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公开(公告)号：CN111547805A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010532947.2
申请日：2020-06-12
Applicant: 厦门大学深圳研究院
Abstract: 本发明提出了一种基于电纺纳米纤维柱的高效水处理净化装置，包括至少一个高效过滤板、上层流道出水盖板和下层流道进水基板，所述高效过滤板分别与上层流道出水盖板和下层流道进水基板可拆卸连接，所述高效过滤板上设有若干个纳米纤维柱孔道，所述纳米纤维柱孔道沿高效过滤板的厚度方向贯穿所述高效过滤板，每一纳米纤维柱孔道内通过静电纺丝方式设有纳米纤维柱，所述上层流道出水盖板上设有与纳米纤维柱孔道相通的出水口，所述下层流道进水基板上设有与纳米纤维柱孔道相通的进水口。本发明通过叠放含有不同过滤材料的分散过滤板块，使其可以根据所需经过多级净化材料，有效提高净化质量。
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公开(公告)号：CN109267159A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811314130.7
申请日：2018-11-06
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种可快速多针尖定位的静电纺丝喷头，涉及静电纺丝。设有上盖板、针头安装板、导电板、针头阵列和气罩；上盖板设有进液孔，上盖板通过软管与供液装置连接；针头安装板为阶梯结构，阶梯高度差与对应位置针头高度差一致，针头安装板设有针头定位孔；导电板与高压电源正极相连，导电板为分离式结构；针头阵列设有按弧形阵列排布的针头，针头阵列的中间位置针头位于最低点，针头阵列的两侧针头对称排布；气罩设有两个进气孔，气罩通过导气管与供气装置相连，利用调压阀控制气体流量和压强的大小。引入鞘气约束，加快纺丝射流喷射，提高纤维喷射效率，细化射流，减小纳米纤维直径，提高电纺纤维成膜均匀性和成膜质量。
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公开(公告)号：CN103962658B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410190161.1
申请日：2014-05-07
Applicant: 厦门大学
Abstract: 微细射流电极电火花加工装置，涉及电火花加工设备。脉冲信号发生器正极接工件，负极与金属针头相接；溶液注射器固定在注射泵上；金属针头与注射器连接，金属针头通过夹持装置竖直固定在进给调节装置上；进给调节装置设有丝杆和滑块，丝杆与Z轴驱动电机输出轴连接，滑块与丝杆螺纹配合，放电状态检测装置的检测端与金属针头和待加工工件连接；放电状态检测装置的信号输出端与控制器相接，进给调节装置固定在底座上；X?Y运动平台固定在底座上，X?Y运动平台用于待加工工件装夹，X轴驱动电机输出轴与X?Y运动平台X轴方向连接，Y轴驱动电机的输出轴与X?Y运动平台Y轴方向连接，控制器输出端分别与Z轴、X轴和Y轴驱动电机电连接。
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公开(公告)号：CN103318838B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201310197201.0
申请日：2013-05-24
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种应用于微机电系统器件的真空封装方法，涉及一种微器件真空封装方法。在玻璃片背面上加工出凹槽、通孔，然后在凹槽上溅射吸气剂薄膜；在SOI或SOG片上加工出梯形槽、谐振结构和微流道；将玻璃片与SOI或SOG片键合在一起形成组合片；在组合片中的通孔侧壁以及孔底未键合硅面处溅射电极和凸点下金属层；将键合后的圆片置于喷射点胶机中，在通孔结构上喷印金属焊球；将喷印有焊球的组合片置于真空键合机中，抽真空并加热，使腔室内气体通过微流道被抽走，焊料回流，并通过键合机对组合片施加压力，键合机上盘采用玻璃盖板，保证焊料不流出通孔外，融化后的焊料挤入到微流道中将通孔结构和微流道密封，实现MEMS器件的真空封装。
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公开(公告)号：CN104451910A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410628676.5
申请日：2014-11-10
Applicant: 厦门大学
CPC classification number: D01D5/0092
Abstract: 射流定点诱发的电纺装置，涉及一种电纺装置。设有高压电源、运动平台、绝缘棒、溶液槽、绝缘基座、金属收集板、卷绕收集装置；运动平台设有平台基座、驱动电机、滑块、丝杠、丝杠电机；绝缘基座上设有凹槽和滑槽；卷绕收集装置设有放卷轴、卷布、收卷轴；电源正极接溶液槽，电源负极接金属收集板；溶液槽固定在绝缘基座的凹槽中；运动平台的丝杠电机与丝杠连接，驱使滑块左右移动；滑块上的驱动电机主轴与绝缘棒相连，使绝缘棒按照给定速度旋转；绝缘棒位于溶液槽正上方，绝缘棒两端设有轴承，轴承置于绝缘基座的滑槽中；绝缘棒通过电刷环接地，绝缘棒的表面设有凸起阵列；产生的纳米纤维沉积在金属收集板下方的卷绕收集装置的卷布上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103114347B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201310074095.7
申请日：2013-03-08
Applicant: 厦门大学
Abstract: 连续的纤维制造装置，涉及一种静电纺丝装置。提供一种可克服供液不连续、射流尺寸差异大和表层溶液凝固等缺点，可保证纤维直径一致性并连续电纺纳米纤维的连续的纤维制造装置。设有电机、连接器、转动轴、诱导滚轮、针尖阵列、环形储液槽、直流高压电源、收集板和供液装置；电机输出轴经连接器与转动轴连接，诱导滚轮与转动轴转动连接，诱导滚轮表面设有齿圈，针尖阵列安装于诱导滚轮表面，环形储液槽内设有环形齿条，环形齿条与所述诱导滚轮的齿圈啮合，直流高压电源正极与环形溶液槽连接，直流高压电源负极与收集板连接，收集板设于环形溶液槽上方，收集板接地，供液装置通过输液管与环形储液槽连通。
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公开(公告)号：CN103910325A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201410067978.X
申请日：2014-02-27
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及MEMS器件封装领域，具体涉及一种通过玻璃浆料键合实现的微机电系统（MEMS）器件的封装结构及封装方法。在盖帽硅晶圆片上紧邻玻璃浆料密封环的两侧设置微凹凼，在内侧微凹凼里侧设置微阻挡凸台的微复合结构，通过微阻挡凸台的精确高度控制键合间隙；多余的具有流动性的熔融浆料在延展过程中会垂直流入微凹凼中，有效地解决了多余浆料的处理问题；降低残余应力对键合强度和气密性的影响。本发明的方法在丝网印刷前，在盖帽晶圆片上刻蚀出微凹凼；在带有微凹凼的盖帽晶圆片上刻蚀出微阻挡凸台；通过丝网印刷机的精密定位，将玻璃浆料精确地印刷两侧微凹凼之间；制作复合键合结构的盖帽晶圆片与带有可动结构的硅基底进行真空键合。
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公开(公告)号：CN102019240A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010611543.9
申请日：2010-12-29
Applicant: 厦门大学
Abstract: 可起停控制的电纺直写喷头，涉及一种电纺直写喷头。提供一种可自动起停控制、降低喷射开启电压、实现喷射与直写图案特征有机结合、完成复杂图案微纳米结构直写的可起停控制的电纺直写喷头。设带喷头空心套管、带螺纹调节塞、线圈、衔铁、回位弹簧、探针、排气管道；带喷头空心套管前端设有喷孔和注入孔，带螺纹调节塞设于带喷头空心套管后端，线圈套在带喷头空心套管外侧，衔铁设于带喷头空心套管内，探针与衔铁固连，探针前端位于带喷头空心套管前端的喷孔中，探针后端与回位弹簧一端固连，回位弹簧另一端与带螺纹调节塞内端固连，排气管道设于带螺纹调节塞上，排气管道内端与带喷头空心套管内腔相通，排气管道外端与外界相通。
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公开(公告)号：CN100513298C
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200610135263.9
申请日：2006-11-28
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C3/00
Abstract: 硅金键合方法，涉及一种硅金键合方法。提供一种可提高硅金键合晶片的键合品质，基于硅基多孔氧化铝的新型MEMS器件硅金键合方法。步骤为采用两步恒压阳极氧化法制备硅基多孔氧化铝薄膜：用电子束蒸发方法在硅片上制备一层厚度1.0～1.5μm的铝膜，一次氧化后用6wt%的磷酸和1.8wt%的铬酸混合液去除一次氧化膜，再二次氧化后用5wt%的磷酸进行扩孔处理；制备键合晶片：将Si-AAO-Ti-Au与Si-Ti-Au 2片硅片放入键合器，烘干后在N2保护下退火得键合晶片。硅金键合晶片的键合强度由1.78MPa提高到3.03MPa，晶片的键合品质得到显著提高；而晶片的断裂界面没有发生什么变化，说明基于AAO的硅金键合晶片依然遵循硅金键合晶片的断裂特性。
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公开(公告)号：CN112144127B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202011122974.9
申请日：2020-10-20
Applicant: 厦门大学深圳研究院
IPC: D01D5/00
Abstract: 本发明涉及电纺微纳制造领域，具体涉及一种基于近场电纺直写的多层微结构纤维的制备装置，包括注射泵、注射针管、电纺针头、高压电源、收集板、位移控制平台、聚焦照射光源、鞘气装置和聚焦加热光源，注射泵输送注射针管内的溶液至电纺针头，收集板位于电纺针头的下方，位移控制平台驱动收集板进行移动，收集板包括阵列分布的光敏收集单元和绝缘介质，绝缘介质填充在相邻光敏收集单元之间，聚焦照射光源聚焦于电纺针头下方的光敏收集单元，高压电源用于为电纺针头和光敏收集单元之间提供电场，本发明通过阵列分布的光敏收集单元实现了点对点喷印接收，提高了喷印精度，使得复杂微纳结构例如单点堆叠结构、悬空结构快速喷印成为了可能。
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