一种电烙铁座。设有座体、电烙铁架、压力传递机构、显示模块、传感器、蜂鸣器、控制模块、电源控制模块、开关及按钮、电烙铁电源插口座和锡盘；所述电烙铁架、显示模块、蜂鸣器、开关及按钮、电烙铁电源插口座和锡盘设于座体上；所述压力传递机构、传感器、控制模块和电源控制模块设于座体内；所述压力传递机构设于电烙铁架下方，传感器与压力传递机构连接，传感器和开关及按钮的输出端与控制模块的输入端口连接；电源控制模块的输出端口与电烙铁电源插口座连接，电烙铁电源插口座外接电烙铁加热丝。

公开(公告)号：CN202447780U

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201220031308.9

申请日：2012-01-31

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  杜晓辉 ,  左文佳 ,  占瞻 ,  苏源哲 ,  吕文龙 ,  孙道恒

IPC: B23K3/03 ,  G05D23/19

Abstract: 一种电烙铁智能调温断电保护装置，涉及一种电烙铁。设有控制模块、传感器、显示模块、蜂鸣器、开关按钮和功率及温度控制模块；所述传感器的输出端接控制模块的输入端，开关按钮与控制模块连接，控制模块的输出端分别与显示模块的输入端、蜂鸣器的输入端和功率及温度控制模块输入端连接，功率及温度控制模块输出端外接电烙铁。由于使用本实用新型的电烙铁是依靠加速度传感器检测运动状态来实现快速增温和调温的功能，因此具有迅速预热、成本低廉、可恒温控制、断电提醒、自动断电节约能源、操作简便以及使用安全等突出优点，适合大范围推广使用。