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公开(公告)号：CN116747922A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310788443.0
申请日：2023-06-29
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明公开了一种用于改善液滴偏移的液滴驱动结构及微流控芯片，该液滴驱动结构包括衬底层、层叠结构和疏水层；层叠结构包括至少一层导电层和至少一层绝缘层堆叠形成，层叠结构形成在衬底层上，层叠结构中的导电层通过图形化处理形成驱动电极，层叠结构中的绝缘层形成在导电层上；疏水层形成在层叠结构的绝缘层上；其中，所述层叠结构中至少最上层的绝缘层通过退火工艺进行平坦化处理形成凹坑结构，最上层绝缘层上位于下方绝缘层的凹坑结构的垂直投影位置形成用于稳定液滴位置的稳定结构。本发明通过绝缘层上形成凹坑结构并适应性的在疏水层上形成液滴稳定结构，利用液滴稳定结构限位作用将液滴驱动结构中稳定液滴位置，能够避免随着时间推移，液滴发生位置偏移的问题。
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公开(公告)号：CN115138404A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210638136.X
申请日：2022-06-07
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明公开了一种具备废液及产物自动提取功能的微流控芯片及其提取方法，该微流控芯片包括盖板、边框、底板和提取装置，所述盖板通过所述边框与所述底板密封并在所述盖板和所述底板之间形成液滴流动的空间；所述底板上形成有用于驱动所述液滴在底板移动的电极；其中，所述提取装置包括抽吸单元、进液管和出液管，所述进液管和所述出液管密封固定在所述边框上，所述进液管的一端和所述出液管的一端伸入芯片内，所述抽吸单元的输入端与所述出液管的另一端连接，所述抽吸单元的输出端与所述进液管的另一端连接，所述抽吸单元经所述出液管将芯片内的废液或产物提取，并经所述进液管向芯片内补充油液。本发明能够解决废液和产物提取中油残留和补充问题，保持芯片内油量稳定的具备废液及产物自动提取功能。
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公开(公告)号：CN115138403A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210634691.5
申请日：2022-06-07
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: B01L3/00
Abstract: 本公开是关于一种亚微升液滴加注装置及加注系统。其中，该加注装置包括：包括流体接收模块、固定模块，其中：所述流体接收模块底部与所述固定模块连接，用于在流体加注时，通过顶部与流体注入设备连接，使流体在大气压或毛细管力的作用下进入所述流体接收模块；所述固定模块与芯片的上基板通孔连接，用于将所述流体接收模块与所述芯片固定连接，并引导所述流体注入设备中的流体沿预设方向流入所述流体接收模块。本公开通过简易的结构，实现了流体自动定量的装载至微流体设备。
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公开(公告)号：CN111495454B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202010464527.5
申请日：2020-05-27
Applicant: 北京机械设备研究所
Abstract: 本发明公开了基于电磁驱动的液态金属流动控制结构及流动控制方法，该流动控制结构包括微流道结构、多组流控单元和电磁驱动单元，微流道结构具有供液态金属流动的导流通道，多组流控单元设置在微流道结构的内壁上并且沿导流通道中液态金属的流动方向间隔设置，电磁驱动单元设置在微流道结构外部并且沿导流通道中液态金属的流动方向布置；其中，液态金属中掺杂有磁性物质，电磁驱动单元能够在导流通道的周围形成磁场，通过磁场和磁性物质之间的电磁力吸引液态金属沿导流通道流动，并通过多组流控单元限定在导流通道中液体金属的流动位置。本发明驱动控制具有大尺度流动能力，可以实现流道结构中液态金属形态的动态重构。
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公开(公告)号：CN109341727B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201811250818.3
申请日：2018-10-25
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01D5/12
Abstract: 本发明涉及一种柔性可拉伸式传感器，属于传感器技术领域，解决了现有柔性可拉伸式传感器易损坏、探测结果不准确、电路设计不合理的问题。本发明公开的柔性可拉伸式传感器包括M×N个探测单元排列形成的M×N阵列；其中，每个所述探测单元包括可拉伸部分和不可拉伸部分；每个探测单元的传感模块设置于不可拉伸部分，通过可拉伸部分设置的导线与相邻探测单元的传感模块连接。使用时，通过可拉伸部分实现宏观的拉伸功能，同时不影响不可拉伸部分的探测功能。通过不可拉伸部分的结构设计，能够避免传感模块被拉伸导致电学性能变差，使得传感器读出数值稳定、可靠。并且，利用阵列化设计，使得整个系统结构尺寸较小，控制电路简单，且成本低廉。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108376839B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201810399529.3
申请日：2018-04-28
Applicant: 北京机械设备研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于液态金属微流控的超材料，属于电磁通信技术领域，解决了现有超材料设计加工完成后结构形态、材料属性不可动态调整的问题。本发明公开的超材料包括底层金属层、中间介质层和设置在所述中间介质层表面的微通道阵列。底层金属层和中间介质层为固定膜层；所述微通道中设置有液态金属，所述液态金属通过在所述微通道内流动，在所述超材料表层形成金属微结构。通过外力驱动液态金属在微通道内流动，调节金属微结构长度或宽度尺寸，实现改变所述超材料的物理属性。本发明进一步拓展了超材料的应用范围，极大地提高了超材料的实际应用性能。
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公开(公告)号：CN108970657B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201810818385.0
申请日：2018-07-24
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明涉及一种微流体阵列控制器的制备方法，属于微流体控制技术领域，解决了现有技术不易实现大规模微流体阵列控制的问题。本发明公开的制备方法，包括如下步骤：制备微流体控制单元，该微流体控制单元包括微流体通道器件、薄膜晶体管器件、电容；按预设需求选取电源1、电源2；将M×N个所述微流体控制单元排列成M×N阵列，并进行线路连接。本发明制备的M×N阵列只需要M+N+2条引线，且微流体控制电压只需要20V左右。本发明所述制备方法能够实现大规模的微流体阵列控制，并能够大幅度降低大规模微流体阵列控制难度，减少引线数量，为微流体控制芯片的实用化提供了新的技术途径。
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公开(公告)号：CN112067174A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010470652.7
申请日：2020-05-28
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01L1/14
Abstract: 本申请揭示了一种柔性电容式触觉传感器阵列，属于传感器技术领域，m行*n列个电容式触觉传感器，其中，m和n均为正整数；电容式触觉传感器制备在岛状结构上，相邻两个电容式触觉传感器之间通过桥状结构连接，桥状结构用于进行金属导线的加工，形成信号通道；岛状结构不可拉伸，桥状结构可拉伸；在阵列的每一行和每一列的末端引出引线端子，引线端子用于传感器信息的读取。通过可拉伸的桥状结构形成信号通道，解决电子线路对拉伸性的要求，利用不可拉伸的岛状结构解决传感器在拉伸过程中的性能退化问，一方面保证了阵列的拉伸性能，另一方面保护了电容式触觉传感器。
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公开(公告)号：CN109341727A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811250818.3
申请日：2018-10-25
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01D5/12
Abstract: 本发明涉及一种柔性可拉伸式传感器，属于传感器技术领域，解决了现有柔性可拉伸式传感器易损坏、探测结果不准确、电路设计不合理的问题。本发明公开的柔性可拉伸式传感器包括M×N个探测单元排列形成的M×N阵列；其中，每个所述探测单元包括可拉伸部分和不可拉伸部分；每个探测单元的传感模块设置于不可拉伸部分，通过可拉伸部分设置的导线与相邻探测单元的传感模块连接。使用时，通过可拉伸部分实现宏观的拉伸功能，同时不影响不可拉伸部分的探测功能。通过不可拉伸部分的结构设计，能够避免传感模块被拉伸导致电学性能变差，使得传感器读出数值稳定、可靠。并且，利用阵列化设计，使得整个系统结构尺寸较小，控制电路简单，且成本低廉。
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公开(公告)号：CN108844652A
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201810400193.8
申请日：2018-04-28
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01K7/18 , G01N27/333 , G05D23/22
Abstract: 本发明涉及一种MEMS气体传感器芯片、传感器及传感器的制备方法，属于气体检测技术领域，解决了现有技术价格昂贵、响应时间长、环境稳定性差的问题。MEMS气体传感器芯片包括气体敏感单元、温度敏感单元、敏感结构衬底和温度控制单元。MEMS气体传感器，包括MEMS气体传感器芯片和控制电路；控制电路又包括微控制器、N型MOSFET、P型MOSFET、正负电源。微控制器对温度敏感单元采集的实际温度与预设温度进行比较，根据比较结果输出控制信号，控制N型MOSFET和P型MOSFET的通断，进而控制流经温度控制单元的电流方向和大小，改变敏感结构衬底表面的温度。本发明MEMS气体传感器操作简单、通用性强，可同时测量多种气体的浓度，节省了成本，而且响应时间短、环境稳定性好。
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