公开(公告)号：CN201071403Y

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：CN200720040098.9

申请日：2007-06-27

Applicant: 江苏大学

Inventor： 左然 ,  徐谦

IPC: C30B25/08

Abstract: 本实用新型公开了一种上进上出的垂直喷淋式MOCVD反应器结构。其包括反应室、加热系统、喷淋头以及冷却水进、出口；其特征为：反应气体从位于顶部的许多密排小喷管喷入反应室，反应后的尾气又从位于顶部的许多小出口排出。进口和出口在顶部交叉排列。它使基片上方的反应气体浓度在每个喷管附近的小范围内呈周期性变化，从而可使薄膜沉积的厚度和杂质浓度沿径向的不均匀性大大减小，还可以取消复杂的基片旋转。

公开(公告)号：CN203613300U

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：CN201320753560.5

申请日：2013-11-26

Applicant: 江苏大学

Inventor： 苏文佳 ,  左然

IPC: C30B11/00 ,  C30B29/06

Abstract: 本实用新型提供一种定向凝固法准单晶硅生长炉，包括石英坩埚、石墨坩埚、DS块和氩气冷却进口管，石英坩埚内底部开若干籽晶凹槽，在DS块上开氩气冷却孔和氩气流道，该流道最终使氩气沿DS块的四周流入炉体，底部氩气冷却进口管构成底部氩气强制冷却系统。使用该系统时，针对熔料、生长和收尾的不同阶段，控制底部氩气冷却进口管的氩气流量，从而控制籽晶的熔接、固液界面保持水平并略凸以及晶体硅和熔体硅的轴向温度梯度。与现有准单晶生长方法中籽晶铺满石英坩埚底部相比，籽晶用量大大减少，节约成本，准单晶硅的单晶率可达95%以上，大大提高了太阳光伏电池的效率。

公开(公告)号：CN201149453Y

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：CN200720044812.1

申请日：2007-11-06

Applicant: 江苏大学

Inventor： 苏文佳 ,  左然 ,  张志强 ,  成珊

IPC: F28D20/02 ,  F24J2/04 ,  F24J2/34

CPC classification number: Y02E10/44 ,  Y02E60/145 ,  Y02E70/30

Abstract: 太阳房潜热储热系统，涉及新能源领域，包括：风机、冷空气回流集热器出口、装有相变储热材料的圆柱形储热罐、来自集热器热空气进口、折流板、外层保温板和带孔的强化传热肋片等。由外层保温板构成外层框架，箱体一侧的下方和另一侧的上方分别开两个圆孔，作为冷空气回流集热器出口和来自集热器热空气进口，冷空气回流集热器出口处接风机，装有相变储热材料的圆柱形储热罐差排排列，罐与罐间焊接带孔的强化传热肋片，从储热系统的最下方交替安装折流板和差排排列的装有相变储热材料的圆柱形储热罐，其优点是：用空气作为传热介质，从而避免渗漏、腐蚀和冻结问题；强化换热，提高了系统的响应速度；制作简单、成本低、使用方便；适合不同时间、地点。

公开(公告)号：CN202246987U

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201120229547.0

申请日：2011-07-01

Applicant: 江苏大学

Inventor： 苏文佳 ,  左然 ,  李通通

IPC: C30B15/00

Abstract: 本实用新型公开一种带有内部水冷的直拉单晶炉热屏，具体为一种用于半导体单晶生长的、带有内部水冷的直拉炉热屏，涉及半导体材料生长设备技术领域。本实用新型包括外热屏、保温碳毡、内热屏和保温桶上盖，外热屏、保温碳毡、内热屏为三层圆台形同轴结构，从外向内依次为外热屏、保温碳毡、内热屏，还包括冷却水管进口、圆台形螺旋水冷管、冷却水管出口、冷却水流量阀、高压水泵和喷淋冷却塔，圆台形螺旋水冷管包裹在保温碳毡中，圆台形螺旋水冷管与内热屏和外热屏均同轴；冷却水管进口和冷却水管出口从内热屏上沿穿过；冷却水管进口与高压水泵连接，冷却水管出口与喷淋冷却塔连接。