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公开(公告)号：CN110477452A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910396965.X
申请日：2019-05-14
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： O·R·A·迪马尔科 , D·朱斯蒂
IPC: A24F47/00
Abstract: 本申请的各实施例涉及用于输送可吸入物质的微流体分配设备。一种可吸入物质的微流体分配设备包括外壳，外壳中容纳有驱动电路和微流体盒，微流体盒具有包含待输送液体的罐。微流体盒设置有由驱动设备控制的至少一个喷雾器。喷雾器包括：基底；形成在基底上并且流体耦合到罐以用于接纳待输送液体的多个腔室；以及多个加热器，形成在基底上与相应腔室相对应的位置中，热耦合到相应腔室并且通过绝缘层与相应腔室分离，并且由驱动设备控制。每个腔室通过至少一个相应喷嘴与外部流体连接。
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公开(公告)号：CN109987574A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201811430201.X
申请日：2018-11-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及压电型微机电致动器装置和集成微机电致动器装置的设备。微机电致动器装置包括固定结构和移动结构。移动结构包括第一可变形带、第二可变形带和第三可变形带，均在第一可变形带的相对侧上延伸，每个带均承载压电致动器。在第二和第三压电体被偏置的工作状态下，第二和第三可变形带经历负弯曲，而第一可变形带经历正弯曲。因此产生的两个加在一起的平移引起第一可变形带的位移大于可由相等基面的单个膜获得的位移。
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公开(公告)号：CN108373135A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201710972205.X
申请日：2017-10-18
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： D·朱斯蒂
CPC classification number: B81B3/0021 , B41J2/14233 , B81B2201/058 , H01L41/0805 , H01L41/0973
Abstract: 所描述的是一种包括压电致动器的MEMS设备，其包括压电材料制成的膜。该膜被多个孔贯穿。
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公开(公告)号：CN118083901A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202311565301.4
申请日：2023-11-22
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及用于高频应用的MEMS换能器器件以及制造方法。MEMS器件包括：信号处理组件；包括多个换能器器件的换能模块；增强结构，至少部分地围绕于每个换能器器件；针对每个换能器器件的一个或多个耦合支柱，一个或多个耦合支柱在增强结构上延伸并且被配置为将换能模块物理地耦合以及电耦合至信号处理组件，从而承载换能器器件的控制信号。每个导电耦合原件具有截面，所述截面的形状诸如最大化与相应的换能器器件周围的增强结构重叠的表面的形状。所述形状包括等于或大于3的尖点数的内摆线；三角形；四边形。
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公开(公告)号：CN117929523A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311372410.4
申请日：2023-10-23
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 公开了用于监测集成系统封装件内的缺陷的系统。一种集成电子系统，具有由支撑基座和布置在支撑基座上的涂覆区域形成并且具有至少第一系统管芯的封装件，该至少第一系统管芯包括半导体材料，耦接到支撑基座并布置在涂覆区域中。集成电子系统在封装件内还具有监测系统，该监测系统被配置为通过声检测波的发射和相应的接收声波的采集来确定涂覆区域内缺陷的发生，该声检测波的特性受上述缺陷的影响，并且因此指示上述缺陷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117123456A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310604984.3
申请日：2023-05-26
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B06B1/06
Abstract: 本公开涉及具有高灵敏度的压电微加工压力换能器及相关制造工艺。一种微机械压力换能器，包括：半导体材料的固定体，其横向界定主腔体；传导结构，其悬置在所述主腔体上并包括至少一对可变形结构和可移动区域，所述可移动区域由半导体材料形成并通过所述可变形结构机械耦合到所述固定体。每个可变形结构包括：半导体材料的支撑结构，其包括第一梁和第二梁，所述第一梁和所述第二梁各自具有分别固定到所述固定体和所述可移动区域的端部，所述第一梁以一定距离叠置在所述第二梁上；以及至少一个压电换能结构，机械地耦合到第一梁。压电换能结构是电可控的，使得它们引起相应支撑结构的相应变形和可移动区域沿平移方向的相应平移。
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公开(公告)号：CN111828289B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202010292467.3
申请日：2020-04-14
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及移动或喷射流体的微泵MEMS设备。微型泵设备形成在集成并排布置的多个致动器元件的单片半导体主体中。每个致动器元件具有：第一室，该第一室在与单片主体的第一面相距一距离处延伸；布置在第一面与第一室之间的膜；在膜之上的第一面上延伸的压电元件；布置在第一室与单片主体的第二面之间的第二室；将第二室与单片主体的外部流体连接的流体入口路径；以及在单片主体中沿横断方向从第二面一直延伸到第二室，并穿过第一室的流体出口。致动器元件的单片形式以及以不同的电压驱动致动器元件的可能性使能将流量从非常低的值到很高的值的精确调整。
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公开(公告)号：CN114377931B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202111202185.0
申请日：2021-10-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B06B1/06
Abstract: 本公开的实施例涉及压电式微机械超声换能器。PMUT器件包括薄膜元件，该薄膜元件垂直于第一方向延伸并且被配置为通过关于平衡位置振荡来生成和接收超声波的。PMUT器件包括至少两个压电元件，其中每个压电元件沿着第一方向位于薄膜元件之上并且被配置为当电信号被施加到压电元件时引起薄膜元件振荡，以及响应于薄膜元件的振荡而生成电信号。薄膜元件沿垂直于第一方向的平面具有叶瓣形状，其中叶瓣形状包括至少两个叶瓣。对于每个压电构件，薄膜元件包括对应的薄膜部分，该对应的薄膜部分包括对应的叶瓣，其中每个压电构件位于其对应的薄膜部分之上。
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公开(公告)号：CN109987574B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201811430201.X
申请日：2018-11-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及压电型微机电致动器装置和集成微机电致动器装置的设备。微机电致动器装置包括固定结构和移动结构。移动结构包括第一可变形带、第二可变形带和第三可变形带，均在第一可变形带的相对侧上延伸，每个带均承载压电致动器。在第二和第三压电体被偏置的工作状态下，第二和第三可变形带经历负弯曲，而第一可变形带经历正弯曲。因此产生的两个加在一起的平移引起第一可变形带的位移大于可由相等基面的单个膜获得的位移。
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公开(公告)号：CN110477452B
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN201910396965.X
申请日：2019-05-14
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： O·R·A·迪马尔科 , D·朱斯蒂
IPC: A24F40/48 , A24F40/40 , A24F40/42 , A24F40/465
Abstract: 本申请的各实施例涉及用于输送可吸入物质的微流体分配设备。一种可吸入物质的微流体分配设备包括外壳，外壳中容纳有驱动电路和微流体盒，微流体盒具有包含待输送液体的罐。微流体盒设置有由驱动设备控制的至少一个喷雾器。喷雾器包括：基底；形成在基底上并且流体耦合到罐以用于接纳待输送液体的多个腔室；以及多个加热器，形成在基底上与相应腔室相对应的位置中，热耦合到相应腔室并且通过绝缘层与相应腔室分离，并且由驱动设备控制。每个腔室通过至少一个相应喷嘴与外部流体连接。
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