公开(公告)号：CN101855060A

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN200880115485.1

申请日：2008-11-06

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 佐藤诚一 ,  矢作充 ,  南展史 ,  武者和博 ,  汤山纯平 ,  村田真朗 ,  宫田贵裕 ,  中村久三

IPC: B29C65/00 ,  B30B15/00 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1339 ,  G09F9/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/064 ,  B32B37/10 ,  B32B38/1858 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/045 ,  G02F1/1303 ,  H01L21/67092

Abstract: 本发明提供一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，包括：支撑所述下基板的基底部；能够上下移动，且与所述基底部一起形成粘合处理室的室部件；竖立设置在所述基底部上的支撑棒；和能够沿所述支撑棒独立于所述室部件上下移动，且能够保持所述上基板的上加压部件，通过移动所述上加压部件，在所述粘合处理室的内部粘合所述上基板与所述下基板。

公开(公告)号：CN101808810A

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200880109657.4

申请日：2008-11-05

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 佐藤诚一 ,  矢作充 ,  南展史 ,  武者和博 ,  汤山纯平 ,  村田真朗 ,  宫田贵裕 ,  中村久三

IPC: B29C65/00 ,  B30B15/00 ,  B65G49/06 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1339 ,  G09F9/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67092 ,  B32B37/10 ,  B65G49/061 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/045 ,  G02F1/1303

Abstract: 本发明提供了一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，包括：载置所述下基板的载置台；使该载置台移动的移动机构；设置有该移动机构的基底部；竖立设置在该基底部上的支撑棒；和能够沿该支撑棒上下移动且能够保持所述上基板的上加压部件，通过使所述上加压部件下降，保持在所述上加压部件上的所述上基板与载置在所述载置台上的所述下基板被粘合。

公开(公告)号：CN101801645A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200880107159.6

申请日：2008-11-12

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 佐藤诚一 ,  矢作充 ,  南展史 ,  武者和博 ,  汤山纯平 ,  村田真朗 ,  宫田贵裕 ,  中村久三

IPC: B29C65/00 ,  B30B15/00 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1339 ,  G09F9/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/064 ,  B32B37/1018 ,  B32B38/1833 ,  B32B2038/1891 ,  B32B2457/202 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67092

Abstract: 本发明公开了一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，其特征在于，该粘合基板制造装置包括：支撑所述下基板的基底部；从所述基底部竖立设置的第一支撑棒；能够沿所述第一支撑棒上下移动并能够保持所述上基板的上加压部件；和包含能够独立于所述上加压部件上下移动的上部室部件和下部室部件的粘合处理室，通过移动所述上加压部件，能够在所述粘合处理室的内部粘合所述上基板与所述下基板，所述上部室部件和所述下部室部件能够同时沿相互抵接的方向或相互分离的方向移动。

公开(公告)号：CN101669199A

公开(公告)日：2010-03-10

申请号：CN200880012654.9

申请日：2008-04-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  川口崇文

IPC: H01L21/683 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G09F9/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  B65G49/061 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/045 ,  G02F1/1303 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明提供一种基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置，该基板组装装置(20)包括支承台(21)和保持机构(22)。支承台(21)用来支承下侧基板(LW)，保持机构(22)包括保持面和功能性元件。上述保持面用来保持上侧基板(UW)的上表面，上述功能性元件设置在上述保持面上，其保持力会根据电压大小的改变而变化。上述保持机构会使上侧基板(UW)的下表面和被上述支承台(21)所支承的下侧基板(LW)的上表面面对。采用上述基板保持机构时，可以对作用给基板(UW)的保持力进行电气控制。可以有助于简化保持机构的结构。此外，由于可以平稳地改变作用给基板(UW)的保持力，所以也能够始终正常地保持或释放厚度较薄的基板。

公开(公告)号：CN101542171A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200780042208.8

申请日：2007-11-13

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  川口崇文

IPC: F16J15/32 ,  B25J9/06 ,  B25J19/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: F16J15/54 ,  B25J9/1065 ,  B25J18/04 ,  F16J15/324 ,  F16J15/40 ,  H01L21/67742 ,  Y10T74/20207

Abstract: 本发明提供了一种将大气一侧的旋转运动传送到真空中、并且结构简单滑动阻力低的长寿命旋转导入机构、回转半径小并且产生的灰尘少的基板搬运装置、以及真空处理装置。在真空密封机构上安装润滑剂保持部件(5)。基板搬运装置的结构是，第1连接机构(20a)包括第1臂(21a)和第4臂(21b)，第2连接机构(20b)包括第2臂(22a)和第3臂(22b)，第1臂(21a)固定安装在第1驱动轴(25)上，第2臂(22a)固定安装在第2驱动轴(26)上，第3臂(22b)可旋转地安装在第1驱动轴(25)上，第4臂(21b)可旋转地安装在第2驱动轴(26)上。真空处理装置包括该基板搬运装置。

公开(公告)号：CN112670229B

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202011078916.0

申请日：2020-10-10

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  铃木杰之

IPC: H01L21/687 ,  B25J11/00

Abstract: 本发明提供能够保持基板的位置精度且提高基板的输送效率的基板输送装置和基板输送方法。具备：驱动部(20)，使臂(11)上升而使末端执行器(12)接收基板(S)；以及控制装置(30)，对驱动部(20)的输出进行控制来设定臂(11)的上升速度，末端执行器(12)与臂(11)之间的高度差为位置差分，从末端执行器(12)碰到基板(S)时起到末端执行器(12)完成基板(S)的接收为止的期间为过渡期间，控制装置(30)将使位置差分的加速度和加加速度中的任意一个的振幅在过渡期间比过渡期间之前小的上升速度的上限值，作为过渡期间中的上升速度的上限值。

公开(公告)号：CN112670229A

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN202011078916.0

申请日：2020-10-10

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  铃木杰之

IPC: H01L21/687 ,  B25J11/00

Abstract: 本发明提供能够保持基板的位置精度且提高基板的输送效率的基板输送装置和基板输送方法。具备：驱动部(20)，使臂(11)上升而使末端执行器(12)接收基板(S)；以及控制装置(30)，对驱动部(20)的输出进行控制来设定臂(11)的上升速度，末端执行器(12)与臂(11)之间的高度差为位置差分，从末端执行器(12)碰到基板(S)时起到末端执行器(12)完成基板(S)的接收为止的期间为过渡期间，控制装置(30)将使位置差分的加速度和加加速度中的任意一个的振幅在过渡期间比过渡期间之前小的上升速度的上限值，作为过渡期间中的上升速度的上限值。

公开(公告)号：CN110366774A

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201880015142.1

申请日：2018-11-26

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 铃木杰之 ,  武者和博 ,  松崎淳介 ,  田宫慎太郎 ,  南展史 ,  中尾裕利

IPC: H01L21/677 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明提供基板不会破损且能够在短时间从真空气氛改变成大气压气氛的真空装置。在处理对象物（10）和供气排气口（9）之间配置第一整流板（5），使得从供气排气口（9）喷出的升压用气体不会与搬运对象物（10）碰撞。在盖部件（16）的壁面和搬运对象物（10）之间设置第二整流板（6），使升压用气体从比搬运对象物（10）中的基板（7）高的上侧贯通孔（13）、比该基板（7）低的下侧贯通孔（23）向基板（7）和第一整流板（5）之间、基板（7）和台（15）之间导入，基板（7）不会抬起。

公开(公告)号：CN108884561B

公开(公告)日：2019-08-06

申请号：CN201780021217.2

申请日：2017-11-01

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 南展史 ,  铃木杰之 ,  武者和博 ,  中尾裕利 ,  佐藤诚一

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/34 ,  C23C14/50 ,  H01L21/677

Abstract: 提供一种设置面积较小的真空处理装置。在真空槽（12）的内部配置升降板（15），将基板保持装置（27）配置到升降板（15）上而使其能够升降移动。在位于升降板（15）升降移动的升降区域（12b）的侧方的处理区域（12a）内设置上方侧处理装置（40）和下方侧处理装置（50），借助上方侧移动装置（35）和下方侧移动装置（36），使基板保持装置（27）穿过处理区域（12a）内，借助交接装置（37），在上方侧移动装置（35）或下方侧移动装置（36）与升降板（15）之间进行基板保持装置（27）的交接。由于能够在上方侧和下方侧进行真空处理，所以真空处理装置（10）的设置面积较小。

公开(公告)号：CN107615472A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201680031508.5

申请日：2016-05-24

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 铃木杰之 ,  川久保大辅 ,  南展史 ,  武者和博

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/00 ,  B65G49/07 ,  H02J50/90

Abstract: 本发明可使具有对工件实施规定处理的多个处理室的处理装置在处理室间静电吸附并运输工件的带静电卡盘的运输机器人的控制系统构成为能使静电卡盘响应性良好地作业。本发明的运输机器人的控制系统具有与统一控制处理装置作业的统一控制装置(Mc)通信自如地连接并根据来自统一控制装置的控制信号来控制运输机器人(Tr)作业的机器人控制装置(Rc)；以及控制静电卡盘对工件(W)的静电吸附或解除的静电卡盘控制装置(Cc)。静电卡盘控制装置监视统一控制装置与机器人控制装置的通信内容，并基于该监视的通信内容控制静电卡盘进行工件的静电吸附或解除。