公开(公告)号：CN110518117A

公开(公告)日：2019-11-29

申请号：CN201910779092.0

申请日：2019-08-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 熊伟 ,  张文广 ,  邓磊敏 ,  刘敬伟 ,  吴昊 ,  段军

IPC: H01L45/00

Abstract: 本发明属于微电子技术领域，公开了一种二维材料异质结的忆阻器及其制备方法，该忆阻器自下而上包括衬底、底电极层、二维材料异质结层及顶电极层，其中，所述二维材料异质结层作为中间介质层，是由两种不同的金属硫化合物构成的两层叠层结构，该叠层结构中的每一层对应其中一种金属硫化合物。本发明通过对器件所采用的关键功能层材料及器件整体结构设计等进行改进，与现有技术相比，完全基于二维材料构建了新型忆阻器，颠覆了传统的MIM结构，具有较低的工作电压、抗疲劳性和循环稳定特性；并且，该忆阻器在模拟神经元传递信息上表现出与神经突触传递信息高度的相似性，在未来类脑结构开发上具有极大的应用前景。

公开(公告)号：CN110303257A

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：CN201910693520.8

申请日：2019-07-30

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 段军 ,  邓磊敏 ,  杨泽齐 ,  熊伟

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/402 ,  B23K26/046 ,  B23K26/06

Abstract: 本发明属于激光加工应用技术领域，公开了一种激光复合切割分离透明脆性材料的方法及装置，该方法是采用超短脉冲激光和连续激光两者同时作为贝塞尔激光光源，将两者同光轴合束得到贝塞尔合成激光束对透明脆性材料进行激光扫描，同时基于该贝塞尔合成激光束中超短脉冲激光部分对透明脆性材料的烧蚀改性机理、以及连续激光部分的热应力切割分离机理，实现激光复合切割分离透明脆性材料。本发明通过对切割方法的切割原理、加工工艺流程的整体设计，以及对应装置的各构成组件及它们的连接关系等进行改进，可一次高速完成切割分离透明脆性材料，无需后续施加分离力或温差进行分离工序，能够简化工艺流程，提高激光切割分离透明脆性材料的加工效率。

公开(公告)号：CN108081137B

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201711290560.5

申请日：2017-12-08

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 蔡颂 ,  熊伟 ,  曾晓雁 ,  陶宇峰 ,  段军 ,  郭连波 ,  李祥友 ,  陆永枫

IPC: B24B53/06 ,  B24B1/00 ,  B24B51/00

Abstract: 本发明公开了一种带有气液并联管式的砂轮双激光修整装置，包括气液控制设备，气液控制操作平台，皮秒激光烧蚀头，导气软管，磨床，聚焦透镜，飞秒激光烧蚀头，飞秒激光器，激光器控制操作平台，控制设备，皮秒激光器，细导水管，超硬磨料砂轮，气柱流，液柱流，激光束和三维移动平台，本发明提出了辅助气液并联管式的砂轮双激光修整装置，避免等离子体粒子与相爆炸效应导致其金刚石磨粒容屑空间减少且突出结合剂高度不够，可抑制金刚石磨粒时周边热积累产生的微裂纹和石墨变质层等缺陷。本发明能避免库伦爆炸发生，降低砂轮表面光栅与微锥结构，提高激光能量的利用效率，提高砂轮修整效率与修整的表面质量。

公开(公告)号：CN108032222B

公开(公告)日：2019-04-12

申请号：CN201711469922.7

申请日：2017-12-29

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 蔡颂 ,  熊伟 ,  曾晓雁 ,  陶宇峰 ,  王帆 ,  段军 ,  郭连波 ,  李祥友

IPC: B24B53/06 ,  B24B53/12 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明公开了一种砂轮双激光修整装置，包括：纳秒脉冲激光器、飞秒脉冲激光器、激光扩束器、第一聚焦透镜及第二聚焦透镜及脉冲液柱流发生器，纳秒脉冲激光器输出激光经由激光扩束器扩束处理后，经由第一聚焦透镜输出，并作用于被修整砂轮表面，实现砂轮切向修平和径向修锐，飞秒脉冲激光器输出激光经由第二聚焦透镜聚焦后作用被修整砂轮表面，实现砂轮修整。本发明提出了基于辅助脉冲液柱流与扩束器的砂轮双激光修整装置，节约成本，抑制等离子体粒子返回砂轮表面，避免相爆炸效应；在整形砂轮表面金刚石磨粒过程，快速降温避免金刚石磨粒周边热积累产生的热裂纹和石墨变质层等缺陷，从而极大的提高了修整效率与修整质量。

公开(公告)号：CN106392337B

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201610856457.1

申请日：2016-09-26

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 段军 ,  刘朋 ,  邓磊敏 ,  曾晓雁

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/067

Abstract: 本发明公开了一种对射式多焦点激光分离脆性透射材料方法及装置，该方法采用相同的工艺参数，在待分离脆性透射材料的厚度方向两侧，每侧利用同轴激光分别穿过多焦点镜片组并反向对射，使脆性透射材料内部产生的焦点数量加倍，以改善脆性透射材料沿厚度方向上对激光能量吸收的均匀性，使脆性透射材料沿厚度方向的受热膨胀均匀性增强，激光多焦点光束离开后，沿脆性透射材料厚度方向迅速冷却而产生拉应力，实现激光对厚脆性透射材料的分离。装置包括两套多焦点激光加工系统和一台三维工作平台；其中每套多焦点激光加工系统均包括激光器、导光镜、扩束镜和一组多焦点镜片组。本发明实现了激光对厚脆性透射材料的高质量、高效率、高成功率的分离。

公开(公告)号：CN107598386A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201711008253.3

申请日：2017-10-25

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 蒋明 ,  曾晓雁 ,  段军 ,  王泽敏 ,  刘建国 ,  李祥友 ,  胡乾午 ,  王邓志

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/08 ,  B23K26/064

Abstract: 本发明公开了一种用于三维加工的激光振镜刻蚀头及其重组系统应用，属于先进制造领域中多轴数控机床、工业机器人和激光加工领域，其将激光器和高速扫描振镜及连接两者的光学传输元器件集成一体，形成激光刻蚀加工头模块，该激光刻蚀加工头模块在使用时，与外界部件只有电气连接而无光学连接，以此方式提高激光刻蚀加工头模块的集成度，进而增强三维加工系统的柔性。本发明还提供了三维加工的激光振镜刻蚀头的重组系统应用。本发明装置结构紧凑、装卸方便、使用灵活、并且能实现精密高速三维激光刻蚀加工。

公开(公告)号：CN103894739B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201410116134.X

申请日：2014-03-26

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 段军 ,  孔令辉 ,  张菲 ,  曾晓雁

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明公开了一种氧化铝陶瓷的刻蚀加工方法及装置，该方法使洁净的氧化铝陶瓷整体位于水中，水表面到氧化铝陶瓷材料表面距离为2mm～12mm，利用紫外脉冲激光对氧化铝陶瓷进行扫描刻蚀加工，刻蚀加工后的氧化铝陶瓷表面无发黑变质层和重凝层。装置包括紫外激光器、扫描振镜，二维加工平台，以及用于装水和待加工的氧化铝陶瓷的容器。本发明巧妙的引入“水”的因素，在一定厚度或一定流速的水下对氧化铝陶瓷进行激光刻蚀的冷却和排渣效应，有效的避免了空气中直接刻蚀出现的发黑变质现象，并且也增加了刻蚀深度，改善了刻蚀质量并提高了激光刻蚀加工效率，利用本发明可以在氧化铝陶瓷表面激光刻蚀制作出各种高尺寸精度的三维复杂图案。

公开(公告)号：CN103743710B

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201310740318.9

申请日：2013-12-28

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 曾晓雁 ,  曾庆栋 ,  李祥友 ,  郭连波 ,  段军 ,  贺超 ,  沈萌 ,  李阔湖 ,  郝中骐 ,  陆永枫

IPC: G01N21/63

Abstract: 本发明公开了一种基于光纤激光器的便携式LIBS分析仪，包括激光探测头和主机系统两部分，其中，探测头包括激光输出头、光阑、反射镜、二向色镜、透镜、第一微型位移台、第二微型位移台和光收集器；主机系统包括光谱仪、微控制器、便携式PC机和光纤激光器主机。本发明采用光纤激光器作为激光光源，并提供一种新的光谱采集方式，提高了探测灵敏度和降低了检测极限。当本发明增设偏振器时，还可以抑制等离子体光谱中的连续背景的干扰，进一步提高探测灵敏度。本发明体积小、重量轻，携带方便，操作简单，分析迅速，可用于野外环境或工业现场实时检测，不需要真空环境，无需对样品进行预处理；对所分析样品的尺寸大小和导电性无限制，分析效率高。

公开(公告)号：CN102151984B

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201110048935.3

申请日：2011-03-01

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 曹宇 ,  曾晓雁 ,  段军 ,  王泽敏 ,  李祥友 ,  高明 ,  胡乾午 ,  刘建国

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/082

Abstract: 本发明提供了一种适用于复杂曲面的激光加工方法，通过采用对复杂曲面划分曲面片并建立各曲面片坐标系的处理步骤，使得在后续的划分子块和加工图形平行投影处理步骤中，可按照各曲面片坐标系分别处理，从而有效解决了现有技术只能采用单一坐标系进行整体投影而对背靠激光入射方向的加工型面或者与光轴方向平行的陡直面无法加工的局限，并且提高了加工效率、拓展了加工适用范围。本发明还提供了一种激光加工装置，采用具备两轴激光振镜和Z轴移动机构的“2+1轴”的激光加工头结构，解决了现有系统必须依赖三轴机床的问题，使得加工单元独立、紧凑、易拆装，可以将常规的五轴联动铣床改变成激光刻蚀加工机床，而功能兼容，具有重要的实用价值。

公开(公告)号：CN103558191A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201310450489.8

申请日：2013-09-27

Applicant: 武汉新瑞达激光工程有限责任公司 ,  华中科技大学

Inventor： 曾晓雁 ,  曾庆栋 ,  李祥友 ,  郭连波 ,  段军 ,  沈萌 ,  郝中骐 ,  贺超 ,  于洋 ,  任昭 ,  吕金萍

IPC: G01N21/63

Abstract: 本发明公开了一种便携式激光探针成分分析仪，它包括探测头和主机系统两部分，探测头包括外壳、光纤准直镜和透镜；主机系统包括微控制器、便携式PC机、激光器电源、光谱仪、光收集器、二向色镜、光纤耦合器，光阑和激光器发射头；采用将激光脉冲和采集光都通过同一根光纤来传输的方式，避免了复杂的光路系统，缩小了激光探针成分分析仪的探测头的体积，提高了系统的抗干扰性和可重复性；采用双脉冲激发，能够很好的降低探测极限，提高信背比和等离子体光谱的稳定性；同时，采用脉冲能量为10-20mJ的小能量激光脉冲来激发样品提高分析的准确性，同时避免对样品表面较大的破坏；采用上位机软件控制小型位移平台实现自动化聚焦和采集。