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公开(公告)号：CN101804589B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201010173034.2
申请日：2010-01-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B24B7/241 , B24B13/0018 , B24B41/053
Abstract: 本发明公开了一种加工半导体用人造石英玻璃基板的方法，其中使小型旋转式加工工具的抛光部件接触人造石英玻璃基板的表面，接触面积为1～500mm2，并且旋转的同时在基板表面上扫描移动，从而抛光基板表面。当利用这种方法制造人造石英玻璃，如IC等制造中重要的光刻用光掩模基板时，可以比较容易和廉价地得到具有极好平整度并且甚至能用于EUV光刻的基板。
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公开(公告)号：CN110752188B
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN201910663690.1
申请日：2019-07-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H10H20/85
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学装置封装体和制造方法。具体地，将合成石英玻璃空腔件(1)连接至其上安装有光学装置(7)的基材(6)，使得该装置可容纳在空腔件中。由与装置(7)相对的顶表面(2a)和侧表面(3a)构成的内表面限定空腔件(1)。顶表面(2a)是镜面表面并且侧表面(3a)是粗糙表面。
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公开(公告)号：CN118377069A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410073216.4
申请日：2024-01-18
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 用于光学元件的窗材料，其包括：合成石英玻璃基板，该基板具有平板形状并具有透过光的主表面，该主表面的至少一个是粗糙表面；和在合成石英玻璃基板的至少一个主表面上形成的防反射膜，该主表面是粗糙表面。本发明的用于光学元件的窗材料容易成型加工，在宽的波长区域中经历小的经时变化并在长的时间段中稳定，并具有分布光的高的总透光率。
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公开(公告)号：CN104786135B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201510026173.5
申请日：2015-01-20
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供了一种制备合成石英玻璃基材的方法。具体地，通过将起始基材浸渍在非离子型表面活性剂的水溶液中并且采用胶体二氧化硅水分散体精密抛光该基材制备了合成石英玻璃基材。获得了具有极少缺陷和低表面粗糙度的合成石英玻璃基材，同时改进了抛光速率和减少了抛光时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107689412A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201710622430.0
申请日：2017-07-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: H01L33/483 , C03C15/00 , C03C19/00 , H01L33/58 , H01L2924/16195 , H01L2933/0033 , H01L2933/0058 , H01L2933/0091 , H01L33/56
Abstract: 一种光学装置封装体，其包括容纳座，容纳在其中的光学装置和在该光学装置的发光方向上被设置于该容纳座之前的窗构件。该窗构件是具有其中至少一个是粗糙表面的前表面和后表面的合成石英玻璃构件。
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公开(公告)号：CN107689411A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201710653709.5
申请日：2017-08-03
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: H01L33/483 , C03C27/00 , C03C27/08 , C22C45/003 , H01L33/56 , C09D1/00
Abstract: 本发明为合成石英玻璃盖和光学器件封装体。提供合成石英玻璃盖，其包括合成石英玻璃与在窗构件的主表面的周围形成的粘结剂。此外，提供光学器件封装体，其包括具有开放上端的盒状容纳座，容纳在容纳座中的光学器件，用粘结剂结合至该容纳座上端的合成石英玻璃的窗构件。该粘结剂为由Te、Ag和选自由W、V、P、Ba和Zr中的至少一种元素组成的低熔点金属玻璃。
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公开(公告)号：CN103173128B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201210599019.3
申请日：2012-11-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 在合成石英玻璃基板的抛光中，采用一种抛光浆液，该抛光浆液包括(i)包括五肽的重复单元：-[缬氨酸-脯氨酸-甘氨酸-缬氨酸-甘氨酸]-、并且具有800-150,000分子量的低聚肽，或者该五肽与另-单体的共聚物，和(ii)胶体溶液。
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公开(公告)号：CN103173128A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210599019.3
申请日：2012-11-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 在合成石英玻璃基板的抛光中，采用一种抛光浆液，该抛光浆液包括(i)包括五肽的重复单元：-[缬氨酸-脯氨酸-甘氨酸-缬氨酸-甘氨酸]-、并且具有800-150,000分子量的低聚肽，或者该五肽与另-单体的共聚物，和(ii)胶体溶液。
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公开(公告)号：CN102314102A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110255499.7
申请日：2011-06-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/168 , B32B38/10 , G03F1/14 , G03F1/60 , G03F7/422 , H01L21/00 , Y10T156/1116
Abstract: 通过以下方法处理一种具有抗蚀剂膜涂覆于其上的合成石英玻璃基板：将该基板浸入含萜烯的溶剂中直到抗蚀剂膜剥离，并用水冲洗该基板。
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