静电吸盘及处理装置
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111668148B

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202010142829.0

    申请日:2020-03-04

    Abstract: 本发明的静电吸盘具备:陶瓷电介体基板,具有放置吸附对象物的第1主面、第2主面;基座板,具有气体导入路;及第1多孔质部,与所述气体导入路相对,所述第1多孔质部包含第1多孔区域、比所述第1多孔区域更致密的第1致密区域,所述第1多孔区域具有:多个第1疏松部分;及第1紧密部分,具有比所述第1疏松部分的密度更高的密度,所述多个第1疏松部分在从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的方向上延伸,所述第1紧密部分位于所述多个第1疏松部分的彼此之间,所述第1疏松部分具有第1壁部,在与所述第1方向大致正交的第2方向上,所述第1壁部的尺寸的最小值小于所述第1紧密部分的尺寸的最小值,所述气体导入路的至少一部分由曲线形成。

    静电吸盘
    23.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110277343B

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN201910149763.5

    申请日:2019-02-28

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘,在设置有多孔质部的静电吸盘中,能够提高强度。提供一种静电吸盘,具备:陶瓷电介体基板,具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面、在从所述第2主面到所述第1主面的跨度上设置的穿通孔;基座板,支撑所述陶瓷电介体基板且具有连通于所述穿通孔的气体导入路;及第1多孔质部,设置于所述穿通孔,其特征为,所述第1多孔质部具有位于所述陶瓷电介体基板侧的第1区域,所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1区域侧的第1基板区域,所述第1区域与所述第1基板区域被设置成接触,所述第1区域中的平均粒径不同于所述第1基板区域中的平均粒径。

    静电吸盘
    24.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110277341B

    公开(公告)日:2023-06-20

    申请号:CN201910149165.8

    申请日:2019-02-28

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘,在设置有多孔质部的静电吸盘中,能够实现电弧放电的降低及气体流动的顺畅化。提供一种静电吸盘,其特征为,陶瓷电介体基板具有位于第1主面与第1多孔质部之间的第1孔部,陶瓷电介体基板及第1多孔质部中的至少任意一个具有位于第1孔部与第1多孔质部之间的第2孔部,在与从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向大致正交的第2方向上,第2孔部的尺寸比第1多孔质部的尺寸更小,比第1孔部的尺寸更大。

    静电吸盘
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110277341A

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201910149165.8

    申请日:2019-02-28

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘,在设置有多孔质部的静电吸盘中,能够实现电弧放电的降低及气体流动的顺畅化。提供一种静电吸盘,其特征为,陶瓷电介体基板具有位于第1主面与第1多孔质部之间的第1孔部,陶瓷电介体基板及第1多孔质部中的至少任意一个具有位于第1孔部与第1多孔质部之间的第2孔部,在与从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向大致正交的第2方向上,第2孔部的尺寸比第1多孔质部的尺寸更小,比第1孔部的尺寸更大。

    燃料电池
    28.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101950810B

    公开(公告)日:2013-07-03

    申请号:CN201010226418.6

    申请日:2010-07-08

    CPC classification number: H01M8/243 H01M8/2484 H01M2008/1293

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种燃料电池,具体为,可向构成电堆的所有单电池均等、有效地供给反应气体。具体为,该燃料电池具备多个单电池(4)和配设在由多个单电池(4)构成的电堆(30)外侧的第一侧壁(71)、(72)。在第一侧壁(71)、(72)上形成有向电堆(30)供给反应气体的孔(713a)。单电池(4)沿着从孔(713a)喷出的反应气体的喷出方向配设为列状。孔(713a)形成为,从此处喷出的反应气体的一部分至少掠过配设在离第一侧壁(71)、(72)最近的位置上的单电池(4),反应气体的剩余部分未掠过该配设在最近位置上的单电池(4)。

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