有机EL器件的制造方法及制造装置

    公开(公告)号:CN103503567A

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201280021507.4

    申请日:2012-10-17

    Abstract: 本发明提供能够制造抑制了质量降低的有机EL器件的有机EL器件的制造方法和制造装置。有机EL器件的制造方法是在使带状的基材沿着长度方向移动的同时、通过蒸镀在该基材上形成机EL元件的结构层的有机EL器件的制造方法,其中,包括如下结构层形成工序:在使上述基材沿着长度方向移动的同时,利用沿着该基材的移动方向设置的朝上蒸镀部和横向蒸镀部,从蒸镀源向上述基材的一个面喷出气化材料而依次进行蒸镀,该结构层形成工序包括朝上蒸镀工序、横向蒸镀工序、以及方向改变工序。

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