霍尔推力器通道壁面在轨沉积监测方法及装置

    公开(公告)号:CN118443162B

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202410923850.2

    申请日:2024-07-11

    Abstract: 霍尔推力器通道壁面在轨沉积监测方法及装置,涉及航天器设备监测技术领域。为解决现有技术中存在的,现有的实时监测霍尔推力器通道壁面侵蚀的方法,只能间接监测通道壁面的侵蚀情况,无法直接观测到壁面的沉积状态的技术问题,本发明提供的技术方案为:方法包括:采集霍尔推力器通道壁面的图像信息的步骤;得到图像信息中各个预设点的温度的步骤;根据各个预设点的温度,得到霍尔推力器通道壁面的热辐射功率的步骤;采集霍尔推力器通道壁面的热传导功率的步骤;根据霍尔推力器通道壁面的热辐射功率和热传导功率,得到霍尔推力器通道壁面因沉积获得的热量的功率的步骤。可以应用于监测霍尔推力器通道壁面的沉积状态。

    等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法

    公开(公告)号:CN117457467B

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202311743459.6

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法,涉及半导体刻蚀技术领域,解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置,并对其空间不均匀性进行评估校准”,装置包括:腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块,所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直;方法包括:通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强;基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强;通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数,得到等离子体二维空间分布;评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准;该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点,对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。

    一种推进器通道侵蚀速率在线校准装置及校准方法

    公开(公告)号:CN117233079B

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202311489414.0

    申请日:2023-11-10

    Abstract: 本发明提出了一种推进器通道侵蚀速率在线校准装置及校准方法,属于航天等离子体推进器领域。解决了现有等离子体推进器通道侵蚀速率难以进行在线校准的问题。在线校准装置包括光学探头、光谱仪和空心阴极,空心阴极包括导气管、发射体、顶孔板和通道管壁,发射体和顶孔板依次设置在导气管内部,导气管设置在通道管壁的内部,通道管壁的内壁面上设置有衬垫层,衬垫层的材料与推进器通道壁面的材料相同,空心阴极设置在空心阴极真空罐内,空心阴极与空心阴极供气单元和空心阴极电源相连,光学探头设置在空心阴极真空罐或推进器真空罐内,光学探头与光谱仪相连。它主要用于推进器通道侵蚀速率在线校准。

    一种推进器羽流离子能谱空间分布的测量装置和方法

    公开(公告)号:CN117425259A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311743457.7

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 本发明提出了一种推进器羽流离子能谱空间分布的测量装置和方法,属于航空航天技术领域,通过在羽流中设置特殊设计的长条形滞止能量分析器(Bar‑shape retarding potential analyzer,BRPA),通过对该羽流BRPA分析器进行平移与旋转,获得该断面的扫描电压‑收集电流的投影数据,并通过滤波反投影法获得该平面每个点扫描电压‑收集电流分布。通过将长条形装置沿推力器轴向平移并重复上述过程,获得羽流中的羽流离子能谱三维空间分布;本发明相比于一般的单个滞止势探针(Retarding potential analyzer,RPA),具有空间分辨率高,测试范围广的明显优点,相比于RPA探针阵列,能够大幅简化电路和布线,且具有明显的简单快捷的优势。

    一种等离子体化学反应中间产物的脉冲光电探针监测装置

    公开(公告)号:CN117420120A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311743366.3

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种等离子体化学反应中间产物的脉冲光电探针监测装置,涉及等离子体诊断技术领域,解决了现有等离子体光学诊断方法信噪比低、无法检测不发光物质、设备昂贵、灵敏性差的问题。本发明包括放电圆环、支撑装置、绝缘管、导电线和光纤,光纤表面设置有导电涂层,导电涂层与外部设备连接;光纤外部套装有绝缘管;光纤头部的导电涂层上开设有光学窗口,另一端和外部设备连接;光纤上对应光学窗口的位置处设置有放电圆环;放电圆环与地线连接。本发明通过通过控制放电结构内的电子参数,对探针头部位置的物质进行不同程度激发,当中间产物被激发为可荧光激发态后,发光被光学窗口采集并传输至光谱仪,实现对多种不发光中间产物进行探测。

    等离子体参数校准方法
    40.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114245553A

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202111464320.9

    申请日:2021-12-03

    Abstract: 本发明涉及一种等离子体参数校准方法,包括以下步骤:a、构建等离子体参数测量溯源的最高测量标准,将最高测量标准溯源至电学、光学标准装置;b、利用最高测量标准校准等离子体测量装置,实现等离子体测量装置的校准溯源;c、利用最高测量标准校准次高测量标准,利用校准后的次高测量标准对等离子体发生器进行现场校准。由此,可实现等离子体测量装置的校准溯源以及等离子体发生器的溯源,本发明的方法保证了等离子体参数的量值准确。

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