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公开(公告)号：CN202246987U
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201120229547.0
申请日：2011-07-01
Applicant: 江苏大学
IPC: C30B15/00
Abstract: 本实用新型公开一种带有内部水冷的直拉单晶炉热屏，具体为一种用于半导体单晶生长的、带有内部水冷的直拉炉热屏，涉及半导体材料生长设备技术领域。本实用新型包括外热屏、保温碳毡、内热屏和保温桶上盖，外热屏、保温碳毡、内热屏为三层圆台形同轴结构，从外向内依次为外热屏、保温碳毡、内热屏，还包括冷却水管进口、圆台形螺旋水冷管、冷却水管出口、冷却水流量阀、高压水泵和喷淋冷却塔，圆台形螺旋水冷管包裹在保温碳毡中，圆台形螺旋水冷管与内热屏和外热屏均同轴；冷却水管进口和冷却水管出口从内热屏上沿穿过；冷却水管进口与高压水泵连接，冷却水管出口与喷淋冷却塔连接。
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