公开(公告)号：CN104619674A

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201380047358.3

申请日：2013-09-10

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  畠英雄 ,  南部旭 ,  金丸守贺

IPC: C04B35/453 ,  C04B35/00 ,  C23C14/34 ,  H01L21/363

CPC classification number: H01J37/3429 ,  C04B35/01 ,  C04B35/453 ,  C04B35/457 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/66 ,  C04B2235/763 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/80 ,  C23C14/08 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3414 ,  H01J37/3491 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02631

Abstract: 一种将氧化锌、氧化铟、氧化镓和氧化锡混合并烧结而得到的氧化物烧结体。所述氧化物烧结体的相对密度为85％以上，在所述氧化物烧结体的表面观察到的晶粒的平均晶粒直径小于10μm。对所述氧化物烧结体进行X射线衍射时，Zn2SnO4相和InGaZnO4相为主相，InGaZn2O5相为3体积％以下。

公开(公告)号：CN104245623A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201380019399.1

申请日：2013-04-10

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 武富雄一 ,  田尾幸树 ,  金丸守贺

IPC: C04B35/447 ,  C04B35/645 ,  C23C14/34 ,  H01M10/0562

CPC classification number: H01J37/3429 ,  C01D15/00 ,  C04B35/447 ,  C04B35/62605 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/81 ,  C23C14/3414 ,  H01J2237/332 ,  H01M10/052 ,  H01M10/0562

Abstract: 本发明提供一种不会发生靶的裂纹和异常放电，能够稳定地并以高的成膜速度成膜为作为二次电池等的固体电解质有用的含Li磷酸化合物薄膜，兼备高相对密度和微细的晶粒直径，并且抑制了气孔等缺陷(空隙)的含Li磷酸化合物烧结体。本发明的含Li磷酸化合物烧结体具有以下要旨：在烧结体内部的截面1mm2的区域中不存在50μm以上的缺陷，平均晶粒直径在15μm以下，相对密度在85％以上。