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公开(公告)号：CN116134729A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202180059826.3
申请日：2021-07-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 山根毅
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够抑制谐振频率与反谐振频率之间的纹波的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，在压电性基板(2)上设置有IDT电极(7)，IDT电极(7)具有倾斜型IDT构造，在弹性波传播方向上观察第1电极指(13)和第2电极指(14)时重叠的交叉区域具有中央区域和设置在中央区域的两侧的第1、第2低声速区域，第1、第2低声速区域设置为相对于在第1、第2电极指(13、14)的长度方向上延伸的中心轴成为非对称的形状。
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公开(公告)号：CN110289826B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201910192683.8
申请日：2019-03-13
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供能够使布线电极对热冲击试验的可靠性提高的弹性波装置。间隔层(5)直接或间接地形成在支承基板(1)上，在从支承基板(1)的厚度方向(D1)俯视的情况下形成在压电膜(2)的外侧。覆盖层(6)形成在间隔层(5)上。贯通电极(7)贯通间隔层(5)和覆盖层(6)，并与布线电极(4)电连接。布线电极(4)具有：第一部分(41)，在从厚度方向(D1)的俯视下与贯通电极(7)重叠；第二部分(42)，在从厚度方向(D1)的俯视下与压电膜(2)重叠；以及台阶部(431)，在第一部分(41)与第二部分(42)之间形成厚度方向(D1)上的台阶。间隔层(5)中的覆盖层(6)侧的端部(52)进入到覆盖层(6)。
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公开(公告)号：CN110324021B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN201910247816.7
申请日：2019-03-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种弹性波装置，更加难以产生布线电极的断线且可靠性更加优异。弹性波装置(1)在支承基板(2)上层叠有包含压电薄膜4的层叠膜(3)。在设置有IDT电极的区域的外侧的区域(R)，局部地不存在层叠膜(3)。第一绝缘层(12)设置为从不存在该层叠膜(3)的区域(R)的至少一部分到达压电薄膜(4)上。布线电极(6a)设置为从压电薄膜(4)上到达第一绝缘层(12)上，且到达位于区域(R)的第一绝缘层部分上。另外，在支承基板(2)上设置有具有用于构成中空空间的开口部的支承层(8)。支承层(8)在布线电极(6a)上具有从不存在层叠膜(3)的区域(R)到达第一绝缘层(12)的内侧端(12c)的上方的部分。
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公开(公告)号：CN114467256A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080065605.2
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值且能够控制杂散的位置、大小的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电层(2)，包含铌酸锂或钽酸锂；以及至少一对电极(3、4)，在与所述压电层(2)的厚度方向交叉的方向上对置，在将压电层(2)的厚度设为d并将至少一对电极(3、4)的相邻的电极的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，至少一对电极(3、4)具有长度方向，至少一对电极包含：第1电极(3)以及第2电极(4)，在与至少一对电极的长度方向正交的方向上的任意剖面中，剖面形状相互不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107005225B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201580065140.X
申请日：2015-11-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种在通带内难以产生脉动的弹性波装置。弹性波装置(1)是具有压电膜(6)的弹性波装置(1)，具备：高音速构件，所传播的体波音速与在压电膜(6)中传播的主模的弹性波音速相比为高速；压电膜(6)，直接或间接地层叠在高音速构件上；第一导电膜，设置在压电膜(6)上；以及第二导电膜，设置在压电膜(6)上以及第一导电膜的至少一部分上。在压电膜(6)上设置有具有电极指和汇流条的多个IDT电极(8)，由第一导电膜构成多个IDT电极(8)的至少电极指，由第二导电膜构成对多个IDT电极(8)之间进行连接的连接布线的至少一部分。
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公开(公告)号：CN102017407B
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN200980115395.7
申请日：2009-03-31
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01L41/18 , H03H9/0222 , H03H9/02559 , H03H9/02574
Abstract: 本发明提供一种具有三介质结构且能够抑制不希望的横模式脉动的弹性边界波装置。一种弹性边界波装置具备：由LiTaO3单结晶形成的压电基板；层叠在所述压电基板上，且由电介质形成的第一介质层；层叠在所述第一介质层上，且由音速与形成第一介质层的所述电介质不同的电介质形成的第二介质层；配置在所述压电基板和所述第一介质层的边界的至少一个交叉指型电极，其中，所述第一介质层的膜厚为H，所述交叉指型电极的膜厚为h，交叉指型电极中的电极指的周期为λ，形成交叉指型电极的金属的密度的相对于Au的密度的比为a时，第一介质层的音速比LiTaO3的音速慢，第二介质层的音速比LiTaO3的音速快，(h/λ)×a≤0.05。
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公开(公告)号：CN118575411A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202380017805.4
申请日：2023-01-18
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 在本公开的弹性波元件的制造方法中，所述弹性波元件包含支承基板、设置在支承基板上的压电体层、以及设置在压电体层上的功能电极，在支承基板中，在支承基板和压电体层的层叠方向上与功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部，其中，所述弹性波元件的制造方法包含：准备晶片；将晶片粘附于裁切胶带；对晶片进行裁切，从而将弹性波元件单片化；以及通过使至少一个销隔着裁切胶带对弹性波元件进行顶压，从而将弹性波元件从裁切胶带分离，并拾取弹性波元件。在层叠方向上，使至少一个销顶压到弹性波元件的位置配置在与空洞部重复的位置。
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公开(公告)号：CN118318392A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202280074751.0
申请日：2022-11-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 山根毅
Abstract: 弹性波装置(10)具备：弹性波元件(11)；凸块(12)，与弹性波元件(11)电连接；凸块下金属层(13)，设置在弹性波元件(11)与凸块(12)之间；布线基板(14)，安装有弹性波元件(11)；和密封体(23)，在布线基板(14)上覆盖弹性波元件(11)。弹性波元件(11)具备：支承基板(16)；压电层(19)，设置在支承基板(16)的一个主面；和功能电极(15)，设置在压电层(19)的至少一个主面(17a)。布线基板(14)经由凸块下金属层(13)和凸块(12)与弹性波元件(11)电连接。压电层(19)在将功能电极(15)和凸块(12)连结的直线上的至少一部分具有贯通压电层(19)的孔部(24)。
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公开(公告)号：CN118077146A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202280067979.7
申请日：2022-10-06
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供使贯通孔的形状和深度稳定化的弹性波装置和弹性波装置的制造方法。弹性波装置具有：第一基板；压电层，具有朝向第一基板的厚度方向的一个主面和另一个主面，一个主面与第一基板对置；功能电极，设置于压电层的一个主面和另一个主面中的至少一方；第二基板，具有朝向厚度方向的第一主面和第二主面、以及从第一主面贯通至第二主面的贯通孔，第一主面与压电层的另一个主面对置；过孔电极，配置于贯通孔；布线层，配置在压电层与第二基板之间，将功能电极与过孔电极电连接；以及蚀刻停止层，配置在过孔电极与布线层之间。蚀刻停止层包含具有比第二基板的蚀刻率小的蚀刻率的金属材料。
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