热式流量计
    21.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104053972B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201280067577.3

    申请日:2012-01-18

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/6842 G01F1/696 G01F5/00 G01F15/00

    Abstract: 本发明提供减少了传感器元件的污损的热式流量计。该热式流量计具有:传感器元件,其在形成于基板的隔膜上设置有薄膜部,并具备形成于上述薄膜部的发热电阻体;用于设置上述传感器元件的支承部件;和副通路,在其中配置上述支承部件的一部分,将在吸气管路流动的吸入气体的一部分取入,该热式流量计具有引导部件,在令沿在上述副通路内流动的空气流从上述薄膜部上通过的直线为L时,该引导部件设置于上述L上的上述支承部件或上述传感器元件,使沿上述支承部件或上述传感器元件的表面与空气流一起飞来的微小颗粒流向远离上述L的方向。

    进气温度传感装置和流量测量装置

    公开(公告)号:CN104884919A

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201380067561.7

    申请日:2013-10-25

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种进气温度传感装置,通过将与温度检测元件串联连接的固定电阻集成到集成电路中,而不需要基准电阻和用于将固定电阻与该基准电阻连接的切换开关,从而实现更小型且高精度的进气温度传感装置。该进气温度传感装置包括:电阻值随进气温度变化的温度检测元件(2);与温度检测元件(2)电连接的集成电路(1);集成到集成电路(1)中的与温度检测元件(2)串联连接的电阻元件(3);存储与电阻元件(3)的电阻值对应的修正信息的可写入存储器(7);和修正处理部(6),其基于存储在可写入存储器(7)中的修正信息,对包含在温度检测元件(2)的输出信号中的基于电阻元件(3)的电阻值的误差进行修正。

    热式流量传感器
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102620781A

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN201210019301.X

    申请日:2012-01-20

    CPC classification number: G01F1/6845 G01F1/692 G01F1/698

    Abstract: 提供一种实现稳定的启动特性和传感器元件的劣化抑制,具有还可应对发热体的进一步小型化的发热体温度控制单元的热式流量传感器。具有:半导体基板;在半导体基板设置的空洞部;在半导体基板上以覆盖空洞部的方式设置的绝缘膜;由绝缘膜覆盖空洞部而形成的薄膜区域;在绝缘膜上的薄膜区域设置的发热电阻体;设置在绝缘膜上的薄膜区域上且电阻值根据温度而变化的第1感温电阻体;基于第1感温电阻体温度来控制发热电阻体温度的发热控制单元;设置在发热电阻体的附近且电阻值根据温度而变化的第2感温电阻体;和基于第2感温电阻体温度来检测流体流量的流量检测单元,发热控制单元基于第1感温电阻体的目标温度和保护温度,控制发热电阻体的温度。

    空气流量计
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107923780B

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN201680049796.7

    申请日:2016-07-27

    Abstract: 本发明提供一种精度优异的空气流量计,在具有校正输出的运算电路的空气流量计中,所述运算电路获取空气温度及传感器模块温度作为所述空气流量计的输出特性的调整要素,根据所述空气温度与所述传感器模块温度的温度差来校正输出特性,并且,在所述空气温度与所述传感器模块温度的差的绝对值较小时减小校正量。

    气体传感器装置
    27.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105492898A

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201480047460.8

    申请日:2014-02-03

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种在内燃机的各种运转条件下获得良好的修正效果的气体传感器装置,为此,本发明的气体传感器装置(1)为包括测量气体的浓度的浓度传感器(4)和测量气体的压力的压力传感器(5)的气体传感器装置(1),其设置有与空气流隔离的测量室(7),在该测量室(7)内配置有浓度传感器(4)和压力传感器(5),且所述气体传感器装置(1)设置有利用压力传感器(5)的信号来调整浓度传感器(4)的信号的处理电路部(14)。优选为在该处理电路部(14)中设置使压力传感器的检测信号的响应速度接近浓度传感器的检测信号的响应速度的响应速度调整部。

    热式流量传感器
    28.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103052866B

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201180038125.8

    申请日:2011-09-06

    CPC classification number: G01F1/69 G01F1/6845 G01F1/692

    Abstract: 本发明的目的在于提供,减小因空气流的流动方向的微小的变化造成的传感器元件的检测灵敏度的变化,小型且高精度的热式流量传感器。本发明的实施方式的热式流量传感器,具有:在半导体衬底(1)上形成的空洞部(2)、以覆盖上述空洞部(2)的方式形成的电气绝缘膜、在上述电气绝缘膜上形成的发热电阻体(4)、在上述发热电阻体的附近形成的热敏电阻体、在上述半导体衬底的边缘部处与边缘基本并行地配置的由导电体构成的电极部(11)、以及把上述电极部和上述发热电阻体电气连接的布线部(5),基于被测流体和上述热敏电阻体的传热量检测被测流体的流量,其中:调整上述热电阻,以使得由上述发热电阻体的上述电极部侧的一边和上述空洞部的上述电极部侧的一边构成的第1区域的热电阻、与由上述发热电阻体的与一边对置的另一边和上述空洞部的与一边对置的另一边构成的第2区域的热电阻基本相等。

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