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公开(公告)号:CN109477959A
公开(公告)日:2019-03-15
申请号:CN201780041830.0
申请日:2017-07-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的法布里-珀罗干涉滤光器(1)具备:基板(11),其具有第一表面(11a);第一积层体(22),其具有第一反射镜部(31);第二积层体(24),其具有隔着空隙(S)而与第一反射镜部(31)相对的第二反射镜部(32);中间层(23),其在第一积层体(22)与第二积层体(24)之间划定空隙(S);及第一端子(15);并且,中间层(23)具有包围第一端子(15)的第一内侧面(23d),第一内侧面(23d)以如下方式弯曲:中间层的基板侧的缘部比中间层的与基板相反的一侧的缘部位于更靠向第一端子侧的位置。
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公开(公告)号:CN104520694B
公开(公告)日:2018-05-15
申请号:CN201380042045.9
申请日:2013-08-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01J3/02 , G01J3/12 , G01J3/44 , G01N2201/02 , G01N2201/0227 , G01N2201/06113
Abstract: SERS单元(1A)包括:基板(4);光学功能部(10),其形成于基板(4)上,且产生表面增强拉曼散射;及封装体(20A),其将光学功能部(10)收纳于不活泼的空间(S)中,且使空间(S)不可逆地开放。
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公开(公告)号:CN105683726A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201480059031.2
申请日:2014-10-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/26
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0286 , G01J3/45 , G01J5/04 , G01J5/20 , G02B26/001
Abstract: 本发明所涉及的光谱传感器(1A)的特征在于:具备:法布里-珀罗干涉滤光片(10),具有光透过区域(11);光检测器(3),检测透过光透过区域(11)的光;垫片(4A,4B),在光透过区域(11)的周围区域支撑法布里-珀罗干涉滤光片(10);芯片键合树脂(5),粘结法布里-珀罗干涉滤光片(10)和垫片(4A,4B)。芯片键合树脂(5)在从光透过区域(11)中的光的透过方向来看的情况下具有连通周围区域的内侧和周围区域的外侧的一个开口部(A2)。
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公开(公告)号:CN104520696A
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201380042452.X
申请日:2013-08-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01N21/03 , G01N2021/651
Abstract: 本发明表面增强拉曼散射元件(SERS)2具备:基板21,其具有表面21a;细微结构部24,其形成于表面21a上并具有多个柱脚27;导电体层23,其形成于细微结构部24上并构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部20。导电体层23具有以沿着表面21a的形式形成的基底部28、在对应于各个柱脚27的位置上从基底部28突出的多个突出部29。基底部28的厚度大于柱脚27的高度。
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公开(公告)号:CN103718006A
公开(公告)日:2014-04-09
申请号:CN201280036905.3
申请日:2012-05-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/0256 , G01J3/0202 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291
Abstract: 分光器(1A)具备设置有光入射部(6)的封装体(2)、贯通封装体(2)中与光入射部(6)相对的支撑部(4)的多个引销(8)、以及在封装体(2)内被支撑在支撑部(4)上的分光模块(3A)。分光模块(3A)具有设置有使从光入射部(6)入射了的光(L1)通过的光通过部(22)的光检测单元(20)、以及以相对于光检测单元(20)而配置在支撑部(4)侧的方式固定在光检测单元(20)并具有将通过了光通过部(22)的光(L1)进行分光并且反射到光检测部(26)的分光部(35)的分光单元(30)。引销(8)嵌到设置在光检测单元(20)的嵌部(29),与光检测部(26)电连接。
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公开(公告)号:CN113358223B
公开(公告)日:2024-08-06
申请号:CN202110544596.1
申请日:2016-09-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/26
Abstract: 光检测装置具备:法布里‑珀罗干涉滤波器,其设置有光透过区域;光检测器,其检测透过光透过区域的光;封装体,其具有开口,收纳法布里‑珀罗干涉滤波器及光检测器;及光透过部,其以封挡开口的方式配置于封装体的内表面,且包含使入射至光透过区域的光透过的带通滤波器。自平行于线的方向观察的情况下,法布里‑珀罗干涉滤波器的外缘位于较开口的外缘更靠外侧的位置,光透过部的外缘位于较法布里‑珀罗干涉滤波器的外缘更靠外侧的位置。
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公开(公告)号:CN113049100B
公开(公告)日:2023-11-28
申请号:CN202110473132.6
申请日:2016-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光检测装置(1A)包括:法布里‑珀罗干涉滤光器(10);光检测器(3);间隔件(4),其具有供载置干涉滤光器(10)的底面中的光透过区域(11)外侧的部分的载置面;及粘合构件(5),其对干涉滤光器(10)与间隔件(4)进行粘合。粘合构件(5)的弹性模量小于间隔件(4)的弹性模量。干涉滤光器(10)的侧面的至少一部分以间隔件(4)载置面的一部分配置于该侧面的外侧的方式,位于该载置面上。粘合构件(5)配置于由干涉滤光器(10)的侧面及间隔件(4)的载置面的一部分形成的角落部,且分别与该侧面及该载置面的一部分接触。
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公开(公告)号:CN116724403A
公开(公告)日:2023-09-08
申请号:CN202180084761.8
申请日:2021-09-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/0232
Abstract: 受光元件(1)具备:基板(2),其包含至少1个受光区域(10),具有供光入射的光入射面(2a);以及超透镜(3),其形成于基板(2)的光入射面(2a),以将入射至光入射面(2a)的光聚光。在从基板(2)的厚度方向(Z轴方向)观察的情形时,超透镜(3)形成为,与和受光区域(10)相邻的相邻区域(R1)及周缘区域(R2)两者重叠,上述周缘区域(R2)为与相邻区域(R1)连续且沿着受光区域(10)的外缘的受光区域(10)的内侧的区域。在从Z轴方向观察的情形时,于在光入射面(2a)中与受光区域(10)的中央区域重叠的区域,设置有未形成超透镜(3)的非形成区域(R3)。
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公开(公告)号:CN115668516A
公开(公告)日:2023-01-31
申请号:CN202180039548.5
申请日:2021-05-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/107 , H01L27/146
Abstract: 本发明的光检测元件(10)具备:半导体基板(16),其具有被检测光入射的主面(16a)、及背对主面(16a)的背面(16b),在主面(16a)侧具有产生与被检测光的光强度相应的量的电荷的一个或多个光检测区域(11);及光吸收膜(13),其设置于半导体基板(16)的背面(16b)上。光吸收膜(13)包含:金属层即反射层(133)、设置于反射层(133)与半导体基板(16)之间的谐振层(132)、及设置于谐振层(132)与半导体基板(16)之间的光吸收层(131)。在被检测光的波长、及光检测区域(11)中所产生的自发光的波长中的至少一者,谐振层(132)的内部的透光率大于光吸收层(131)的内部的透光率,反射层(133)的表面的光反射率大于谐振层(132)的表面的光反射率。由此,实现一种可减少半导体基板的背面的光的反射的半导体光检测元件。
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