听诊器及电子听诊装置
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113038884A

    公开(公告)日:2021-06-25

    申请号:CN201980074505.3

    申请日:2019-11-12

    Abstract: 本发明提供一种能够以高的SN比测量生物体声音的听诊器及电子听诊装置。听诊器具备支撑台及被所述支撑台支撑并且检测从被测物发出的声音的检测部,检测部具有压电膜,所述压电膜与支撑台对置地至少配置于检测从被测物发出的声音的部分并且向与支撑台相反的一侧弯曲成凸,压电膜具备具有彼此对置的2个主表面的压电体层、设置于2个主表面中的所述支撑台侧的主表面的第1电极及设置于与支撑台相反的一侧的主表面的第2电极,所述听诊器将由于从被测物发出的声音而在所述压电膜中产生的形变作为振动信号而进行检测。

    蚀刻溶液,用于制造压电元件的方法以及蚀刻方法

    公开(公告)号:CN103666477A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310439370.0

    申请日:2013-09-24

    CPC classification number: H01L41/332 C09K13/08 H01L41/0477 H01L41/1876

    Abstract: 本发明提供了一种用于蚀刻压电薄膜的蚀刻溶液,用于制造压电元件的方法以及蚀刻方法,其中所述压电薄膜具有在形成于衬底(substrate)上的下部电极上生长成柱状结构的钙钛矿结构的薄膜,并且在薄膜与所述下部电极的界面上具有烧绿石层,其中所述蚀刻溶液至少包含:包含缓冲氢氟酸(BHF)、氟化氢(HF)以及稀释的氢氟酸(DHF)这三个中至少任一个的氢氟酸型化学制品;以及硝酸,并且具有按重量计小于10%的盐酸浓度以及为1/4或更小的盐酸与硝酸的重量比(盐酸/硝酸)。本发明还提供了一种制造压电元件的方法以使用蚀刻溶液执行蚀刻。

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