公开(公告)号：CN205850287U

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201620691686.8

申请日：2016-07-01

Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司

Inventor： 赵旭良 ,  季文明 ,  刘源 ,  金嵩

IPC: B01D5/00

Abstract: 本实用新型提供了一种气体管路，包括一气体流通管道以及一气体冷凝装置，所述气体冷凝装置可用于冷凝气体并收集气体凝结物。本实用新型提供的气体管路中，由于气体冷凝装置具有较快的冷凝速度，从而气体可优先于所述气体冷凝装置中发生凝结，避免于气体流通管道中析出气体凝结物，进而改善气体流通管道堵塞的现象，并进一步的可延长气体管路的保养周期，节约成本。

公开(公告)号：CN207265018U

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201721149829.3

申请日：2017-09-08

Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司

Inventor： 赵旭良

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 本实用新型提供一种集电装置及半导体设备，所述集电装置用于可转动的工作台，所述集电装置包括固定件、连接件和接触件，所述固定件将所述集电装置固定在所述工作台上，所述连接件用于连接所述固定件与所述接触件，所述接触件为导轮，所述接触件连接至导电端。本实用新型提供的集电装置及半导体设备，所述集电装置安装于可转动的所述工作台上，通过为导轮的接触件连接至导电端，从而可通过集电装置将工作台连接至导电端，可使工作台上的电子传导至导电端而导出接地，可使工作台保持在低电势，从而可保证工作台上的晶圆等不受其它电势的影响。

公开(公告)号：CN207888433U

公开(公告)日：2018-09-21

申请号：CN201820150775.0

申请日：2018-01-29

Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司

Inventor： 赵旭良

IPC: B24B37/02 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34

Abstract: 本实用新型提供一种用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置，所述夹具包括成对配置的两个夹头，每个所述夹头包括：夹块，用于与晶棒端面相接触；压簧机构，用于使所述夹块将所述晶棒夹紧；以及设置于所述夹块上的调节柱，所述调节柱可前后移动以调节所述夹块的方向，以此对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴度进行调整。本实用新型提供的用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置，可以保证晶棒与夹具轴心的同轴度，减少不必要的磨削量，从而节省原料及加工时间。

公开(公告)号：CN219368711U

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202320474961.0

申请日：2023-03-13

Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司

Inventor： 赵旭良

IPC: G01B21/10

Abstract: 本实用新型提供一种外径量测装置及硅片制造设备，装置包括在一基准方向上间隔布置的两个量测组件，量测组件包括主动件、从动件、伺服电机、第一传感器和第二传感器；从动件与主动件连接，且主动件转动以驱动从动件沿基准方向移动；伺服电机与主动件连接，以驱动主动件转动；第一传感器设于从动件上，且两个量测组件各自的第一传感器沿基准方向共线排布，第一传感器与被测物接触时伺服电机停止驱动主动件转动，且伺服电机输出从动件沿基准方向的第一行程信息；第二传感器设于从动件上，用于输出从动件沿基准方向的第二行程信息。如此，第一行程信息和第二行程信息彼此配合从而实现对从动件的行程实现双重监控，保证整个量测装置的量测精确性。

公开(公告)号：CN215919985U

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202122075730.6

申请日：2021-08-31

Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司

Inventor： 赵旭良

IPC: B24B9/06 ,  B24B41/06 ,  B24B27/00

Abstract: 本申请提供了一种倒角装置，属于研磨技术领域，具体包括两个压盘、至少两个倒角磨轮和预紧构件；两个压盘竖直设置，压盘相对设置，硅单晶片竖直地设置于两个压盘之间，压盘相对于硅单晶片进行随动；至少两个倒角磨轮沿硅单晶片的下方圆周方向设置，多个倒角磨轮以硅单晶片所在平面的竖直轴线为对称轴进行对称布置，倒角磨轮由伺服电机驱动旋转；预紧构件设置于硅单晶片的上方，用于调整硅单晶片的目标直径。通过本申请的处理方案，可以提高硅单晶片研磨时的稳定性，降低碎片率，提高研磨效率。

公开(公告)号：CN205716436U

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201620623889.3

申请日：2016-06-22

Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司

Inventor： 赵旭良 ,  牛景豪

IPC: F17D1/02 ,  F24H3/00

Abstract: 本实用新型提出了一种尾气管路加热装置，包括热源排风管、加热外管、泄压管路、泄压阀、密封件及贴片热敏；尾气管路位于加热外管内，并保持预定距离；加热外管一端连接热源排风管，另一端接排气端；泄压管路连接加热外管；泄压阀设于泄压管路上；密封件密封尾气管路和加热外管连接处；贴片热敏紧贴尾气管路。在尾气管路外套上加热外管，加热外管的一端连接一热源排风管，热源排风管为设备机台自带部件，且能够提供高温气体，加热外管可以通过热源排风管中提供的高温气体对尾气管路进行加热处理，且无需增加额外部件，具有成本低廉，易于实现等优点。