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公开(公告)号：CN103163077A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310040730.X
申请日：2013-01-31
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统参数的校准方法，该方法可以在一次测量中获取旋转器件型光谱椭偏仪中全光谱范围的系统参数，其方法是将任意厚度的标准样件作为待测样件，使用待校准光谱椭偏仪进行测量，对测量获得的光强谐波信号进行傅里叶分析，通过傅里叶系数序列计算获取第一个波长点的系统参数，以其作为初值，采用非线性回归算法，通过理论光谱拟合测量光谱，获得第一个波长点的系统参数。并依次以校准获得的第i个波长点的系统参数作为初值，拟合获得第i+1个波长点的系统参数，进而获得全光谱范围的系统参数。该方法具有计算速度快，校准精度高的特点，并且可以在校准系统参数后用于其它待测样件的测量而不必重复校准。
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公开(公告)号：CN103065154A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210544669.8
申请日：2012-12-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06K9/62
Abstract: 本发明公开了一种提高二分类支持向量机分类精度的方法，步骤为：在待分类的样本空间中获取训练样本，得到2p个具有n个维度训练样本；利用训练样本集进行支持向量机训练，获取分类边界权系数向量w；利用支持向量机对所有训练样本进行映射，统计出所有被错误识别的训练样本集I1；按绝对值的大小对向量w中的每一个分量进行排序；找出排序最后的分量并剔除；重复m次，训练样本的维度减少到n-m；剔除掉这些错误训练样本；对剩余的训练样本进行支持向量机训练，该支持向量机即为最优支持向量机。本发明可以筛选出训练样本中的最优维度，剔除训练样本集中的劣质训练样本，进而从源头上保证并提高了分类精度。
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公开(公告)号：CN101770473A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200810237460.0
申请日：2008-12-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06F17/30
Abstract: 一种层次化语义脉络文档查询方法，应用于非结构化的文档的查询，可以进行复杂的查询和比较深层的知识获取，例如网络文档查询，问卷调查文档查询等等。该方法采用查询树来表示用户查询意图，用查询树的叶结点即查询子句表达查询语义脉络，用分支结点表达其子结点的之间的逻辑运算关系。当测试一个文档是否是用户所需的文档时，根据查询树进行深度搜索与测试。如果一个结点是查询子句结点，则进行语义脉络匹配测试，如果是分枝结点则进行逻辑运算。当前结点根据子结点的返回值决定自己的返回值。最后如果根结点的返回值为真，则当前被测试文档被选为用户所需文档。
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公开(公告)号：CN119827427A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202510071119.6
申请日：2025-01-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本申请属于光学测量相关技术领域，具体公开了一种宽光谱快照式椭偏仪的装调标定方法。本申请首先将装调的过程分为多步调制态；初步调制态为偏振元件间相对零度的状态，终步调制态为测量时的状态，中间多步调制态依次为由初步调制态到终步调制态的多个中间状态；推导出每步调制态下椭偏仪理论光谱信号的通道分布；随后按每步调制态逐步装调椭偏仪，使得每步调制态下的实际光谱信号的通道分布最接近对应理论光谱信号的通道分布；从所述实际光谱信号的通道分布中截取不同通道，逆傅里叶变换后组合得到各个波片的相位延迟量，完成椭偏仪的标定。本申请装调标定方法无需额外的装调标定仪器，装调标定过程快捷方便，且精度更高。
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公开(公告)号：CN118692953A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410694310.1
申请日：2024-05-30
Applicant: 华中科技大学 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC: H01L21/67 , H01J37/317 , H01J37/244 , G06F18/27 , G06N3/0442 , G06N3/045 , G06N3/084 , G06N3/096 , G06N3/0985
Abstract: 本发明属于晶片工艺参数提取相关技术领域，其公开了一种光调制光学反射率晶片中离子注入工艺参数的提取方法及系统，方法包括：对光调制光学反射率的晶片样本进行载流子照明实验，获得不同离子注入工艺参数下的功率曲线；构建多任务神经网络模型，所述多任务神经网络模型包括M个前馈网络以及N个对M个前馈网络进行集成的门控网络；以所述功率曲线为输入，以对应的工艺参数为输出，对所述多任务神经网络模型进行训练；将待测晶片样本的功率曲线输入训练完成的多任务神经网络模型获得对应的工艺参数。本申请可以实现晶片的注入工艺参数的精确提取。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115656048B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202211218802.0
申请日：2022-10-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于激光超声检测相关技术领域，其公开了一种基于模型的激光超声测量光源参数优化方法及设备，该方法包括以下步骤：(1)构建激光超声测量模型，包括光热激发模型、热声转换模型及声光测量模型；(2)基于光热激发模型及材料物理特性参数，采用不同的激光光源参数计算得到激光辐照下样本材料内部的温度随时间的分布；(3)基于热声转换模型计算得到样本材料内部的声信号随时间的分布；(4)基于激光光源参数及声光测量模型计算得到该样本材料的超声测量信号；(5)基于不同激光光源参数下的超声测量信号分析激光光源参数对样本材料的影响规律，以得到样本材料的最优激光光源参数。本发明避免了大量实验所导致的时间及物料成本的损耗。
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公开(公告)号：CN118565395A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410596107.0
申请日：2024-05-14
Applicant: 华中科技大学 , 上海精测半导体技术有限公司
Abstract: 本发明属于X射线散射测量相关技术领域，其公开了一种基于X射线的纳米结构参数提取方法及装置，其中方法包括：S1，对标准样品进行X射线散射测量，根据散射强度建模公式以及标准样品的已知绝对散射强度，计算标定因子；S2，对待测样品进行X射线散射测量，根据散射强度建模公式以及标定因子，获取待测样品的绝对散射强度的测量值；S3，通过仿真获取待测样品的绝对散射强度的仿真值，根据仿真值与测量值的差异，优化获取待测样品的尺寸参数信息。本发明提出先标定待测样品的小角X射线绝对散射强度，然后利用绝对散射强度的测量值对仿真值进行优化，进而提取出尺寸参数信息，能够在单入射角下实现纳米结构X射线关键尺寸快速测量。
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公开(公告)号：CN114705705B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202210369982.6
申请日：2022-04-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N23/201 , G06F30/25 , G06F111/10
Abstract: 本发明公开了一种二维斜交光栅结构的X射线散射场计算方法和装置，属于小角散射技术领域，所述方法包括：S1：确定二维斜交光栅结构的第一斜交方向、第二斜交方向及结构特征参数；第一斜交方向和第二斜交方向上均存在周期排列的相同光栅单元；S2：以其中一个光栅单元中心为坐标原点、第二斜交方向为x轴建立直角坐标系；获取第一斜交方向与坐标系上y轴的夹角；S3：基于小角X射线散射原理和二维斜交光栅结构的分布特征构建二维斜交光栅结构对应的通用X射线散射场计算模型；将结构特征参数和夹角输入通用X射线散射场计算模型得到二维斜交光栅结构的散射强度。本发明能够提高二维斜交光栅结构散射强度的计算准确率。
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公开(公告)号：CN112163341B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202011062137.1
申请日：2020-09-30
Applicant: 华中科技大学 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC: G06F30/20 , G06F17/14 , G06F111/10
Abstract: 本发明公开了一种周期性光栅结构的光学特性建模方法、装置和存储介质，属于光学关键尺寸测量技术领域，所述方法包括：获取周期性光栅结构内材料的介电常数；将周期性光栅结构拆分为若干包含一种材料的区域；基于格林公式将各个区域的面积分转化为各个区域边界的线积分；利用线积分表示各个区域对应的多边形顶点的显式解析表达式；从各个显式解析表达式中获取各个区域对应的介电常数傅里叶系数，基于各个区域对应的介电常数傅里叶系数确定周期性光栅结构的介电常数傅里叶系数；利用周期性光栅结构的介电常数傅里叶系数实现周期性光栅结构的光学特性建模。本发明简化获取周期性光栅结构的介电常数傅里叶系数的过程，提高光学特性建模的效率。
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公开(公告)号：CN117368114A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311188558.2
申请日：2023-09-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域，其公开了一种快照式椭偏测量方法及设备，所述设备包括光源、起偏臂、检偏臂、探测器及数据处理器；所述光源通过光纤连接于所述起偏臂，所述检偏臂设置在所述起偏臂的光路上，所述探测器设置在所述检偏臂的光路上；所述数据处理器与所述探测器相连接；所述起偏臂包括依次沿光路设置的第一透镜、起偏器及第一相位延迟器；所述检偏臂包括沿光路依次设置的第二相位延迟器、检偏器及第二透镜。本发明中偏振器件仅仅只有两个相位延迟器和两个偏振片，能够测量大多数各向同性样品，如各向同性薄膜，并且无运动部件，因此安装误差更容易控制，测量速度快且稳定。
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