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公开(公告)号：CN117665069A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311367037.3
申请日：2023-10-20
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司 , 有研(广东)新材料技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种片式电化学气体传感器及其制备方法，该传感器结构包括基底层和电极层；基底层有支撑层和绝缘层，电极层设于基底层上，具有对电极、工作电极、参比电极三电极。工作电极采用圆环环状或主轴对称枝状设计，并通过电化学腐蚀形成多孔结构。此设计避免了使用粉末状催化材料，确保液态中的稳定性，并提供高工作电极活性面积。此外，其独特的电极结构有效减少了电荷积累，从而提高了传感器的检测精确度、可靠性和稳定性。本发明的片式电化学气体传感器小巧、高集成度、成本低廉，适合广泛应用和大规模推广。
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公开(公告)号：CN111380929B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN201811617497.6
申请日：2018-12-27
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N27/26 , G01N27/327 , H01L29/78 , H01L29/06 , H01L29/66
Abstract: 本发明公开了一种基于FinFET制造工艺的硅纳米线细胞传感器。该细胞传感器采用CMOS兼容的“自上而下”形成的纳米线结构，包括：在SO1衬底上的通过FinFET制造工艺形成的Si纳米线、通过光刻、磁控溅射和剥离工艺制备的金电极；在该细胞传感器的表面具有通过原子层沉积法形成的高k栅介质层。本发明的细胞传感器能够对活体细胞进行快速、准确、无损和高灵敏度的检测，而且该细胞传感器具有微型化、可集成、制作成本低和可循环利用的等优点。
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公开(公告)号：CN114894866A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210593967.X
申请日：2022-05-27
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明涉及气体传感器技术领域，提供一种电化学气体传感器及其制作方法。本发明的传感器包括衬底层、电极层，衬底层包括基底层、绝缘层；电极层设置在绝缘层上表面，电极层包括四个导出电极，四个导出电极的尾端分别设置有四个引线电极，四个引线电极从左到右依次排列且在尾端分别设置有对电极、第一、二工作电极、参比电极；第一、二工作电极为环形叉指电极对，对电极为不封闭环状且环扩环形叉指电极对，参比电极位于环形叉指电极对的右侧。本发明能够避免长期工作在液态环境中造成的电极气敏材料脱落，减少工作电极化学反应导致的工作表面电荷积累，提高溶解气体检测的精确度、可靠性与稳定性，体积小、成本低、制作工艺简单、易规模化生产。
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公开(公告)号：CN112760604A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201911064779.2
申请日：2019-11-01
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种在金刚石衬底上沉积高C轴取向氮化铝薄膜的方法，涉及压电薄膜制备技术领域。本发明采用射频反应磁控溅射技术，具体步骤包括真空预处理、衬底预处理、靶材预溅射、薄膜沉积，随着一次或多次沉积过程的进行，不固定可单独调节的工艺参数，而是在其原有基础上进行调整，从而控制靶材自偏压一直稳定在设定值。本发明在金刚石上沉积的氮化铝薄膜具有高C轴取向，且相较于传统方法具备较高的工艺稳定性和重复性，便于节约成本、保证薄膜性能的一致性，适用于工业大规模生产。
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公开(公告)号：CN112268938A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202011132592.4
申请日：2020-10-21
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了属于气体传感器领域的一种NOx气体传感器；其中自下而上依次包括：硅基底层、支撑层、加热电极、绝缘层、测试电极层；其中硅基底层上方的测试端一侧开有隔热腔；支撑层完全覆盖硅基底层；加热电极设置于支撑层和绝缘层之间，绝缘层用于隔离加热电极和测试电极层；所述测试电极层包括：平行排列的第二电极、第一电极和第三电极，其中第一电极、第二电极和第三电极均由电极端延伸至测试端。本发明中第一电极选用对NOx敏感材料制作，第二、第三电极采用贵金属制作，并构成三电极体系。测试时，第三电极作为参比电极，可调控第二电极极化电压；通入NOx气体后，可通过记录第一、第二电极间电流变化确定NOx含量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN209102686U
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201821701317.8
申请日：2018-10-19
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N33/00
Abstract: 本实用新型公开了属于气体检测领域的一种气敏性能密封测试装置。包括气密罩、密封帽、检测台、密封垫和底托；其中，气密罩筒状内层、筒状外层、进气口、出气口、密封帽安装口。气密罩、检测台与底托通过螺纹相对装配，并且气密罩与底托之间有密封垫；此外，密封帽与气密罩的密封帽安装口通过螺纹相对装配，进气口通过流量计与惰性气体气瓶相连。可用本实用新型提供的气敏性能密封测试装置对不同气体传感器气敏性能进行测试。本实用新型具有结构简单，操作易行，可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN217931513U
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202221328839.4
申请日：2022-05-27
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司 , 有研(广东)新材料技术研究院
Abstract: 本实用新型涉及气体传感器技术领域，提供一种电化学气体传感器，其包括衬底层、电极层，衬底层包括基底层、绝缘层；电极层设置在绝缘层上表面，电极层包括四个导出电极，四个导出电极的尾端分别设置有四个引线电极，四个引线电极从左到右依次排列且在尾端分别设置有对电极、第一、二工作电极、参比电极；第一、二工作电极为环形叉指电极对，对电极为不封闭环状且环扩环形叉指电极对，参比电极位于环形叉指电极对的右侧。本实用新型能够避免长期工作在液态环境中造成的电极气敏材料脱落，减少工作电极化学反应导致的工作表面电荷积累，提高溶解气体检测的精确度、可靠性与稳定性，体积小、成本低、制作工艺简单、易规模化生产。
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公开(公告)号：CN210626385U
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201921159036.9
申请日：2019-07-22
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种具有四支撑悬梁结构的电阻式半导体气体传感器。该传感器结构自下而上依次包括：硅衬底层，其中部有凹槽作为隔热腔体；支撑层，其包括支撑悬梁和绝缘区，绝缘区位于硅衬底层隔热腔体上方，绝缘区通过四根支撑悬梁与硅衬底层相连；电极层，其包括加热电极、叉指电极、供电引线和测试引线，加热电极呈折线形分布于绝缘区两侧，并通过供电引线与供电电极相连；叉指电极分布于绝缘区中心，并通过测试引线与测试电极相连；气敏层，其覆盖于叉指电极上，并与所述叉指电极电连接。本实用新型功耗较小、绝热性良好。同时，温度控制更加合理，避免了叉指电极与加热电极因低阻气敏材料加载导致的短路现象。
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公开(公告)号：CN209264673U
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201821701335.6
申请日：2018-10-19
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01N33/00
Abstract: 本实用新型公开了气体检测领域的一种气敏性能测试装置。包括密封罩、密封帽、密封塞、密封垫、检测台，其中，密封罩包括缓冲台、缓冲空间、进气口、出气口、线路口。密封罩与检测台通过螺纹相对装配，并且密封罩与检测台之间有密封垫；密封帽、密封塞分别与密封罩通过螺纹装配；进气口可注射液态检测气体，也可通过流量计与惰性气体气瓶相连；检测气体进入密封罩缓冲台，在缓冲空间均匀混合后，可通过缓冲台侧壁气孔扩散检测气室。本实用新型提供的气敏性能测试装置可对不同检测源气体传感器气敏性能进行测试。本实用新型具有操作简便，结构简单，密封性好，可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN209280889U
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201821701316.3
申请日：2018-10-19
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: G01R31/385
Abstract: 本实用新型公开了电池领域的一种电池测试装置。包括上模块、密封垫、绝缘层和下模块；上模块下方长圆柱形与绝缘层通过螺纹相对匹配，绝缘层再通过外螺纹与下模块中的U形槽相对装配。电池体系放置于U形槽中，上模块与绝缘层间有密封垫。本实用新型提供的电池测试装置可对不同厚度的电池进行测试。本实用新型具有结构简单，组装方便，操作简易，可靠性高等优点。
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