-
-
公开(公告)号：CN116438739A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202180071572.7
申请日：2021-10-15
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够抑制在电介质膜产生裂纹及压电体层粘贴于电介质膜。弹性波装置(10)具备支承基板(12)、电介质膜(13)、压电层(14)和IDT电极(15)(激励电极)。压电层(14)具有第1、第2主面(14a、14b)。第2主面(14b)位于电介质膜(13)侧。在电介质膜(13)设置有空洞部(11a)。空洞部(11a)在俯视下与IDT电极(15)的至少一部分重叠。电介质膜(13)具有面向空洞部(11a)的侧壁面(13a)。侧壁面(13a)具有倾斜为越远离压电层(14)则空洞部(11a)的宽度变得越窄的倾斜部(13c)。倾斜部(13c)至少包括侧壁面(13c)中的压电层(14)侧的端部。在将倾斜部(13c)和压电层(14)的第2主面(14b)所成的角度设为倾斜角度α时，倾斜角度α为40°以上且80°以下。
-
公开(公告)号：CN115804009A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202180049033.3
申请日：2021-07-07
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木村哲也
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够抑制频率特性中的纹波的弹性波装置。本发明的弹性波装置(10)具备：支承基板；压电层(14)，设置在支承基板上；功能电极，设置在压电层(14)上；和第1电极膜(28)以及第2电极膜(29)，分别设置在压电层(14)上，彼此相互对置，且为彼此不同的电位。将在俯视下位于第1电极膜(28)与第2电极膜(29)之间的区域设为电极膜间区域(E3)，将在俯视下与第1电极膜(28)或第2电极膜(29)重叠的区域设为电极膜正下方区域(第1电极膜正下方区域(E1)、第2电极膜正下方区域(E2))，此时，电极膜间区域(E3)的至少一部分中的压电层(14)的厚度比电极膜正下方区域中的压电层(14)的厚度薄。
-
公开(公告)号：CN115023896A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202180011353.X
申请日：2021-02-05
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 降低在比为了得到特性而使用的激励模式靠高频侧的频带中产生的高阶模式的杂散。弹性波装置(1)具备支承基板、压电体层(3)以及IDT电极(6)。压电体层(3)设置于支承基板。IDT电极(6)设置于压电体层(3)，且具有多个电极指(63)。多个电极指(63)的交叉宽度(W1)为5λ以下。
-
公开(公告)号：CN109314503B
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN201780034713.1
申请日：2017-04-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种耐湿性优异的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：支承基板(2)，在上表面设置有凹部(2c)；压电薄膜(4)，在支承基板(2)上设置为覆盖支承基板(2)的凹部(2c)；IDT电极(5)，在压电薄膜(4)设置于支承基板(2)侧的主面(4a)上；以及中间层(8)，在压电薄膜(4)设置于与支承基板(2)相反侧的主面(4b)上，构成有被支承基板(2)和压电薄膜(4)包围的空间(9)，IDT电极(5)配置为面向空间(9)，在压电薄膜(4)以及中间层(8)设置有从中间层(8)的与压电薄膜(4)相反侧的主面(8B)到达空间(9)的贯通孔(11、12)，在中间层(8)上还具备设置为覆盖贯通孔(11、12)的开口端的覆盖构件(19)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114467256A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080065605.2
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值且能够控制杂散的位置、大小的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电层(2)，包含铌酸锂或钽酸锂；以及至少一对电极(3、4)，在与所述压电层(2)的厚度方向交叉的方向上对置，在将压电层(2)的厚度设为d并将至少一对电极(3、4)的相邻的电极的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，至少一对电极(3、4)具有长度方向，至少一对电极包含：第1电极(3)以及第2电极(4)，在与至少一对电极的长度方向正交的方向上的任意剖面中，剖面形状相互不同。
-
公开(公告)号：CN111033774A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880052416.4
申请日：2018-11-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/09 , H01L41/319 , H03H3/02 , H03H9/17
Abstract: 压电器件具备：压电体(10)，至少一部分能够进行弯曲振动；上部电极(22)，配置在压电体(10)的上表面上，其中，该上部电极越远离压电体(10)的上表面，晶格的应变越被缓和；下部电极(21)，配置在压电体(10)的下表面上，其中，该下部电极越远离压电体(10)的下表面，晶格的应变越被缓和；以及支承基板(40)，配置在压电体(10)的下方，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电体(10)的下表面上的凹部(141)。
-
公开(公告)号：CN109314503A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780034713.1
申请日：2017-04-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种耐湿性优异的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：支承基板(2)，在上表面设置有凹部(2c)；压电薄膜(4)，在支承基板(2)上设置为覆盖支承基板(2)的凹部(2c)；IDT电极(5)，在压电薄膜(4)设置于支承基板(2)侧的主面(4a)上；以及中间层(8)，在压电薄膜(4)设置于与支承基板(2)相反侧的主面(4b)上，构成有被支承基板(2)和压电薄膜(4)包围的空间(9)，IDT电极(5)配置为面向空间(9)，在压电薄膜(4)以及中间层(8)设置有从中间层(8)的与压电薄膜(4)相反侧的主面(8B)到达空间(9)的贯通孔(11、12)，在中间层(8)上还具备设置为覆盖贯通孔(11、12)的开口端的覆盖构件(19)。
-
公开(公告)号：CN103329436B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201280006034.0
申请日：2012-01-17
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01L41/047 , H03H9/02818 , H03H9/14541
Abstract: 本发明实现了一种具有优异特性且制造容易的弹性表面波装置。弹性表面波装置(10)具备由铌酸锂构成的压电基板(101)。在压电基板(101)的表面上配列形成有多个槽(110)。在各槽(110)中形成有由铜构成的IDT电极(102)。IDT电极(102)由被埋入槽(110)中的第一电极层(102i)与从压电基板(101)的表面突出的第二电极层(102o)构成。第一电极层(102i)的标准化电极膜厚Di在1.0％以上12.0％以下，第二电极层(102o)的标准化电极膜厚Do在1.0％以上9.0％以下。IDT电极(102)的整体的标准化电极膜厚D在6.0％以上13.0％以下。
-
公开(公告)号：CN101911484B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN200880124806.4
申请日：2008-12-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种声表面波装置，是使用LiNbO3基板的声表面波装置，不仅IDT的反射系数大，而且电机械耦合系数k2大，且可以扩大实现该电机械耦合系数k2大的范围的LiNbO3基板的欧拉角范围。该声表面波装置(1)在LiNbO3基板(2)的上表面(2a)形成有多条槽(2b)，且设有具有在向多条槽(2b)填充的金属材料所形成的多根电极指的IDT(3)，该金属材料由Pt或W或者以这些金属至少一种为主体的合金形成。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
102
records
(took 0.027 seconds)
