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公开(公告)号：CN105548606B
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201510909210.7
申请日：2015-12-10
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01P5/12
Abstract: 一种基于MEMS的柔性流速传感器及其应用和制备方法，包括通过MEMS技术制备的：柔性衬底、支撑膜、绝缘保护层、环境测温热电阻、嵌入设置于绝缘保护层和支撑膜之间的加热热电阻和测温热电阻对，其中：柔性衬底、支撑膜和绝缘保护层依次相连，加热热电阻位于支撑膜中央，测温热电阻对的测温热电阻对称设置于加热热电阻的两侧，环境测温热电阻嵌入设置于柔性衬底和绝缘保护层之间，柔性衬底的底部设有隔热空腔；加热热电阻、三个测温热电阻对和环境测温热电阻构成四路热温差型和热损失型惠斯通电桥电路，对流速进行测量；本发明体积小，成本低，可用于具有复杂曲率的表面，并且具备极低流速到高流速的测速量程。
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公开(公告)号：CN104893954A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510288041.X
申请日：2015-05-29
Applicant: 上海交通大学
CPC classification number: C12Q1/686 , B01L3/5027 , B01L7/52
Abstract: 本发明提供一种三温度区域通道内嵌连续流式叠层PCR芯片，其中：测温电极排布于上衬底的上表面；加热电极排布于下衬底的下表面；上、下衬底键合成一整体，所述反应通道由对称刻蚀于上衬底的下表面和下衬底的上表面的凹槽拼接形成。本发明将衬底按照PCR三个不同的反应区分为三个不同区域，不同区域保持一定距离，让反应液连续流过这三个不同区域，完成反应，在同一块反应区，温度分布均匀性较高，由于温度不再需要反复上升下降，反应总时间变短，节省时间。同时上下表面对称性排布反应通道，使测温元件与反应液距离变小，测温更准确。反应通道中使用微细软管约束反应液，可以减少气泡发生。
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公开(公告)号：CN102561490B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201210029053.7
申请日：2012-02-09
Applicant: 上海交通大学
IPC: E03D5/10
Abstract: 本发明涉及一种节水的小便池冲洗控制系统及控制方法，其中控制系统包括红外传感模块、预处理模块、信号处理模块、数据存储模块、驱动模块、执行模块和供电模块，其中控制方法包括1)通过红外传感模块进行红外检测；2)预处理模块对接收到的信号进行处理；3)信号处理模块根据接收到的信号判断是否有人体靠近；4)系统根据累计使用时间T1来判断是否为首次工作，若为是，执行步骤5)，若为否，执行步骤6)；5)系统在确定人体离开后，按照冲水模式I冲水等步骤。与现有技术相比，本发明具有既在较大程度上做到了卫生方便，又大幅度地达到了节约用水，给政府和其他企事业单位节省了大量的财政开支等优点。
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公开(公告)号：CN102278983B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201110206942.1
申请日：2011-07-22
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明涉及一种微机电技术领域的具有三角形振子的硅微陀螺仪及其制作方法，包括：一个具有三个振动梁的等边三角形振子，与振动梁平行且有一定间隙的驱动电极，位于驱动电极的两侧且与驱动梁平行的检测电极以及基板。该微陀螺的制作方法采用体硅微加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，能够同CMOS工艺兼容，抗冲击，不需要真空封装，适用于批量化生产。
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公开(公告)号：CN101948008B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201010289527.2
申请日：2010-09-22
Applicant: 上海交通大学 , 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 一种微机电技术领域的仿昆虫微型扑翼飞行器，胸腔构架、柔性运动块、电控系统、翅膀以及刚度圈，柔性运动块垂直设置于胸腔构架的中部，刚度圈分别与翅膀和柔性运动块相连接，电控系统位于胸腔构架尾部并通过微加工技术直接布线与胸腔构架相连。本发明通过电磁驱动结构驱动翼高频扇动产生升力，同时采用柔性铰链、圆形刚度圈以及翅痣来提高翼扇动过程中在空气动力学作用下的被动旋转，来产生更大的升力和推进力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102815399A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210282453.9
申请日：2012-08-09
Applicant: 上海交通大学
IPC: B64C33/00
Abstract: 本发明公开一种仿生微飞行器领域的仿蜂鸟扑翼微飞行器，包括：机架、减速齿轮组、电机、传动机构、平行轴结构以及一对翅膀。其中机架上面直接装配减速齿轮组、电机和平行轴结构；传动机构装配在减速齿轮组和平行轴结构之间，用来将减速齿轮组输出的连续转动转化成平行轴的往复转动；一对翅膀装配在平行轴结构上面，从而实现自身的拍打运动，并与其他部分形成一个完整的扑翼微飞行器。本发明中两翅膀的拍打运动完全对称，很大程度上减小了振动对飞行器性能的影响，降低了飞行器的控制难度；同时，本发明结构简洁合理，便于加工，更便于进行改进以完成各种复杂的任务。
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公开(公告)号：CN102679967A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210139878.4
申请日：2012-05-07
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明涉及一种微机电技术领域的摇动质量块压电双轴微陀螺，它包括一个摇动质量块谐振子，支撑摇动质量块的基板，四个与基板边方向平行且具有间隙的驱动电极，四个与基板边方向平行检测电极。本发明利用摇动质量块谐振子的特殊振动模态，采用逆压电效应驱动，通过检测压电电极上的电压变化来检测两个基板面内方向的角速度，最后通过外围调解处理电路，得到基板面内两个方向的输入角速度。本发明采用MEMS微细加工工艺，结构简单，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高。
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公开(公告)号：CN102305627A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201110206948.9
申请日：2011-07-22
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明涉及一种微机电技术领域的具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪，包括：圆盘状压电振子，支撑圆柱，驱动电极，信号检测电极，模态检测电极和电位参考电极；圆盘状压电振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在基体上，驱动电极、信号检测电极以及模态检测电极位于圆盘状压电振子的上表面，电位参考电极位于圆盘状压电振子的下表面。本发明采用圆盘状压电振子的特殊模态，利用科氏加速度效应和压电效应来敏感平行于压电振子上下表面内的角速度。本发明采用MEMS微细加工技术，结构简单，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高，功耗低，抗冲击性强，不需要真空封装，在恶劣的环境下能够很好的工作。
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公开(公告)号：CN102288173A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110206941.7
申请日：2011-07-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种微机电技术领域的静电驱动电容检测的微固体模态陀螺，包括弹性微振子以及位于其周围的参考振动驱动电极、参考振动感应电极、科氏力感应电极，利用弹性微振子的两个兼并的特殊振动模态进行工作，即参考振动和感应振动模态，采用静电力进行驱动，可变电容机理来检测参考振动和科氏力感应振动。本发明中无独立的质量弹簧结构，具有高的抗冲击、抗震动能力，可用于恶劣环境中；工作频率高，利于增大微陀螺的测量带宽和降噪；可工作在大气环境下，减小了封装的难度，可靠性提高，生产成本减低；采用静电激励和电容检测，便于微固体模态陀螺和CMOS测控电路进行集成，易于批量化生产，同时也减小了寄生电阻或电容的影响。
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公开(公告)号：CN102253238A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110086293.6
申请日：2011-04-07
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01P15/125 , B81C1/00
Abstract: 一种微机电系统技术领域的静电悬浮六轴微加速度计及其制造方法，该微加速度计为下定子、悬浮质量块和上定子的三明治式三层键合结构，上定子和下定子均采用玻璃作为衬底，悬浮质量块位于上定子和下定子之间的键合空腔中，悬浮质量块所处的位置为键合空腔的中心且不与上定子或下定子接触以实现沿XYZ轴平移或绕XYZ轴转动，悬浮质量块的中心即为惯性坐标系OXYZ的原点O，OZ方向垂直于上下定子所在的平面。本发明基于非硅MEMS工艺制造得到采用方形质量块具有六轴加速度测量功能的高灵敏度静电悬浮微加速度计，该方法简便灵活且制造成本低。
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