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公开(公告)号：CN104634868B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201510092380.0
申请日：2011-12-09
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 佐藤强
CPC classification number: B41J2/14274 , B41J2/0451 , B41J2/04581 , B41J2002/14354 , B41J2202/07 , G01N29/02 , G01N2291/02433 , G01N2291/048 , G01N2291/102
Abstract: 本发明提供一种能提高异物检测精度的异物检测装置、异物检测方法、液滴喷出装置和液滴喷出方法。本发明的实施方式涉及的异物检测装置包括信号发生部、发信部、接收部、保存信息的保存部、和检测部。所述信号发生部产生电信号。所述发信部对所述电信号进行变换，使液体中产生压力波。所述接收部接收来自所述液体的反射波并变换成电信号。所述保存部保存与所述液体中未含有异物的状态有关的信息。所述检测部根据对所述反射波进行变换后得到的电信号与基于所保存的所述信息的电信号之差，检测有无所述异物和所述异物大小的至少任一种。
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公开(公告)号：CN103676325B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201310472443.6
申请日：2013-09-06
Applicant: 株式会社东芝
IPC: G02F1/1337 , G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1337 , G02F1/133711 , G02F2001/133388
Abstract: 根据一实施例，一种用于形成膜的方法，所述膜包括设置在基板上的第一部分和沿着第一部分的外边缘设置且围绕第一部分的第二部分，所述方法包括通过在基板上喷射液滴来形成第二部分的步骤，每个液滴包含第二部分的材料。所述方法还包括通过在基板中的区域上喷射其它液滴来形成第一部分的步骤，所述区域由第二部分围绕，且每个所述其它液滴包含第一部分的材料。
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公开(公告)号：CN104634869A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201510093143.6
申请日：2011-12-09
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 佐藤强
CPC classification number: B41J2/14274 , B41J2/0451 , B41J2/04581 , B41J2002/14354 , B41J2202/07 , G01N29/02 , G01N2291/02433 , G01N2291/048 , G01N2291/102
Abstract: 本发明提供一种能提高异物检测精度的异物检测装置、异物检测方法、液滴喷出装置和液滴喷出方法。本发明的实施方式涉及的异物检测装置包括信号发生部、发信部、接收部、保存信息的保存部、和检测部。所述信号发生部产生电信号。所述发信部对所述电信号进行变换，使液体中产生压力波。所述接收部接收来自所述液体的反射波并变换成电信号。所述保存部保存与所述液体中未含有异物的状态有关的信息。所述检测部根据对所述反射波进行变换后得到的电信号与基于所保存的所述信息的电信号之差，检测有无所述异物和所述异物大小的至少任一种。
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公开(公告)号：CN104634868A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201510092380.0
申请日：2011-12-09
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 佐藤强
CPC classification number: B41J2/14274 , B41J2/0451 , B41J2/04581 , B41J2002/14354 , B41J2202/07 , G01N29/02 , G01N2291/02433 , G01N2291/048 , G01N2291/102
Abstract: 本发明提供一种能提高异物检测精度的异物检测装置、异物检测方法、液滴喷出装置和液滴喷出方法。本发明的实施方式涉及的异物检测装置包括信号发生部、发信部、接收部、保存信息的保存部、和检测部。所述信号发生部产生电信号。所述发信部对所述电信号进行变换，使液体中产生压力波。所述接收部接收来自所述液体的反射波并变换成电信号。所述保存部保存与所述液体中未含有异物的状态有关的信息。所述检测部根据对所述反射波进行变换后得到的电信号与基于所保存的所述信息的电信号之差，检测有无所述异物和所述异物大小的至少任一种。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104209239A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410265714.5
申请日：2014-05-30
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B05D1/005 , G03F7/162 , H01L21/6715 , H01L21/67253
Abstract: 本发明涉及成膜装置以及成膜方法。实施方式的成膜装置为，从移动的喷嘴向旋转的基板的表面供给处理液，在上述基板的表面上螺旋状地涂布上述处理液，通过上述基板的旋转由所涂布的上述处理液形成膜。该成膜装置具备保持上述基板的保持部、使上述保持部旋转的驱动部、向上述保持部所保持的上述基板的表面供给上述处理液的处理液供给部以及至少控制上述驱动部的控制部。而且，上述控制部使上述保持部以比涂布上述处理液时的第一转速慢的第二转速旋转，而由所涂布的上述处理液形成膜。
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公开(公告)号：CN103301993A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310070805.9
申请日：2013-03-06
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01L22/20 , H01L21/6715 , H01L22/12 , H01L22/26 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及涂敷装置及涂敷方法。涂敷装置具备：工作台，具有用于载置涂敷对象物的载置面；旋转机构，使工作台旋转；涂敷喷嘴，向工作台上的涂敷对象物喷出涂敷材料；移动机构，使涂敷喷嘴相对于载置在工作台上的涂敷对象物进行移动；供给装置，对涂敷喷嘴供给材料；排出装置，排出材料；连通管，将供给装置、涂敷喷嘴和排出装置连通；阀装置，设置于连通管，将供给部与涂敷喷嘴、供给装置与排出装置、以及涂敷喷嘴与排出装置中的任一对导通，并且具备能够切换导通的阀体；以及控制部，通过旋转机构使载置有涂敷对象物的工作台旋转，切换阀装置而将供给部和涂敷喷嘴导通，驱动移动机构而使涂敷喷嘴移动，向工作台上的涂敷对象物涂敷涂敷材料。
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公开(公告)号：CN101391525B
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200810160948.8
申请日：2008-09-19
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 佐藤强
IPC: B41J2/045 , B41J29/393
CPC classification number: B41J2/04581 , B41J2/0451
Abstract: 本发明提供一种喷射异常检测装置、液滴喷射装置及显示装置的制造方法，能够防止起因于喷射异常的成品率的降低。在喷射异常检测装置(23)中，具备：多个输入电路(23a)，分别从液滴喷射头输入多个压电元件各自的电压值，该液滴喷射头分别通过该多个压电元件从多个喷嘴喷射液滴；选择电路(23b)，从多个输入电路(23a)中依次选择一个输入电路(23a)；判定部(23e)，根据输入到所选择的输入电路(23a)的电压值，判定通过与所选择的输入电路(23a)对应的压电元件喷射液滴的喷嘴的喷射良否；和输出电路(23f)，输出喷嘴的喷射良否判定结果。
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公开(公告)号：CN100484644C
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200510084066.4
申请日：2005-07-12
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H05K3/125 , B05C9/08 , B05C13/02 , B41M5/0011 , B41M5/0047 , B41M5/007 , B41M7/0027 , H05K2203/013 , H05K2203/0783
Abstract: 本发明是有关于一种可使基片上所涂敷的涂敷液的干燥在基片的被涂敷的区域内均匀进行，并可防止涂敷物的不均，且使干燥后的涂敷物的形状有效地均匀形成的涂敷装置及涂敷方法。该涂敷方法在将含有溶质和溶剂的涂敷液在基片上的设定区域上进行涂敷并使溶剂挥发，而在前述基片上形成溶质的固化物的过程中，于结束向前述基片上的设定区域的涂敷之前，使前述基片上进行了涂敷的区域附近的环境，保持为一种对前述溶剂的挥发进行抑制的环境。
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公开(公告)号：CN101391525A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810160948.8
申请日：2008-09-19
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 佐藤强
IPC: B41J2/045 , B41J29/393
CPC classification number: B41J2/04581 , B41J2/0451
Abstract: 本发明提供一种喷射异常检测装置、液滴喷射装置及显示装置的制造方法，能够防止起因于喷射异常的成品率的降低。在喷射异常检测装置(23)中，具备：多个输入电路(23a)，分别从液滴喷射头输入多个压电元件各自的电压值，该液滴喷射头分别通过该多个压电元件从多个喷嘴喷射液滴；选择电路(23b)，从多个输入电路(23a)中依次选择一个输入电路(23a)；判定部(23e)，根据输入到所选择的输入电路(23a)的电压值，判定通过与所选择的输入电路(23a)对应的压电元件喷射液滴的喷嘴的喷射良否；和输出电路(23f)，输出喷嘴的喷射良否判定结果。
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