流体控制器
    21.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106164549B

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201680000963.9

    申请日:2016-02-05

    Abstract: 本发明提供一种流体控制器,其抑制了因用于设定单元的部件追加、追加的加工而引起的成本的增加,消除了阀杆上方移动量的设定值变化的问题。形成为隔膜按压件(7)的外周缘部的上表面与按压接合件(15)的内周缘部的下表面隔着第1隙间(A)而对置。通过将第1隙间(A)设定为规定值而对隔膜按压件(7)向上方的移动量进行设定。

    阀以及流体供给管线
    23.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111033104B

    公开(公告)日:2021-12-03

    申请号:CN201880051365.3

    申请日:2018-08-28

    Abstract: 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有:驱动压力导入通道(431),与管线外的驱动压力供给源(G)连接;自动阀(411),将驱动压力导入通道(431)打开或关闭;驱动压力导入通道(433),与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结;自动阀(412),与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭,并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭;以及驱动压力导入通道(432),经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。

    流体控制装置、接头块和流体控制装置的制造方法

    公开(公告)号:CN113227623A

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN201980086426.4

    申请日:2019-12-12

    Abstract: 一种流体控制装置,其具有:上游侧接头块及下游侧接头块,其划定流体流路,并且在底面侧具有卡合部;支承构件,其具有能够供上游侧接头块及下游侧接头块的卡合部卡合的引导部;以及流体设备,其借助上游侧接头块及下游侧接头块而支承于支承构件,在该流体控制装置中,利用抵抗弯曲力的反作用力,将所述上游侧接头块及下游侧接头块固定于所述引导部,该弯曲力是由于所述紧固螺栓对彼此连结的所述上游侧接头块及下游侧接头块与所述流体设备的紧固力而产生的,在所述接头块的长度方向上,所述卡合部的长度形成得比所述接头块的长度短。

    流体控制器的异常检测装置、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器

    公开(公告)号:CN109983318B

    公开(公告)日:2021-07-06

    申请号:CN201880004412.9

    申请日:2018-02-06

    Abstract: 在流体控制器中,即使在流体的泄漏很少的情况下,也能够检测到泄漏。另外,通过利用信息通信技术,从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有:压力传感器(11),其检测封闭空间(S)内的压力;处理模块,其执行给定的信息处理;以及拆装机构,其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP),并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较,从而判别流体控制器(2)的异常,并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。

    流体控制装置和流体控制装置的制造方法

    公开(公告)号:CN112997031A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN201980071903.X

    申请日:2019-10-18

    Abstract: 提供一种流体控制装置和流体装置的制造方法,该流体控制装置在不减少流体的供给流量的情况下实现了进一步的小型化、集成化,也削减了组装工时。流体控制装置具有:接头块(20),其划定在上表面开口的流体流路,并且在底面侧具有卡合部;支承构件(50),其利用引导部(55)允许接头块(20)向长度方向的移动并且将该接头块(20)约束于该支承构件(50)的上表面;以及流体设备,其固定于接头块(20)的上表面,在该流体控制装置中,在支承构件(50)以柱塞(500)的顶端部从支承构件的上表面突出的方式设置一个以上的柱塞(500),在接头块的底面设有凹部,该凹部与所述柱塞(500)的顶端部卡合,由此,对接头块(20)的长度方向上的位置进行定位。

    手动工具、用于该手动工具的刀头以及扭矩传感器

    公开(公告)号:CN111278605A

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN201880070256.6

    申请日:2018-10-23

    Abstract: 提供一种作业性、操作性优异并且能够进行精密的紧固扭矩管理的手动工具。该手动工具具有:手柄(10),其具有装卸自如地保持刀头的刀头保持部(12);以及磁致伸缩式的扭矩传感器(30),其具有接收保持到刀头保持部(12)的刀头(20)并且将该刀头(20)的外周包围的检测部(33),该磁致伸缩式的扭矩传感器能够以非接触的方式对作用于刀头(20)的扭矩进行检测并且装卸自如地设于手柄(10)。扭矩传感器(30)能够构成为,形成为在刀头(20)安装到手柄(10)的刀头保持部(12)的状态下能够安装于手柄(10)。

    流体供给管线及动作解析系统

    公开(公告)号:CN111033430A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201880051417.7

    申请日:2018-08-28

    Abstract: 本发明旨在精密地监视利用多个流体控制设备所构成的流体供给管线整体。另外,抑制每个流体控制设备的动作的偏差来提高流体供给管线的精度。利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F1、V11~V14)所构成的流体供给管线(L1)具有:第一连接单元,其将流体供给管线(L1)外的机构与流体供给管线(L1)上的流体控制设备(F1)进行连接;以及第二连接单元,其在流体供给管线(L1)从第一连接单元分支,来与其他流体控制设备(F1、V11~V14)进行连接。

    流体控制设备
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110382934A

    公开(公告)日:2019-10-25

    申请号:CN201880015079.1

    申请日:2018-03-13

    Abstract: 本发明提供一种在内部收纳用于检测流体控制设备的异常的部件并且实现小型化的流体控制设备。另外,能够在外部容易地确认检测出流体控制设备的异常的结果。流体控制设备(1)包括:信息处理模块(5),其设置在设备内;阀体(11),其具有流路;致动器机体(12),其固定于阀体(11);壳体(13),其为中空,固定于致动器机体(12),并在侧面形成有贯通孔(133d);活塞(126),其设置在致动器机体(12)内,并且在内部形成有向驱动压导入室(S2)连通的驱动压导入路(126b);以及导入管(21),其为导入驱动压的管,一端插入至驱动压导入路(126b),另一端从壳体(13)的贯通孔(133d)向外部导出。

    流体控制器的异常检测装置、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器

    公开(公告)号:CN109983318A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201880004412.9

    申请日:2018-02-06

    Abstract: 在流体控制器中,即使在流体的泄漏很少的情况下,也能够检测到泄漏。另外,通过利用信息通信技术,从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有:压力传感器(11),其检测封闭空间(S)内的压力;处理模块,其执行给定的信息处理;以及拆装机构,其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP),并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较,从而判别流体控制器(2)的异常,并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。

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