公开(公告)号：CN101499410A

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200910001971.7

申请日：2009-01-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林诚 ,  山贺健一 ,  中尾贤

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/324 ,  H01L21/205 ,  H01L21/22

CPC classification number: H01L21/67109 ,  F27B17/0025 ,  F27D11/02 ,  F27D99/0006 ,  H05B3/08

Abstract: 本发明提供一种热处理炉。该热处理炉包括：围绕用于收纳被处理体(w)并对其进行热处理的处理容器(3)的筒状的隔热部件(4)；以螺旋状设置于隔热部件(4)的内周面上的电阻发热体(5)；和设置于隔热部件(4)的内周面上，并以使得电阻发热体(5)能够在径向热膨胀收缩的方式支撑该电阻发热体(5)的支撑体(13)。热处理炉还包括：设置于电阻发热体(5)上，并通过与支撑体(13)的一个侧面抵接而阻止该电阻发热体(5)向下方移动的移动阻止部件(15)。

公开(公告)号：CN101443899A

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200780016886.7

申请日：2007-04-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中尾贤 ,  加藤寿 ,  萩原顺一

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67098 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供一种基板搬送装置和立式热处理装置，抑制伴随着基板超大口径化造成的在基板搬送时由于基板中央部自重而引起的挠曲。基板搬送装置(18)，具有在大口径基板(w)的上方移动的支撑部(17)和设置在该支撑部(17)上且夹紧支撑基板(w)周边部的上夹紧机构(28)。在上述支撑部(17)上设有由吸引孔(31)和喷出孔(32)构成的非接触吸引保持部(30)。非接触吸引保持部(30)向基板(w)上面中央部喷出气体并吸引，形成空气层(50)并以非接触的方式吸引保持基板(w)，使得基板(w)的中央部不挠曲。

公开(公告)号：CN101256940A

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：CN200810082230.1

申请日：2008-02-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 守谷修司 ,  中尾贤

IPC: H01L21/00 ,  C23C14/56 ,  C23C16/44 ,  C23F4/00 ,  C30B25/14 ,  H01J37/32

CPC classification number: C23C16/4402 ,  C23C16/4404 ,  C23C16/45561 ,  C30B25/14 ,  C30B31/16 ,  H01J37/3244 ,  Y02E60/34

Abstract: 本发明提供一种半导体制造装置的气体供给系统和气体供给集成单元。气体供给系统用于从气体供给源向半导体制造装置的处理部供给规定的气体。该气体供给系统具有与气体供给源和处理部连接的气体供给流路。气体供给流路包括多个流体控制设备(手动阀、减压阀、压力计、单向阀、第一截止阀、第二截止阀、质量流量控制器、气体过滤器)，和连接在这些流体控制设备之间、形成有气体的流路的流路构成部件(流路块)。这些流路构成部件由碳材料构成。由此，在向处理部供给腐蚀性气体时，能够极力抑制相对被处理基板的金属性污染物质的混入。

公开(公告)号：CN100384514C

公开(公告)日：2008-04-30

申请号：CN03822278.7

申请日：2003-09-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  霓佳斯株式会社

Inventor： 棚桥隆司 ,  浅野贵庸 ,  中尾贤 ,  山下胜宏

IPC: B01D53/26 ,  B01D53/06

CPC classification number: F24F3/1423 ,  B01D53/06 ,  B01D53/261 ,  B01D2253/108 ,  B01D2253/25 ,  B01D2253/3425 ,  B01D2257/70 ,  B01D2257/80 ,  B01D2259/40007 ,  B01D2259/40052 ,  B01D2259/4009 ,  F24F2203/1032 ,  F24F2203/1056 ,  F24F2203/1072 ,  F24F2203/1084 ,  F24F2203/1088 ,  F24F2203/1096

Abstract: 内装有担载吸附剂的蜂窝结构体(25)的二个转子(18a、18b)由共同的马达(19)驱动转动。隔离部件(17)依靠该隔离部件(17)与对应该隔离部件(17)的转子之间的转动位置关系，在该转子上划分出吸附区域(S)、再生区域(U)。在吸附区域(S)，吸附剂从通过其中的空气中除去水分及有机物。在再生区域(U)，使用加热后的干燥空气进行吸附了水分及有机物而老化的吸收剂的再生。从处理装置(1)的传送空间(10)吸引的空气经过循环路径(20)，依次通过两转子的吸附区域，之后返回前述目标空间。通过两转子的吸附区域后的清洁干燥空气的一部分导入排气路径(21)，利用加热器加热并通过两转子的再生区域。

公开(公告)号：CN1282396C

公开(公告)日：2006-10-25

申请号：CN03136779.8

申请日：2003-03-25

Applicant: 东芝陶瓷株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 大津朗 ,  森宏 ,  斋藤纪彦 ,  本间浩幸 ,  外谷荣一 ,  金富雄 ,  永田智浩 ,  濑古顺 ,  斋藤孝规 ,  中尾贤 ,  三浦一敏 ,  长谷川阳成 ,  星丈治 ,  石井胜利

IPC: H05B3/44 ,  H01L21/324

CPC classification number: H05B3/145 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及一种碳电线发热体密封加热器。其中，将采用碳纤维的碳电线发热体封入石英玻璃管中，其中，所述碳电线发热体的吸附水分量小于2×10-3g/cm3。

公开(公告)号：CN1685477A

公开(公告)日：2005-10-19

申请号：CN03822715.0

申请日：2003-08-29

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 斋藤孝规 ,  山贺健一 ,  中尾贤

IPC: H01L21/22 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 本发明是备有在上端具有开口部的加热炉本体、由收容在上述加热炉本体内部的单一的管子构成的反应管、在上述反应管上部窄径状地形成的排气部件连接部、收容在上述加热炉本体内部，用于支持被处理基板的被处理基板支持部件、和用于加热由上述被处理基板支持部件支持的被处理基板的加热部件的热处理装置。上述加热部件具有配置在上述反应管周围的第1加热部、配置在上述排气部件连接部周围的第2加热部、配置在上述反应管上方部周围的第3加热部、配置在上述反应管下方部周围的第4加热部、和配置在上述被处理基板支持部件下部的第5加热部。

公开(公告)号：CN1681576A

公开(公告)日：2005-10-12

申请号：CN03822278.7

申请日：2003-09-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  霓佳斯株式会社

Inventor： 棚桥隆司 ,  浅野贵庸 ,  中尾贤 ,  山下胜宏

IPC: B01D53/26 ,  B01D53/06

CPC classification number: F24F3/1423 ,  B01D53/06 ,  B01D53/261 ,  B01D2253/108 ,  B01D2253/25 ,  B01D2253/3425 ,  B01D2257/70 ,  B01D2257/80 ,  B01D2259/40007 ,  B01D2259/40052 ,  B01D2259/4009 ,  F24F2203/1032 ,  F24F2203/1056 ,  F24F2203/1072 ,  F24F2203/1084 ,  F24F2203/1088 ,  F24F2203/1096

Abstract: 内装有担载吸附剂的蜂窝结构体(25)的二个转子(18a、18b)由共同的马达(19)驱动转动。隔离部件(17)依靠该隔离部件(17)与对应该隔离部件(17)的转子之间的转动位置关系，在该转子上划分出吸附区域(S)、再生区域(U)。在吸附区域(S)，吸附剂从通过其中的空气中除去水分及有机物。在再生区域(U)，使用加热后的干燥空气进行吸附了水分及有机物而老化的吸收剂的再生。从处理装置(1)的传送空间(10)吸引的空气经过循环路径(20)，依次通过两转子的吸附区域，之后返回前述目标空间。通过两转子的吸附区域后的清洁干燥空气的一部分导入排气路径(21)，利用加热器加热并通过两转子的再生区域。

公开(公告)号：CN2597491Y

公开(公告)日：2004-01-07

申请号：CN02295452.X

申请日：2002-11-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 齐藤孝规 ,  山贺健一 ,  中尾贤

IPC: C30B33/02

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 本实用新型是一种热处理装置，其特征在于包括：筒状的处理容器；多段地保持多个被处理物体，同时可以在所述处理容器内插入拔出的被处理物体保持装置；向所述处理容器内导入预定处理气体的处理气体导入装置；设置在所述处理容器内部，在所述被处理物体保持装置插入所述处理容器内时，对所述被处理物体保持装置所保持的多个被处理物体加热的加热装置；对所述处理容器的外壁面冷却的冷却装置。

公开(公告)号：CN2600455Y

公开(公告)日：2004-01-21

申请号：CN02295806.1

申请日：2002-11-29

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 门部雅人 ,  中尾贤 ,  山贺健一

IPC: C30B33/02 ,  C23C16/00

CPC classification number: H01L21/67109 ,  C23C16/46

Abstract: 本实用新型容易进行加热元件的更换等维护操作，谋求维护性的提高。具有用于容纳多个被处理物体w并进行热处理的处理容器4，覆盖该处理容器4的周围的筒状加热器6，安置该加热器6的加热器安置部7，和以可从一侧进行维护的方式容纳所述加热器6的筐体11，所述加热器6具有可单个更换的多个加热元件31，在所述加热器安置部7设置了可旋转地支持加热器6的旋转支持机构40。