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公开(公告)号：CN105758501B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201610213732.8
申请日：2016-04-07
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种巨压阻双谐振质量传感器及其制备方法，包括传感器芯片和外部电路，其特征是，所述传感器芯片包括两个通过细纳米杆相连的谐振式传感器芯片和温度补偿装置芯片，所述谐振式传感器芯片包括谐振式传感器的敏感结构、硅底层、绝缘二氧化硅层、硅顶层、铝顶层、激励电极、激励电极引出端电极和检测电极，所述硅底层、绝缘二氧化硅层、硅顶层从下至上依次设置，所述的铝顶层与硅顶层处于同一层。本发明中的单晶硅纳米谐振薄膜表面通过修饰工艺处理过，带有残余应力，比传统硅压阻式谐振膜的应变系数高约2‑3个数量级。此外，为消除温度对压阻阻值变化的影响，在本发明中引入了温度补偿装置，大大地提高了测量的分辨率与灵敏度。
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公开(公告)号：CN108375446A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201810343471.0
申请日：2018-04-17
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01L9/02
Abstract: 本发明公开了一种探空巨压阻气压传感器阵列装置，包括至少一个第一巨压阻气压传感器阵列、至少一个第二巨压阻气压传感器阵列、信号调理电路、模拟选择器、模数转换器、处理器和GPS无线通信模块；第一巨压阻气压传感器阵列、第二巨压阻气压传感器阵列将采集到的数据信号通过信号调理电路处理后，利用模拟选择器选通传输给模数转换器，模数转换器转换后将数字信号传输给处理器，再通过无线通信模块将数据传输给地面的控制中心。本发明还公开了一种探空巨压阻气压传感器阵列装置的测量方法，本发明将中低空量程的气压传感器和高空量程气压传感器相结合，在复合的整个量程范围内，兼顾了高的线性度和高的灵敏度，有效地提高了测量的精确度。
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公开(公告)号：CN108287185A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201810017795.5
申请日：2018-01-09
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种探空湿度传感器、制备方法、探空湿度测量系统及测量方法，包括自下而上设置的衬底层、感湿层和过滤层，所述衬底层和感湿层之间设置有恒温层，所述恒温层包括自下而上设置的第一绝缘层、加热板、微流控装置，所述微流控装置包括蛇形管道、第二绝缘层和微流泵，所述蛇形管道设置在第二绝缘层的下表面且蛇形管道的末端连接微流泵，所述蛇形管道内置有液体。解决探空湿度传感器在高空低温等恶劣环境下容易出现结露结冰的现象，同时从根本上消除太阳辐射的影响；进一步的，提高了探空湿度传感器的测量精确度。
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公开(公告)号：CN105424236B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201510814955.5
申请日：2015-11-19
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种多量程阵列式压力传感芯片，其特征在于，包括在同一衬底上的压力传感器组和温度传感器组，所述压力传感器组为M×N压力传感器阵列，压力传感器组具有M种量程压力传感器，同时M种量程的压力传感器各具有N个，其M，N为任意数，所述温度传感器组为2×M个温度传感器阵列，温度传感器阵列位于压力传感器阵列两侧，相应的每一量程的压力传感器左右两侧均有一个温度传感器；本发明所述的一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测方法实现了压力测量的高可靠性与高稳定性，可应用于各种恶劣的环境。
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公开(公告)号：CN107044855A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201710312142.5
申请日：2017-05-05
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01C21/16
CPC classification number: G01C21/16
Abstract: 本发明提供一种基于摄像头阵列的惯性测量装置及方法，该装置包括摄像头阵列单元，特征点生成单元，环境分析单元，运动分析单元。摄像头阵列单元用于实时采集环境图像，特征点生成单元分析图像以选取多组特征点用于构建特征点矩阵，环境分析单元通过分析各特征点分别在多个摄像头成像平面中的成像位置计算各特征点相对于摄像头阵列在环境中的实际位置。运动分析单元根据各特征点在不同时刻同一摄像头成像平面中的成像位置变化情况计算出整个装置的角速度、角加速度、线速度、线加速度、运动轨迹等，达到惯性测量的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104090165B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410214287.8
申请日：2014-05-21
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明是关于一种硅纳米传感阵列巨压阻系数测量系统及四点弯曲施力装置，该系统由四点弯曲施力装置、微小阻值检测装置和微小应变检测装置三部分构成。其中四点弯曲施力装置给硅纳米线传感阵列芯片施加均匀轴向应力（应变），该装置包括船型底座、底座滑轨槽、镜像放置的等高L型夹具、镜像放置的等高L型载荷支撑平台、螺母、垫片、螺纹连杆、顶部连杆、若干质量的砝码、托盘以及加载压头。通过间距可调的加载压头上的连杆往托盘上添加砝码对硅纳米线施加压力，通过微小阻值检测装置测出受压后桥路两端输出电压。本发明装置制作简单、体积小、成本低廉、功耗低，由于利用阵列式多点平均测量技术，因而它具有更高精度和更好的稳定性。
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公开(公告)号：CN105758501A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610213732.8
申请日：2016-04-07
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种巨压阻双谐振质量传感器及其制备方法，包括传感器芯片和外部电路，其特征是，所述传感器芯片包括两个通过细纳米杆相连的谐振式传感器芯片和温度补偿装置芯片，所述谐振式传感器芯片包括谐振式传感器的敏感结构、硅底层、绝缘二氧化硅层、硅顶层、铝顶层、激励电极、激励电极引出端电极和检测电极，所述硅底层、绝缘二氧化硅层、硅顶层从下至上依次设置，所述的铝顶层与硅顶层处于同一层。本发明中的单晶硅纳米谐振薄膜表面通过修饰工艺处理过，带有残余应力，比传统硅压阻式谐振膜的应变系数高约2?3个数量级。此外，为消除温度对压阻阻值变化的影响，在本发明中引入了温度补偿装置，大大地提高了测量的分辨率与灵敏度。
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公开(公告)号：CN105651662A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201610160922.8
申请日：2016-03-21
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开了一种气溶胶质量浓度光学检测装置及其检测方法。该检测装置包括光路模块、气路模块、信号处理模块和单片机，气路模块包括依次连接的气流干燥机（2）、进气口（9）、气路通道（5）、出气口（10）和气泵（7）；光电探测器（3）垂直置于气路通道（5）和光路通道（6）的相交处。检测方法：含被测粒子的气体从进气口（9）抽入，经过湿度传感器（1）检测符合标准后，打开激光光源（4）检测，并将信号发送到单片机经处理后得到气溶胶质量浓度的检测结果。本发明拥有多个不同的量程选择，补偿了湿度的影响，使用环境多，成本低廉，可以准确测量气溶胶粒子的浓度，充分满足民用市场的需求。
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公开(公告)号：CN105258839A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201510732877.4
申请日：2015-10-30
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种基于量子粒子群小波神经网络的阵列式气压测量补偿装置及其方法，微处理模块启动，发送指令给压力传感器阵列和温度传感器测量气压和温度；测量数据依次传输至微处理模块和上位机；上位机根据接收到的气压和温度构建小波神经网络，然后利用量子粒子群算法对小波神经网络进行优化，同时完成量子粒子群小波神经网络的训练，将得到的气压修正补偿公式传输至微处理模块；微处理模块计算出补偿误差后的精确气压值；再将精确气压值传送至显示模块上显示；本发明采用基于量子粒子群优化的小波神经网络对阵列测量的气压信号进行了迟滞误差的补偿，温漂和非线性补偿，减少了误差，增强了有效信号，使测量气压更精确，满足了气象测量的要求。
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公开(公告)号：CN105223421A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510758072.7
申请日：2015-11-09
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种纳米线巨压阻特性测量装置，包括：纳米线、铂电阻温度传感器、电热致动器、基于电容测量的位移传感器、电极、基于电容测量的负荷传感器，所述铂电阻温度传感器、电热致动器、基于电容测量的位移传感器、基于电容测量的负荷传感器依次连接，所述电极数量设置为四个，所述四个电极设置在基于电容测量的位移传感器与基于电容测量的负荷传感器之间，两个水平放置的电极之间设置有纳米线，所述纳米线上下两侧均设置有电极。本发明提供的纳米线巨压阻特性测量装置及其制造方法，实现纳米线的机械特性与电气特性的同时测量，从而完成压阻系数的表征，可适用于多种不同测量样本。
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