公开(公告)号：CN104321854A

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201380026259.7

申请日：2013-03-26

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 岩野友洋 ,  南久贵 ,  阿久津利明 ,  藤崎耕司

IPC: H01L21/3105 ,  B24B37/04 ,  C09K3/14

CPC classification number: B24B37/044 ,  C01B33/12 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/304 ,  H01L21/31053 ,  H01L21/306 ,  B24B37/04 ,  C09K3/14 ,  C09K3/1454

Abstract: 一种含有磨粒、添加剂和水的研磨液，磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.00以上、小于1.50。

公开(公告)号：CN104321404A

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201380026442.7

申请日：2013-03-26

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 岩野友洋 ,  南久贵 ,  阿久津利明 ,  藤崎耕司

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00

CPC classification number: C09G1/02 ,  C01F17/0043 ,  C01P2002/84 ,  C01P2004/62 ,  C01P2004/64 ,  C01P2006/22 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/31053

Abstract: 一种磨粒的制造方法，具备混合含4价金属元素盐的金属盐溶液和碱性液、获得含有所述4价金属元素的氢氧化物的粒子的工序，金属盐溶液与碱性液的混合液的温度为30℃以上。

公开(公告)号：CN103221503A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201180055799.9

申请日：2011-11-21

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 岩野友洋 ,  南久贵 ,  秋元启孝

IPC: C09K3/14 ,  H01L21/3105

CPC classification number: C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1463 ,  C09K13/00 ,  H01L21/31053

Abstract: 根据本发明涉及的磨粒的制造方法，将所述4价金属元素的盐的水溶液与碱液，在规定的参数在5.00以上的条件下混合，得到含有4价金属元素的氢氧化物的磨粒。