公开(公告)号：CN114710132B

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202110580747.9

申请日：2021-05-26

Applicant: 南京大学

Inventor： 余思远 ,  张子栋 ,  成程 ,  卢明辉 ,  陈延峰

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/56 ,  H03H9/58 ,  H03H9/64 ,  H03H9/70 ,  H03H9/72

Abstract: 本发明提供一种频率电可调的弹性波拓扑绝缘体及功能组件，该弹性波拓扑绝缘体包括基板以及二维材料层，二维材料层平铺在所述基板上，所述基板的表面设置有蜂窝晶格图案，所述二维材料层包括与所述基板接触的第一区域以及悬浮的第二区域，所述第二区域与所述基板间声阻抗失配，所述二维材料层构建为一个声子晶体结构。本发明能实现弹性波拓扑绝缘体的频率电可调。

公开(公告)号：CN106198729B

公开(公告)日：2019-04-19

申请号：CN201610536299.1

申请日：2016-07-08

Applicant: 南京大学

Inventor： 卢明辉 ,  王振 ,  余思远 ,  刘富康 ,  陈延峰

IPC: G01N29/04 ,  G01N29/07 ,  G01N29/36 ,  G01H9/00

Abstract: 本发明提供了一种声板波自聚焦光干涉扫描探测系统。系统中，信号发生器产生的激励信号经功率放大器放大后，通过压电换能器作用在样品上产生声板波；外差探测激光干涉仪发出测量臂的激光照射在样品表面经反射返回，与参考臂的激光相干叠加产生干涉信号，位于位移平台上的探头探测到的干涉信号在示波器上显示出相应的波形；示波器和位移平台分别与计算机联机，计算机用来控制位移平台的扫描路径和提取干涉信号波形的振幅与相位信息，并对数据进行后处理获得样品声板波的场分布信息。本发明利用外差激光干涉仪探测样品表面单点振动的功能与位移平台相结合，可以按照需要实现对样品表面某一区域以某一精度进行扫描获得该区域的场分布信息。

公开(公告)号：CN106198729A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201610536299.1

申请日：2016-07-08

Applicant: 南京大学

Inventor： 卢明辉 ,  王振 ,  余思远 ,  刘富康 ,  陈延峰

IPC: G01N29/04 ,  G01N29/07 ,  G01N29/36 ,  G01H9/00

CPC classification number: G01N29/041 ,  G01H9/002 ,  G01N29/07 ,  G01N29/075 ,  G01N29/36

Abstract: 本发明提供了一种声板波自聚焦光干涉扫描探测系统。系统中，信号发生器产生的激励信号经功率放大器放大后，通过压电换能器作用在样品上产生声板波；外差探测激光干涉仪发出测量臂的激光照射在样品表面经反射返回，与参考臂的激光相干叠加产生干涉信号，位于位移平台上的探头探测到的干涉信号在示波器上显示出相应的波形；示波器和位移平台分别与计算机联机，计算机用来控制位移平台的扫描路径和提取干涉信号波形的振幅与相位信息，并对数据进行后处理获得样品声板波的场分布信息。本发明利用外差激光干涉仪探测样品表面单点振动的功能与位移平台相结合，可以按照需要实现对样品表面某一区域以某一精度进行扫描获得该区域的场分布信息。

公开(公告)号：CN103117339A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201310081541.7

申请日：2013-03-15

Applicant: 南京大学

Inventor： 卢明辉 ,  林亮 ,  葛海雄 ,  余思远 ,  袁长胜 ,  陈延峰

IPC: H01L33/00

Abstract: 本发明提供了一种基于复合软模板纳米压印技术制备图案化蓝宝石衬底的方法，包括以下步骤：（1）在蓝宝石衬底上沉积一层二氧化硅作为湿法腐蚀掩膜；（2）在二氧化硅层上旋涂一层紫外光固化胶，利用复合软模板纳米压印方法将结构转移到胶层上；（3）利用ICP刻蚀方法去除残余层暴露出二氧化硅表面，并继续刻蚀将结构转移到二氧化硅层；（4）以二氧化硅层为掩膜用硫酸和磷酸混合液湿法腐蚀蓝宝石，最后用氢氟酸将二氧化硅层去除得到图案化蓝宝石衬底。本发明的优点在于利用了复合软模板纳米压印技术，相较于传统光刻方法，可以低成本、大面积的制备小尺度的图案；解决了腐蚀掩膜不规则和干法刻蚀蓝宝石成本高的问题，提高了LED的出光效率。