公开(公告)号：CN112485470A

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN202010953106.9

申请日：2020-09-11

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 ,  维莱-佩卡·吕特克宁 ,  汉努·维斯特林

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明涉及低噪声多轴微机电系统加速度计。本发明通过使用较大的单个检测质量块测量沿两个正交轴的加速度提供了一种高精度、低噪声的MEMS加速度计。新颖的电极布置可以被动地防止加速度测量中的跨轴误差。新颖的弹簧布置和新颖的检测质量块布局进一步降低了噪声。

公开(公告)号：CN111578921A

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN202010092779.X

申请日：2020-02-14

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 ,  维莱-佩卡·吕特克宁

IPC: G01C19/5712

Abstract: 本公开描述了一种微机电多轴陀螺仪，该微机电多轴陀螺仪包括：四个基准质量块的组、用于从中央锚定点悬置四个基准质量块的组的中央悬架装置。该陀螺仪还包括同步框架和四个检测质量块的组。一个或更多个侧向角弹簧从侧向相邻的基准质量块延伸至每个检测质量块，并且一个或更多个横向角弹簧从横向相邻的基准质量块延伸至每个检测质量块。

公开(公告)号：CN104395695B

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201380031839.5

申请日：2013-06-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特

IPC: G01C19/5726 ,  G01C19/5776

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/5776 ,  G01C25/00 ,  Y10T29/49002

Abstract: 一种传感装置，其包括微机械陀螺仪，所述陀螺仪包括：改进的具有微机械陀螺仪(51)的传感装置，其中，第一机械共振器(52)的共振频率和第二机械共振器(53)的共振频率被调整为基本一致。所述装置包括连接至所述第二机械共振器(53)的反馈回路，所述反馈回路和所述第二机械共振器(53)的组合的品质因数小于10。在基本上不增加传感器装置构造的复杂度的情况下实现了更加精确的感测。