公开(公告)号：CN105874708B

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201580003444.3

申请日：2015-01-15

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 开田弘明 ,  龟田英太郎 ,  竹山佳介 ,  中村大佐

IPC: H03H9/02 ,  B81B3/00 ,  H03H9/17

CPC classification number: H03H9/02448 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/0271 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0154 ,  B81B2203/058 ,  H03H9/2447 ,  H03H2009/02496 ,  H03H2009/155 ,  H03H2009/2421

Abstract: 本发明提供MEMS元件，其是能够抑制保持部的延伸的方向中的收缩振动所导致的电阻值的变动并且实现高精度的振荡器的MEMS元件。MEMS元件10由框11、接收驱动信号的输入的矩形板12以及将该矩形板12固定于框11的保持部13构成。框11与矩形板12均以具有短边与长边的矩形构成。保持部13被设置为从矩形板12的对置的短边的中央部分向框11侧延伸，并且将矩形板12相对于框11进行固定。矩形板12的长边(Lp)与短边(Wp)之比(Lp/Wp)为1.3～1.6，优选为1.46。电阻膜19是沿着连接将矩形板12固定于框11的保持部13的直线上的区域，根据振动分布形成于最大位移的一半以下的区域。

公开(公告)号：CN107431475A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680013881.8

申请日：2016-03-29

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中村大佐 ,  西村俊雄 ,  维莱·卡亚卡里

IPC: H03H9/205 ,  H03H9/19

Abstract: 本发明提供能够降低在连接电极彼此的连接线与电极之间产生的寄生电容的影响的谐振器。具备：矩形的振动部，其进行轮廓振动；保持部，其保持该振动部；第一保持单元，其具有在保持部与第一长边之间，沿着振动部大致平行地设置的第一臂、连接该第一臂与振动部的多个第二臂、以及连接第一臂与保持部的第三臂，并连接该振动部与保持部；第一连接线，其设置在第一臂上；第一端子，其设置于保持部；至少三个以上的电极，它们设置在振动部上；以及多个第一引出线，它们设置在多个第二臂上，将三个以上的电极中的第一以及第二电极与第一连接线连接，多个第一引出线与第一连接线连接，第一连接线与第一端子电连接，从第一端子向第一以及第二电极施加同相位的电场。

公开(公告)号：CN106797208A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201680003178.9

申请日：2016-01-08

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 西村俊雄 ,  后藤雄一 ,  中村大佐

IPC: H03H9/24

Abstract: 本发明提供一种与以往相比进一步提高了谐振器特性的谐振器。谐振器具有支承框、以及沿规定的方向相互平行地延伸的第一边以及第二边，并且具备沿着规定的方向进行轮廓振动的矩形的振动部、以及分别连接振动部的第一边和支承框、第二边和支承框的两对支承部。振动部具有在规定的方向上并列配置且各振动区域相对于相邻的其它振动区域以相反相位进行振动的至少四个振动区域、以及形成于振动区域的每一个的电极膜。电极膜的规定的方向上的中心线从形成有该电极膜的振动区域的规定的方向上的中心线偏移。

公开(公告)号：CN105874708A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201580003444.3

申请日：2015-01-15

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 开田弘明 ,  龟田英太郎 ,  竹山佳介 ,  中村大佐

IPC: H03H9/02 ,  B81B3/00 ,  H03H9/17

CPC classification number: H03H9/02448 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/0271 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0154 ,  B81B2203/058 ,  H03H9/2447 ,  H03H2009/02496 ,  H03H2009/155 ,  H03H2009/2421

Abstract: 本发明提供MEMS元件，其是能够抑制保持部的延伸的方向中的收缩振动所导致的电阻值的变动并且实现高精度的振荡器的MEMS元件。MEMS元件10由框11、接收驱动信号的输入的矩形板12以及将该矩形板12固定于框11的保持部13构成。框11与矩形板12均以具有短边与长边的矩形构成。保持部13被设置为从矩形板12的对置的短边的中央部分向框11侧延伸，并且将矩形板12相对于框11进行固定。矩形板12的长边(Lp)与短边(Wp)之比(Lp/Wp)为1.3～1.6，优选为1.46。电阻膜19是沿着连接将矩形板12固定于框11的保持部13的直线上的区域，根据振动分布形成于最大位移的一半以下的区域。

公开(公告)号：CN102307674A

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN201080007110.0

申请日：2010-02-02

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 上林嗣治 ,  藤本克己 ,  开田弘明 ,  中村大佐

IPC: B05B17/06 ,  A01M1/20 ,  A61L9/14 ,  F24F6/12

CPC classification number: B05B17/0646 ,  A01M1/205 ,  A61L9/14 ,  A61L2209/132 ,  F24F2006/125 ,  Y02B30/80

Abstract: 本发明提供一种雾化构件及具备该雾化构件的雾化器，该雾化构件使用了压电振动件，能够使雾化效率高且消耗电力低。雾化构件(30)具备压电振动件(31)和振动膜(40)。压电振动件(31)具有圆筒状的压电体(32)、形成在压电体(32)的内周面的第一电极(33)、形成在压电体(32)的外周面的第二电极(34)。压电振动件(31)进行圆筒呼吸振动。振动膜(40)以覆盖压电体(32)的轴向上的一端侧的开口部的方式设置于开口部。在振动膜(40)的中央部形成有贯通孔(43)。