公开(公告)号：CN114151343A

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN202111445710.1

申请日：2018-03-13

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 舞鴫惠治 ,  杉浦哲郎 ,  臼井克明 ,  畠山雅规 ,  本间知佳子 ,  大须贺透 ,  岩崎弘一 ,  林介元

IPC: F04C28/28 ,  G05B19/042

Abstract: 一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法，信息处理装置具备：读取部，该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件，存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件；检测部，该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据；及比较部，该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较，比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。

公开(公告)号：CN107877356B

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN201710908822.3

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 篠崎弘行 ,  铃木佑多 ,  高桥太郎 ,  胜冈诚司 ,  畠山雅规

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/04 ,  B24B37/32 ,  B24B37/34 ,  B24B37/005 ,  B24B37/013 ,  B24B49/12 ,  B24B49/10 ,  B24B53/017

Abstract: 在将顶环保持于摇臂的端部的方式中，使研磨终点检测的精度提高。一种用于在研磨垫(10)与半导体晶片(16)之间进行研磨的研磨装置，其中，半导体晶片(16)与研磨垫(10)相对地配置，该研磨装置具有：用于保持研磨垫(10)的研磨台(30A)；以及用于保持半导体晶片(16)的顶环(31A)。摆动轴电动机(14)使用于保持顶环(31A)的摇臂(110)摆动。臂力矩检测部(26)对施加于摇臂(110)的臂力矩进行检测。终点检测部(28)基于检测出的臂力矩对表示研磨的结束的研磨终点进行检测。

公开(公告)号：CN111095492A

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201880057226.1

申请日：2018-08-22

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 户川哲二 ,  曾布川拓司 ,  畠山雅规

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/013 ,  B24B49/04 ,  B24B49/10 ,  B24B49/12 ,  B24B49/16

Abstract: 本发明为了在适当位置结束研磨而检测研磨的终点位置。根据一个实施方式，提供一种具备功能性芯片的基板的化学机械研磨方法，该方法具有以下步骤：在基板配置功能性芯片的步骤；在所述基板配置终点检测元件的步骤；由绝缘材料对配置有所述功能性芯片及所述终点检测元件的基板进行密封的步骤；研磨所述绝缘材料的步骤；及研磨所述绝缘材料时，依据所述终点检测元件来检测研磨终点的步骤。

公开(公告)号：CN110050125A

公开(公告)日：2019-07-23

申请号：CN201880004933.4

申请日：2018-03-13

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 舞鴫惠治 ,  杉浦哲郎 ,  臼井克明 ,  畠山雅规 ,  本间知佳子 ,  大须贺透 ,  岩崎弘一 ,  林介元

IPC: F04B51/00 ,  G05B19/418

Abstract: 本发明具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。

公开(公告)号：CN1520680A

公开(公告)日：2004-08-11

申请号：CN02809989.3

申请日：2002-05-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 畠山雅规 ,  佐竹彻 ,  村上武司 ,  渡边贤治 ,  野路伸治

IPC: H04N3/15 ,  H01J37/26 ,  G01N21/956 ,  H01R13/00

CPC classification number: H01J37/222 ,  G01N21/956 ,  H01J37/224 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2447 ,  H01R13/2421 ,  H04N5/2253 ,  Y10S439/935

Abstract: 包括TDI传感器(64)与馈通装置(50)的电子束设备。馈通装置有插座接触件(54)，将连接到分出不同环境的凸缘(51)上的插针(52)和与之组成对的另一插针(53)互连，此插针(52)、另一插针(53)与插座接触件(54)共组成连接单元且此接触件(54)有弹性件(61)。因而即会设置多个连接单元，也能将连接力保持到可防止传感器破损的水平。插针(53)与其中象素阵列已根据图象投影光学系统的光学特性取自适应组合的TDI传感器(64)连接。此传感器有多个积分级，能将图象投影光学系统视场减至尽可能地小，以可于此视场中将最大可接收畸变设定得较大。此外可将积分级个数确定成使TDI传感器的数据传输率可不减少但不会尽可能地增多插针数。最好可使行的计数数大致等于积分级个数。