公开(公告)号：CN100517558C

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200310101038.X

申请日：1999-03-24

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 东野克彦 ,  野口刚 ,  岸根充 ,  长谷川雅典

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/302 ,  C08F14/18 ,  C08F2/00 ,  C08F6/00

CPC classification number: B08B3/04 ,  Y10S210/90

Abstract: 提供一种能够获得清洁化的半导体制造装置用氟橡胶类成型制品的新型并且有效的洗涤方法，是用干式蚀刻法和/或萃取法洗涤氟橡胶类成型制品。采用该方法所得的氟橡胶类成型制品和氟橡胶类密封材料。使用该氟橡胶类成型制品或氟橡胶类密封材料的半导体制造装置。

公开(公告)号：CN1228391C

公开(公告)日：2005-11-23

申请号：CN01809115.6

申请日：2001-04-27

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 东野克彦 ,  田中宏幸 ,  山外隆文 ,  野口刚

IPC: C08L101/00 ,  C08K3/22 ,  C08K3/36 ,  C08K9/06 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C08F214/18 ,  H01L23/293 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供作为使用水分产生量与有机系气体产生量均降低的清洁填料的半导体制造装置用的成型品材料适用的弹性体组合物与成型品，本发明的填料在200℃加热2小时的每单位表面积的重量减少率是2.5×10-5重量%/m2以下，且在200℃加热15分钟时的有机系气体的总发生量是2.5ppm以下，该填料与高分子聚合物，尤其是与交联性含氟弹性体组成交联性组合物。

公开(公告)号：CN1209410C

公开(公告)日：2005-07-06

申请号：CN01811803.8

申请日：2001-05-22

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 川崎一良 ,  山外隆文 ,  野口刚 ,  板垣刚之 ,  伊关克彦

IPC: C08L27/12 ,  C08K5/18 ,  C07C211/56

CPC classification number: C08K5/18 ,  C07C211/56 ,  C08L27/12

Abstract: 本发明提供一种可交联的弹性体组合物，该组合物含有(A)带有至少两个式(I)表示的交联反应性基团(I)的化合物，和(B)具有与所述交联反应性基团(I)反应的交联位点的弹性体；以此，可得到机械强度和耐热性均有所提高的交联产物。

公开(公告)号：CN1508841A

公开(公告)日：2004-06-30

申请号：CN200310101038.X

申请日：1999-03-24

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 东野克彦 ,  野口刚 ,  岸根充 ,  长谷川雅典

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/302 ,  C08F14/18 ,  C08F2/00 ,  C08F6/00

CPC classification number: B08B3/04 ,  Y10S210/90

Abstract: 提供一种能够获得清洁化的半导体制造装置用氟橡胶类成型制品的新型并且有效的洗涤方法，是用干式蚀刻法和/或萃取法洗涤氟橡胶类成型制品。采用该方法所得的氟橡胶类成型制品和氟橡胶类密封材料。使用该氟橡胶类成型制品或氟橡胶类密封材料的半导体制造装置。

公开(公告)号：CN1423673A

公开(公告)日：2003-06-11

申请号：CN01808187.8

申请日：2001-04-19

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 山外隆文 ,  东野克彦 ,  田中宏幸 ,  野口刚 ,  岸根充

IPC: C08J7/00 ,  C08J5/00 ,  C08L27/12

CPC classification number: C08J7/123 ,  C08J2327/12 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/24802

Abstract: 提供一种含氟弹性体成型品,特别适用作半导体制造装置用的各种密封材料。该含氟弹性体成型品经等离子体照射后,中心线平均粗度大于或等于0.65μm,或者用树脂涂覆层涂覆含氟弹性体基材,制得剥离强度和等离子体照射时的刻蚀速度小、分离性优良且白色度也优良的涂覆成型品。

公开(公告)号：CN1336864A

公开(公告)日：2002-02-20

申请号：CN00802960.1

申请日：2000-01-21

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 田中宏幸 ,  野口刚

IPC: B29B7/52

Abstract: 一种不向室内放出产生的污染物质的无尘橡胶混合机,具有橡胶混合部,该混合部具有多个橡胶混合辊和一个具有马达的驱动机构,除橡胶混合辊以外,其它部件均由一个壳体覆盖,在混合辊的转轴外围的壳体上,设有一个空气取入口,在该壳体上还形成有排气管,在排气管设置将该壳体内的压力减小为负压的吸气装置。

公开(公告)号：CN118541439A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202280081106.1

申请日：2022-12-12

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 平野诚一 ,  太田大助 ,  野口刚

IPC: C08L27/12 ,  C08K3/34

Abstract: 本发明提供一种全氟弹性体组合物，其含有含腈基的全氟弹性体(A)、不含腈基的含碘或溴的全氟弹性体(B)、以及选自由无机氮化物和产氨化合物组成的组中的至少一种化合物(C)。

公开(公告)号：CN117255779A

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN202280030801.5

申请日：2022-04-18

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 神原将 ,  野口刚 ,  上谷文宏 ,  太田大助 ,  须藤笃

IPC: C07C211/56

Abstract: 本发明的目的在于提供一种新型化合物等，其能够用作交联剂，该交联剂提供在维持耐热性的同时耐等离子体性优异的交联物。下述通式(通式中，R1为‑SO2‑、‑O‑、‑CO‑、取代或非取代的亚烷基、下式所示的基团或单键，2个A独立地为取代或非取代的包含5元或6元芳香环的芳香环基(其中，在为包含6元芳香族烃环的单环式芳香环基的情况下具有取代基))所示的化合物。

公开(公告)号：CN109996832B

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN201780073776.8

申请日：2017-12-08

Applicant: 大金工业株式会社 ,  学校法人日本大学

Inventor： 野口刚 ,  上谷文宏 ,  神原将 ,  根本修克

IPC: C08G77/52 ,  C08L83/14 ,  C08L101/04 ,  C09K3/10 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明提供新的聚合物、组合物和成型品。一种聚合物，其具有下述通式(1)所表示的结构单元(式中，X11和X12相同或不同，表示氢原子、具有或不具有氟原子的烷基、或者苯基。Y11表示氧原子或硫原子。Rf11表示氢原子或者具有或不具有氟原子的烷基。a表示1～4的整数)。

公开(公告)号：CN114502638A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202080070325.0

申请日：2020-10-07

Applicant: 大金工业株式会社

Inventor： 上谷文宏 ,  野口刚

IPC: C08L27/12 ,  C08K3/34

Abstract: 提供一种组合物，其含有含氟聚合物和通式SiOx(0