半导体装置
    34.
    发明公开
    半导体装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN115336006A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202180024306.9

    申请日:2021-04-12

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种不具有漂移层的适于高耐压的新的半导体装置。本发明的半导体装置的特征在于具有:第1导电型的第1半导体层,形成为p型及n型中的任一导电型;源极部,以与所述第1半导体层相接的方式配置,且形成为所述导电型与所述第1导电型不同的第2导电型的半导体部;源极电极,与所述源极部欧姆接触而配置;栅极电极,介隔栅极绝缘膜而配置在所述第1半导体层的任一个面上,且利用施加电场能够在所述第1半导体层中与所述栅极绝缘膜的接触面附近的区域形成反转层;所述第1导电型的第2半导体层,以与所述反转层相接的方式配置;以及漏极电极,与所述反转层分开并且与所述第2半导体层肖特基接触而配置。

    试样支架、膜间距离调整机构以及带电粒子束装置

    公开(公告)号:CN114556514A

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN201980101094.2

    申请日:2019-10-10

    Abstract: 本发明可靠地利用试样支架对液体状或凝胶状的试样进行保持,提高利用带电粒子束装置进行观察的合格率。试样支架(101)具有:第一部件(102),其具有盖部件(111)和具备形成有包括第一绝缘性薄膜(104)在内的层叠膜的第一窗口(123)的第一芯片(105);以及第二部件(103),其具有形成有第一底部密封面(203)及第二底部密封面(200)的母材(127)、配置于母材的电极(108)以及第二芯片(107),该第二芯片(107)具备形成有第二绝缘性薄膜(106)的第二窗口(124),且以使第二窗口与电极对置的方式经由第二密封件(119)保持在第二底部密封面上,第一部件与第二部件组合,第一密封件在第一底部密封面以及盖部件的上部密封面之间被压扁,由此比第一密封件靠内部的区域相对于第一密封件的外部的区域保持为气密。

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