半导体装置用薄膜以及半导体装置

    公开(公告)号:CN102386054A

    公开(公告)日:2012-03-21

    申请号:CN201110270510.7

    申请日:2011-09-06

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置用薄膜以及半导体装置,在将所述半导体装置用薄膜卷绕为卷筒状时,可以抑制在胶粘薄膜上产生转印痕迹,所述半导体装置用薄膜为在切割薄膜上层叠有胶粘薄膜的带有切割片的胶粘薄膜以规定的间隔层叠在覆盖薄膜上而得到的半导体装置用薄膜。一种半导体装置用薄膜,其为在切割薄膜上层叠有胶粘薄膜的带有切割片的胶粘薄膜以规定的间隔层叠在覆盖薄膜上而得到的半导体装置用薄膜,其特征在于,23℃下胶粘薄膜的拉伸储能弹性模量Ea与23℃下覆盖薄膜的拉伸储能弹性模量Eb的比Ea/Eb在0.001~50的范围内。

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