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公开(公告)号:CN103104781A
公开(公告)日:2013-05-15
申请号:CN201310023337.X
申请日:2013-01-22
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种超低温真空下的电流引线绝缘密封联接接头,包括有灌料筒、穿线管,穿线管从灌料筒底端筒口套入至灌料筒中,测量引线从灌料筒顶端筒口穿入穿线管,穿线管上安装有连接法兰,灌料筒、穿线管中充溢有灌封料,灌封料由环氧树脂、650固化剂、填充剂水泥粉混合而成。本发明便于安装、拆卸,维护、维修,具有良好的绝缘密封性,填补了在低温真空下测量引线无活动连接的空白。
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公开(公告)号:CN120008256A
公开(公告)日:2025-05-16
申请号:CN202510495033.6
申请日:2025-04-21
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种半导体用宽温区变温循环温控系统,采用回热闭式循环结构设计,将冷源单元和分配单元的主要管路分别放置在阀箱内,并对阀箱内部进行抽空使其形成真空环境,降低管路内部残余气体分子的对流换热,减少低温工质的漏热,保证氮气的回气低温温度,从而最大限度实现冷量回收和节能利用;在分配阀箱内设置节流阀,通过减压的方式有效将分配阀箱内的温度进一步降低,有效扩大了系统应用温区;同时,在冷源阀箱和分配阀箱内设置了三级预冷管路,在系统运行初期对冷源阀箱、分配阀箱和节流阀进行分级预冷,保证半导体生产过程中低温注入效率。
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公开(公告)号:CN110632956B
公开(公告)日:2025-02-07
申请号:CN201910826381.1
申请日:2019-09-01
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种内真空的超低温环境试验装置,包括真空腔体、制冷装置、样品插杆腔、样品插杆、氦气循环装置、加热器、温度传感器以及温度控制器。该超低温环境试验装置为样品测试提供了温度更低、可精准控温的内真空环境。本发明还公开了一种滑动密封装置,其内部设有远离所述样品插杆腔一侧的滑动密封腔和靠近所述样品插杆腔一侧的空气密封腔,所述滑动密封腔设有滑动密封腔抽空口,所述空气密封腔设有空气密封腔抽空口。该滑动密封装置可便捷地更换样品插杆、并防止空气泄漏。
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公开(公告)号:CN116221066B
公开(公告)日:2024-07-09
申请号:CN202310029623.0
申请日:2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵、控制系统和控制方法,低温泵包括:泵壳;冷屏,冷屏设在泵壳内,冷屏的内部形成有容纳空间,冷屏上设有通孔,通孔连通容纳空间;一级蓄冷部件,一级蓄冷部件设在泵壳内;二级蓄冷部件,二级蓄冷部件设在容纳空间内,二级蓄冷部件的一端延伸出通孔并连接一级蓄冷部件;连接件,连接件的一端连接一级蓄冷部件,另一端连接冷屏;冷板组件,冷板组件设在容纳空间内,并连接二级蓄冷部件。本发明实施例的低温泵可以增加二级蓄冷部件的长度和减小一级蓄冷部件的长度,提高二级蓄冷部件的蓄能能力,并满足大冷量需求。
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公开(公告)号:CN115626613A
公开(公告)日:2023-01-20
申请号:CN202211273424.6
申请日:2022-10-18
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种大流量氦气纯化装置及纯化方法,包括液氮杜瓦、换热单元、浸泡在液氮杜瓦的液氮中的吸附单元以及通有氦气的输入管路和输出管路、蛇管换热器,所述输入管路和输出管路与吸附单元连通,所述换热单元置于液氮杜瓦外侧。本发明中,通过将管路通径与流量相匹配、主换热器的结构设计可实现对大流量的氦气进行纯化,通过主换热器的设置可以对通有氦气的输入管路和输出管路进行换热,将输出的低温氦气与输入的高温氦气进行热交换,对输入管路的氦气进行预降温,降低了生产成本并提高了降温效率。
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公开(公告)号:CN113720873B
公开(公告)日:2022-03-11
申请号:CN202110996695.3
申请日:2021-08-27
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开一种冷媒传输耦合装置的测试系统,通过波纹管组件及滑移轨道的设计,可实现快速拆卸冷媒连接管路,且无需大幅度拆装设备,即可快速更换静止组件,实现不同待测样品的快速更换,既保证设备的装配精度,又节约时间,提高工作效率。采用长杆低温阀作为回气通路的转折点,既能够根据需求演示不同开度,模拟不同转子的流动阻力负载,又能够随同系统一起转动实现不同转速的模拟,满足不同型号待测对冷媒传输耦合装置的测试需求。本发明提供的测试系统,针对冷媒传输耦合装置进行效率测试,在冷媒传输耦合装置的测试技术领域为首次提出。
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公开(公告)号:CN113295244B
公开(公告)日:2021-12-17
申请号:CN202110557858.8
申请日:2021-05-21
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC: G01F25/00
Abstract: 本发明是一种低温流体流量测量与标定方法,本发明通过设计的两个过冷器,可保证介质在进入待测元件和称重系统之前为纯液态,结合标准表对比法和称重法,为深低温领域提供了一种结构简单,精度高的测量和标定装置。实现了真正意义上的实际工作状态下的测量与标定,本装置可使标定工况与实际工况一致,标定过程无需进行工况换算,比如流量计实际工况是0.6MPa,83K下进行工作,那么可直接将标定系统调整到0.6MPa,83K工况下,对流量计等进行测量与标定。同时提供了两个功能,可分别对流量计和低温泵进行测试、计量、标定,也可一次运行同时测试标定流量计和低温泵,效率高,成本低。本发明的结构可实现多条路径选择,尽可能的降低标定成本。
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公开(公告)号:CN110632956A
公开(公告)日:2019-12-31
申请号:CN201910826381.1
申请日:2019-09-01
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种内真空的超低温环境试验装置,包括真空腔体、制冷装置、样品插杆腔、样品插杆、氦气循环装置、加热器、温度传感器以及温度控制器。该超低温环境试验装置为样品测试提供了温度更低、可精准控温的内真空环境。本发明还公开了一种滑动密封装置,其内部设有远离所述样品插杆腔一侧的滑动密封腔和靠近所述样品插杆腔一侧的空气密封腔,所述滑动密封腔设有滑动密封腔抽空口,所述空气密封腔设有空气密封腔抽空口。该滑动密封装置可便捷地更换样品插杆、并防止空气泄漏。
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公开(公告)号:CN108821251A
公开(公告)日:2018-11-16
申请号:CN201810754544.5
申请日:2018-07-10
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种光纤制造冷却管氦气回收系统,其特征在于,包括依次连接的:采集单元,包括进气汇流罐以及与该进气汇流罐连接的多条并联设置的采集管路,每条采集管路连接一冷却管,每条采集管路上均设有控制阀门;压缩纯化单元,包括沿气体流向连接的压缩泵和纯化装置,接收所述汇流罐采集的富氦尾气,经压缩纯化后输出;以及供气单元,包括供气汇流罐,接收压缩纯化单元提供的高纯氦气,并将高纯氦气通过多条并联设置的输送管路连接冷却管,每条输送管路连接一冷却管。本发明公开了该系统的控制方法。本发明可用于对拉丝塔冷却管的富氦尾气进行回收和利用。
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公开(公告)号:CN105673972A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201610153969.1
申请日:2016-03-16
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司 , 哈尔滨工业大学
CPC classification number: F16L39/04 , F16L27/1012 , F16L27/11
Abstract: 本发明涉及真空设备技术领域,特别涉及一种真空管道,包括第一管体、第二管体以及波纹管,所述的波纹管设置有两个以上,气体经过第一管体分流至两个以上的波纹管中,流过波纹管的气体再经过第二管体汇流至一起,第一管体和第二管体为刚性材料制成,真空管道的进、出气口同心布置,波纹管的管长方向垂直于进气口的轴心方向且两个以上的波纹管关于该轴心对称布置。由于波纹管关于进气口的轴心对称布置且与轴心垂直,这样各波纹管的拉伸和压缩变形被互相抵消,而第一、二管体是刚性的,这样抽气时真空泵和真空腔体之间就不会发生位移;同时,由于这里设置了波纹管,这样真空泵的振动也不会传递给真空腔体,起到很好的隔振效果。
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