公开(公告)号：CN111929468B

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：CN202010334850.0

申请日：2020-04-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本申请公开了惯性传感器、电子设备、移动体以及惯性传感器的制造方法。惯性传感器具有：支撑基板；传感器主体，被所述支撑基板支撑；以及接合部件，位于所述支撑基板与所述传感器主体之间，将所述支撑基板与所述传感器主体接合，所述传感器主体具有：基板，通过所述接合部件与所述支撑基板接合；以及静电电容型传感器元件，设置于所述基板的与所述支撑基板相反的一侧，所述基板具有：侧面；所述支撑基板侧的第一主面；以及位于所述侧面与所述第一主面之间且将所述侧面与所述第一主面连接的凹状的台阶部，所述接合部件沿所述第一主面和所述台阶部延伸。

公开(公告)号：CN112325870A

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN202010737300.3

申请日：2020-07-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/56

Abstract: 本发明提供了陀螺仪传感器、电子设备及移动体，陀螺仪传感器具有：基板(2)；固定部(48)，固定在基板(2)上；驱动部(40)，沿与基板(2)的主面(23)平行的X轴进行驱动；质量部(41)，与驱动部(40)连接，沿第一轴位移；检测部(45)，与质量部(41)连接，能够绕与X轴交叉的Z轴转动，并且能够通过作用于与基板(2)水平的转动运动的科里奥利力而沿Z轴位移；以及弹性部(47)，连接检测部(45)与固定部(48)，固定部(48)在俯视观察时配置在检测部(45)的重心(G)与质量部(41)之间。

公开(公告)号：CN111623760A

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN202010125887.2

申请日：2020-02-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/56

Abstract: 本申请涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；第一惯性传感器元件，设置于上述基板；盖，以覆盖上述第一惯性传感器元件的方式与上述基板接合；第一驱动信号端子，设置于上述盖的外侧，上述第一驱动信号端子是向上述第一惯性传感器元件施加的驱动信号用的端子；以及第一检测信号端子，设置于上述盖的外侧，上述第一检测信号端子是上述第一惯性传感器元件输出的检测信号用的端子，在俯视观察上述基板时，上述第一驱动信号端子与上述第一检测信号端子设置成之间隔着上述盖。

公开(公告)号：CN111442772A

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN202010042054.X

申请日：2020-01-15

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/5747

Abstract: 本发明涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有基板和配置于基板的结构体。另外，结构体具有：与基板在沿Z轴的方向上重叠并具备可动检测电极的检测可动体；支撑所述检测可动体的检测弹簧；使检测可动体相对于基板在沿X轴的方向上驱动的驱动部；固定于基板并与可动检测电极对置的固定检测电极；对检测可动体施加具有与沿X轴的方向不同的第一方向分量的静电引力的第一补偿电极；以及对检测可动体施加具有与第一方向分量反方向的第二方向分量的静电引力的第二补偿电极。并且，第一补偿电极和第二补偿电极中的一方具有调整静电引力的大小的调整部。

公开(公告)号：CN107990885A

公开(公告)日：2018-05-04

申请号：CN201710906663.3

申请日：2017-09-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫 ,  菊池尊行

IPC: G01C19/5747 ,  G01C25/00

CPC classification number: G01C19/5747 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5762 ,  G01C19/5769 ,  G01C25/005 ,  G01C25/00

Abstract: 本发明提供一种陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体。所述陀螺传感器的特征在于，具有：基板；固定部，其被固定在所述基板上；驱动部，其在沿着第一轴的第一方向上进行驱动；质量部，其与所述驱动部连接，并沿着所述第一方向进行位移；检测部，其被包含在所述质量部中，且通过所作用的科里奥利力而能够在沿着与所述第一轴正交的第二轴的第二方向上进行位移；以及弹性部，其对所述质量部和所述固定部进行连接，所述弹性部的外周面具有主面、侧面和连接所述主面与所述侧面的连接面，所述连接面具有曲面状的曲面部。

公开(公告)号：CN103424108B

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：CN201310175469.4

申请日：2013-05-13

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/5607

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5762

Abstract: 本发明提供一种能够在实现小型化的同时具有较高的检测精度的陀螺传感器。在本发明所涉及的陀螺传感器(100)中，包括：基板(10)；被配置在所述基板(10)上的第一功能元件(101)、第二功能元件(102)以及第三功能元件(103)，在第一功能元件(101)、第二功能元件(102)及第三功能元件(103)中的相邻的功能元件中，一个功能元件的振动体的振动方向、和另一个功能元件的可动体的位移方向为不同方向，一个功能元件的可动体的位移方向、和另一个功能元件的振动体的振动方向为不同方向。

公开(公告)号：CN101493394A

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200910005272.X

申请日：2009-01-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫 ,  近藤贵幸 ,  轰原正义

IPC: G01N5/02 ,  H01L41/083 ,  H01L41/22

CPC classification number: G01N5/02 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供了一种廉价且高灵敏度的半导体传感器以及该半导体传感器的制造方法。其中，该半导体传感器包括：多层压电薄膜，层压在半导体基板上；一对电极，形成在所述多层压电薄膜中的至少上下一对的压电薄膜的界面上，用于激发表面弹性波；金属薄膜，形成在最下层的压电薄膜与所述最下层的压电薄膜正下面的薄膜的界面上，并且，促进最上层的压电薄膜的表面上的凸凹部的生成；以及感应膜，在所述最上层的压电薄膜上至少形成在所述凸凹部上，用于分子吸附。

公开(公告)号：CN109990772B

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN201811547213.0

申请日：2018-12-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/5712 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器、复合传感器、电子设备和移动物体，物理量传感器能够减小弹性部的尺寸波动导致的检测精度下降。其中，陀螺仪传感器(1)包括：弹性部(43)，具有通过折叠部(430)连接的多个梁部(第一部分(4301a、4301b、4301c、4301d))；结构体(固定驱动部(45))，与多个梁中的位于外侧的外侧梁(第一部分(4301a))相对，当将外侧梁和结构体的间隔设为T1，将多个梁彼此的间隔设为T2时，在T2＜T1的情况下，在外侧梁的结构体侧设置有与外侧梁相对的第一梁(4303)。

公开(公告)号：CN119063720A

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202410673341.9

申请日：2024-05-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C21/16

Abstract: 本发明提供能够缩短启动时稳定化时间的惯性传感器装置。所述惯性传感器装置包括：底基板；以及层压体，通过第一接合部件与所述底基板接合，其中，所述层压体包括：第一惯性传感器元件，输出第一检测信号；处理电路，驱动所述第一惯性传感器元件，并处理所述第一检测信号；以及第二接合部件，位于所述第一惯性传感器元件与所述处理电路之间，并接合所述第一惯性传感器元件与所述处理电路，所述第二接合部件的热传导率高于所述第一接合部件的热传导率。

公开(公告)号：CN113899354B

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202110764282.2

申请日：2021-07-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫 ,  永田和幸 ,  田中悟 ,  山崎成二

IPC: G01C19/5649 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/5663