公开(公告)号：CN114830520A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202080087107.8

申请日：2020-08-18

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 池内伸介 ,  梅泽青司 ,  铃木胜之 ,  黑川文弥

IPC: H02N2/00 ,  H01L41/187 ,  H01L41/337 ,  H04R17/00

Abstract: 换能器(100)包括基部(110)、多个梁部(120)以及结合材料部(130)。多个梁部(120)分别包含压电体层(10)、第1电极层(20)以及第2电极层(30)。结合材料部(130)在形成于相邻的多个梁部(120)之间的狭缝(123)内将多个梁部(120)彼此相互连接。结合材料部(130)以从基部(110)的上部到狭缝(123)内连续的方式设置。结合材料部(130)由杨氏模量比构成压电体层(10)的材料的杨氏模量低的材料构成。在基部(110)的中心轴线的轴向上，位于基部(110)的上部的结合材料部(130)的最大厚度比多个梁部(120)各自的厚度厚。

公开(公告)号：CN114402446A

公开(公告)日：2022-04-26

申请号：CN202080064644.0

申请日：2020-05-28

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 岸本谕卓 ,  池内伸介 ,  铃木胜之 ,  黑川文弥

IPC: H01L41/04 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

Abstract: 压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)、第2电极层(130)以及连接电极(140)。压电体层(110)具有第1面(111)、第2面(112)以及贯通孔(113)。第2电极层(130)位于压电体层(110)的第2面(112)侧。第2电极层(130)面向贯通孔(113)。第2电极层(130)含有硅作为主要成分。连接电极(140)设于第2电极层(130)中的面向贯通孔(113)的连接面(131)上。连接电极(140)由金属形成。连接面(131)的表面粗糙度(Ra)比第2电极层(130)的压电体层(110)侧的面中的连接面(131)以外的部分即主面(132)的表面粗糙度(Ra)大。

公开(公告)号：CN114342098A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202080062313.3

申请日：2020-05-25

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 岸本谕卓 ,  池内伸介 ,  铃木胜之 ,  黑川文弥

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/187 ,  H01L41/29 ,  H03H9/17

Abstract: 在压电元件(100)中，第二电极层(130)位于单晶压电体层(110)的第二面(112)侧。在第二电极层(130)形成有与贯通孔(113)面对的孔部(131)。第二电极层(130)由Pt、Ti、Al、Cu、Au、Ag、Mg或者包含这些金属中的至少一种作为主成分的合金构成。第三电极层(140)配置在第二电极层(130)的与单晶压电体层(110)侧相反的一侧。第三电极层(140)设置为至少具有在从与第二面(112)垂直的方向观察时与孔部(131)的缘部(132)隔开间隔地位于比孔部(131)的缘部(132)靠外侧的位置的部分。第三电极层(140)由Ni或者包含Ni作为主成分的合金构成。

公开(公告)号：CN115315962B

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202080098947.4

申请日：2020-11-30

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 黑川文弥 ,  会田康弘 ,  池内伸介 ,  梅泽青司 ,  铃木胜之

IPC: H04R17/00 ,  H04R19/00

Abstract: 超声波换能器包括第1声换能器(110)、第2声换能器(120)以及有底筒状的壳体(130)。第2声换能器(120)还具有：环状部(121)，其与第2膜片部(122)的周缘整周接触且支承第2膜片部(122)；以及声匹配板(123)，其与第2膜片部(122)隔开间隔地相对，并且与周壁部(130s)连接而在与壳体(130)之间形成密闭空间。在上述密闭空间内形成有由第1膜片部(112)和第2膜片部(122)夹着的超声波传送路径(T1)。超声波传送路径(T1)的最大内宽(H1)比周壁部(130s)的最大内宽(H2)小。

公开(公告)号：CN118434669A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202280084509.1

申请日：2022-12-05

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 黑川文弥 ,  会田康弘

IPC: B81B7/02 ,  B23K1/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明提供一种能够防止寄生电容的形成、消耗电力的增加的微机电系统器件。微机电系统器件包括：第1基板，其包含微机电系统构造体；第2基板，其与第1基板隔开间隔地在相对方向上相面对；第1接合部，其具有以多个种类的金属的共晶合金作为主材料的共晶层，以在从相对方向观察时包围微机电系统构造体的方式设在第1基板和第2基板之间，且接合于第1基板和第2基板；导电性的接触层，其设在第1基板和第2基板之间，与第1基板和第2基板接触，该接触层在所述多个种类的金属进行金属共晶反应时的温度时不熔化；以及绝缘层，其层叠于接触层，并且电绝缘。

公开(公告)号：CN114786827B

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202080081585.8

申请日：2020-07-16

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 池内伸介 ,  黑川文弥 ,  梅泽青司 ,  铃木胜之

IPC: B06B1/06 ,  H04R17/00 ,  H10N30/88 ,  H10N30/20 ,  H10N30/30 ,  H10N30/853

Abstract: 在压电装置(100)中，梁部(110)具有固定端部(111)和自由端部(112)。自由端部(112)位于与固定端部(111)相反的那一侧。梁部(110)从固定端部(111)朝向自由端部(112)延伸。梁部(110)由层叠体(10)构成。层叠体(10)包含压电体层(11)、第1电极层(12)以及第2电极层(13)。基部(120)与梁部(110)的固定端部(111)连接。在从层叠体(10)的层叠方向观察时，基部(120)位于除了固定端部(111)以外与梁部(110)隔开间隔地包围梁部(110)的位置。在从层叠方向观察时，梁部(110)的与梁部(110)的延伸方向正交的正交方向上的宽度(W)的尺寸的平均值比延伸方向的长度(L)的最大尺寸大。

公开(公告)号：CN113228708B

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN201980083754.9

申请日：2019-08-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 池内伸介 ,  持田洋一 ,  黑川文弥 ,  梅泽青司 ,  安达永纯

IPC: H04R17/00 ,  H10N30/88

Abstract: 多个梁部(122)各自与板状部(121)的外周侧面(122s)连接，并且延伸为远离板状部(121)。多个梁部(122)在外周侧面(121s)的周向上等间隔地排列。在从上下方向观察时，基端部(123)连接于多个梁部(122)各自的与板状部(121)侧相反侧的端部，并与板状部(121)配置为同心圆状，且是圆环状。在从上下方向观察时，多个梁部(122)各自从板状部(121)侧到基端部(123)侧具有彼此相同的外形，并且外形的至少一部分弯曲。在多个梁部(122)中的在上述周向上彼此相邻的梁部(122)彼此之间，设置有沿着位于两侧的梁部(122)的延伸方向延伸的狭缝(124)。

公开(公告)号：CN115004549A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202180011512.6

申请日：2021-01-25

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 梅泽青司 ,  马蒂·硫克 ,  维勒佩卡·利特克内 ,  安西·布洛姆奎斯特 ,  池内伸介 ,  黑川文弥 ,  铃木胜之

IPC: H03H9/17 ,  B06B1/06 ,  H04R17/00 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

Abstract: 在压电装置(100)中，连接部(130)将多个梁部(120)中的彼此相邻的一对梁部(120)彼此连接。连接部(130)在第1端部处与一对梁部(120)中的一个连接。连接部(130)在第2端部处与一对梁部(120)中的另一个连接。第2端部在一对梁部(120)排列的方向上与第1端部相对。第2连结部位于沿着第1连结部的位置。连接部(130)具有仅一个第1端部。连接部(130)具有仅一个第2端部。第1端部和第2端部分别位于距一对梁部(120)各自的顶端部(122)的距离比距固定端部(121)的距离近的位置。

公开(公告)号：CN114786827A

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202080081585.8

申请日：2020-07-16

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 池内伸介 ,  黑川文弥 ,  梅泽青司 ,  铃木胜之

IPC: B06B1/06 ,  H04R17/00 ,  H01L41/053 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187

Abstract: 在压电装置(100)中，梁部(110)具有固定端部(111)和自由端部(112)。自由端部(112)位于与固定端部(111)相反的那一侧。梁部(110)从固定端部(111)朝向自由端部(112)延伸。梁部(110)由层叠体(10)构成。层叠体(10)包含压电体层(11)、第1电极层(12)以及第2电极层(13)。基部(120)与梁部(110)的固定端部(111)连接。在从层叠体(10)的层叠方向观察时，基部(120)位于除了固定端部(111)以外与梁部(110)隔开间隔地包围梁部(110)的位置。在从层叠方向观察时，梁部(110)的与梁部(110)的延伸方向正交的正交方向上的宽度(W)的尺寸的平均值比延伸方向的长度(L)的最大尺寸大。

公开(公告)号：CN114761143A

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN202080081626.3

申请日：2020-07-16

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 池内伸介 ,  梅泽青司 ,  黑川文弥 ,  铃木胜之

IPC: B06B1/06 ,  H04R17/00 ,  H01L41/053 ,  H01L41/09 ,  H03H9/17

Abstract: 在压电装置(100)中，悬臂梁部(120)具有固定端部(121)和自由端部(122)。板状部(130)具有相对端部(131)、支承端部(132)、第1侧方支承端部(133)以及第2侧方支承端部(134)。相对端部(131)与自由端部(122)相对。支承端部(132)在悬臂梁部(120)的延伸方向上位于与相对端部(131)侧相反的那一侧。板状部(130)在支承端部(132)的至少局部、第1侧方支承端部(133)的至少局部以及第2侧方支承端部(134)的至少局部连接于内侧面(111)。